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公开(公告)号：CN116422388A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310331051.1
申请日：2023-03-30
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明提供的一种可移动声镊器件，包括定位传动元件、微流体元件和声学元件，其中，所述定位传动元件分别与微流体元件和声学元件连接；所述声学元件利用产生的声场对微流体元件进行控制；所述声学元件和微流体元件之间相对运动，用以产生不同位置、方向或分布的声场；本发明提出了可移动声镊器件的设计方法，提供了声场与微流体相对运动的可行方式与基本设计逻辑；本发明拓宽了原本固定的声场作用范围，实现了在二维空间内任意方向和位置的声场构建和声波作用，显著拓展了声镊的操纵手段，极大提高了使用灵活性和功能多样性。
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公开(公告)号：CN114487479B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202210094936.X
申请日：2022-01-26
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种灵敏度及量程可调的法珀加速度敏感芯片及加工方法，包括上层盖板、弹簧质量结构、下层底板，所述弹簧质量结构通过阳极键合工艺与所述上层盖板和所述下层底板固定连接形成法布里珀罗腔。所述上层盖板的下表面和所述下层底板的上表面腐蚀有正方形腔体，并在其表面制作有第二环形驱动电极和第二增反膜；所述弹簧质量结构由固定框架、质量块、弹簧支撑梁、第一环形驱动电极、第一增反膜、连通电极、绝缘槽组成；所述质量块通过所述上层盖板和所述下层底板的垂直互通电极实现与外界的电连接；通过对所述垂直互通电极施加合适的电压，可以使所述质量块在静电力的作用下发生位移，进而实现对所述法珀加速度敏感芯片灵敏度及量程的调控。
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公开(公告)号：CN113155788B
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202110054144.5
申请日：2021-01-15
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01N21/64
Abstract: 基于核酸适配体和量子点淬灭效应的C反应蛋白检测试剂及方法，试剂由巯基和氨基分别修饰两端的C反应蛋白核酸适配体与羧基化量子点和纳米金颗粒结合后形成的生物探针，和C反应蛋白核酸适配体的小段互补DNA链构成；检测方法是先将多个已知浓度的C反应蛋白标准溶液和生物探针混合并静置孵育，然后检测混合溶液一定波长激发光照射下的发射荧光光谱，以C反应蛋白标准液浓度为横坐标，检测得到的荧光强度值作为纵坐标，绘制荧光强度与C反应蛋白浓度的线性关系曲线；最后检测待测样品中的荧光强度，带入线性关系曲线中，得到待测样品的C反应蛋白浓度；本发明具有检测时间短，检测精度高，检测流程简单等优点。
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公开(公告)号：CN110921611B
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN201911213704.6
申请日：2019-12-02
Applicant: 西安交通大学
IPC: B81B7/02
Abstract: 一种低横向灵敏度的MEMS弹簧质量结构，采用MEMS体硅工艺加工而成，包括基座、第一MEMS弹簧、横向稳定质量块、第二MEMS弹簧和中心检测质量块，基座通过第一MEMS弹簧与横向稳定质量块的外侧连接，横向稳定质量块的内侧通过第二MEMS弹簧与中心检测质量块相接；所述的第一MEMS弹簧采用分体梁式结构，由八段同样规格短梁呈中心对称分布构成；所述的横向稳定质量块为分体式块状结构，由四个L型分质量块呈中心对称分布构成，在受横向力作用时，其中心检测敏感质量块能始终保持水平状态，提高传感器测量精度。
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公开(公告)号：CN114487478A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210096474.5
申请日：2022-01-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/00
Abstract: 本发明提供一种基于正交载波调制的MOEMS加速度传感器系统，解决了模拟解调过程中激光载波信号和参考信号相位差波动影响MOEMS传感器系统输出信号的问题，提高信号检测精度，同时适用范围广泛。包括：电压驱动信号单元用于输出两路相位差为90°的直流偏置正弦电压信号；LD驱动电流控制单元用于将相应的两路直流偏置正弦电压信号转化为相位差为90°的直流偏置正弦电流信号并输出；激光输出单元用于输出两路直流偏置正弦电流信号对应的两路激光信号至MEMS芯片；光信号处理回路用于将经MEMS芯片后携带有加速度信息的两路激光信号转化为两路电信号，对两路电信号进行解调获得两路解调信号后进行算法处理并输出加速度信号。
