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81.

实用新型
一种基于MOVCD技术制备超导材料的喷淋控温装置有权

公开(公告)号：CN212983046U

公开(公告)日：2021-04-16

申请号：CN202021947801.6

申请日：2020-09-08

申请人： 东部超导科技(苏州)有限公司

发明人： 田卡 , 熊旭明 , 蔡渊 , 袁文

IPC分类号： C23C16/52 , C23C16/455 , C23C16/18

摘要： 本实用新型公开了一种基于MOVCD技术制备超导材料的喷淋控温装置，其涉及MOVCD技术领域。其技术方案要点包括喷淋板以及与所述喷淋板底壁接触的冷却板，所述喷淋板和冷却板内均设置有冷却管道。本实用新型在冷却板的基础上增加了基于喷淋板自身的冷却结构，两者结合从而能够提高控温精度，减小喷淋板温度波动对薄膜的影响。

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