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公开(公告)号：CN114414845A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202210094930.2
申请日：2022-01-26
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/093 , B81B7/02
Abstract: 本发明涉及微电子机械系统技术领域，尤其涉及一种芯片级集成式法布里珀罗光学MEMS加速度传感器，包括由下到上依次设置的激光器驱动芯片、Vcsel激光芯片、法布里珀罗MEMS加速度敏感芯片、敏感光电检测芯片和前置放大芯片，所述Vcsel激光芯片的两侧水平对称设置有第一参考光电检测芯片和第二参考光电检测芯片，所述Vcsel激光芯片、第一参考光电检测芯片和第二参考光电检测芯片均设置于激光器驱动芯片上。本发明实现了芯片级集成，具有体积小、功耗低、稳定性高、易于三轴集成的优势；此外，该方案同时具备参考和敏感光电检测芯片，使得加速度传感器具有高的分辨率。
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公开(公告)号：CN114280328A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202111605043.9
申请日：2021-12-24
Applicant: 西安交通大学
IPC: G01P15/097 , B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种基于对称式同模态温度补偿的MEMS谐振式加速度传感器，MEMS谐振式加速度传感器由谐振器敏感梁通过杠杆机构与质量块连接形成，能够将外界加速度变化转化为频率偏移量以检测外界加速度的大小。MEMS谐振式加速度传感器与感温振荡器对称分布在加热模块的两侧，加热模块的加热梁通过电流产生电阻热，电阻热通过对称结构传递至MEMS谐振式加速度传感器与感温振荡器。将感温振荡器作为温度感知模块，用其频率来标定温度实现对加速度传感器的温度控制。
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公开(公告)号：CN114152385A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111468431.7
申请日：2021-12-03
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于法布里‑珀罗差压式传感器的气电转换器，主要由气路结构模块、法布里‑珀罗差压式传感器、中部壳体、上部壳体和气电转换控制仪组成。所述气路结构模块基于差压式气电转换器原理，即稳定的压缩空气进入到气电转换器的气路结构中，后气路分为两路：一路为调零气路，另一路为测量气路。在调零气路中，压缩气体沿气路经过可更换节流孔和调零阀流入大气；在测量气路中，压缩气体流经可更换节流孔后，再由测量头和被测工件之间的测量间隙流入大气。本发明采用高稳定性气路结构和基于MEMS工艺制造的法布里‑珀罗差压式传感器，大大提高了气动测量系统的精度、稳定性、分辨率和响应速度，并可以数字量输出形式与数控系统配套使用。
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公开(公告)号：CN114149915A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111632299.9
申请日：2021-12-28
Applicant: 西安交通大学
IPC: C12M1/42 , C12M1/34 , G01N33/569 , B01L3/00
Abstract: 本发明公开了一种基于声表面波的外泌体分选及检测芯片、系统和方法，包括压电基底，所述压电基底的表面键合有微流道，所述微流道包括主流道以及连接在主流道一侧的一级缓冲液流道、一级分离流道、二级缓冲液流道和二级分离流道，所述主流道的一端设置有进样口，另一端连接至检测流道，所述检测流道的内表面修饰有荧光检测探针，所述压电基底上还设置有用于将体液样本中微米尺寸粒子从一级分离流道分离的一级分选电极以及用于将体液样本中亚微米尺寸粒子从二级分离流道分离的二级分选电极。本发明能够实现对外泌体的快速、高效分离并针对外泌体表面的特征蛋白进行检测。
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公开(公告)号：CN111181490B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202010001804.9
申请日：2020-01-02
Applicant: 西安交通大学
IPC: H03B5/18
Abstract: 本发明公开了一种基于超谐同步技术的硅微谐振式倍频器，谐振模块为呈长距形形状的谐振梁，由两个固支模块形成两端固定支撑，谐振梁下端悬空设置于单晶硅基底；谐振梁一侧中部位置设置有激励模块，另一侧中部位置对应设置有检测模块，激励模块和检测模块均固定于单晶硅基底上，激励模块与信号输入模块连接，检测模块与振荡模块连接，谐振梁的两端分别与压阻调频模块连接产生电势差谐振梁本体，通过焦耳热效应调节振荡器振荡频率，实现不同阶数的超谐同步现象。本发明可实现超高阶数的倍频放大，突破了现有倍频器倍频次数的极限。
