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公开(公告)号：CN107807454B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN201711262291.1
申请日：2017-12-04
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要： 本发明涉及一种太赫兹准高斯平行激光束的实现装置，包括太赫兹量子级联激光器与驱动电源连接并发出太赫兹发散激光；可移动地安装在低温样品架上的调节系统；安装于调节系统上的离轴抛物面反射镜，其收集太赫兹发散激光并输出太赫兹准平行激光束；设置于低温杜瓦外部的可移动的可变孔径光阑，其对太赫兹准平行激光束进行光束优选以形成太赫兹准高斯平行激光束；以及设置于低温杜瓦外部的可移动的太赫兹阵列探测器，其对太赫兹准平行激光束的二维能量分布进行表征并校准太赫兹准平行激光束的准直性。本发明还涉及一种太赫兹准高斯平行激光束的实现方法。本发明的实现装置和实现方法能够获得稳定可靠、光束质量优异的太赫兹准高斯平行激光束。
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公开(公告)号：CN117091697A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202210516398.9
申请日：2022-05-12
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G01J1/44
摘要： 本发明提供一种用于量子阱探测器的宽带微腔阵列耦合结构及其制备方法，在该耦合结构中，多个微腔单元呈阵列状排布，且多个微腔单元的大小逐渐变化，每个微腔单元支持不同频段的电磁波，从而能够有效拓宽耦合频段，提高量子阱对光的吸收效率，降低器件的暗电流，提升器件的工作温度。另外，本发明采用标准的GaAs材料体系工艺，简单易操作，不会给器件制备增加额外的工艺难度。
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公开(公告)号：CN116247510A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202310087025.9
申请日：2023-02-09
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： H01S5/0687 , H01S5/04
摘要： 本发明涉及一种自注入太赫兹光频梳系统，其中，太赫兹量子级联激光器作为光频梳源，通过自拍频产生的拍频信号并传输到第一T型偏置器中；第一T型偏置器用于将拍频信号传输至分波器；分波器用于将拍频信号分成两路，一路传输到环形器中参与自注入，另一路连接到频谱分析仪中进行实时检测；环形器用于保持参与自注入的拍频信号在回路中的单向传输；移相器用于对参与自注入的拍频信号进行相位匹配；第二T型偏置器用于将相位匹配后的拍频信号注入到太赫兹量子级联激光器；频谱分析仪用于实时检测得到的自注入拍频信号。本发明能够提高系统的稳定性，满足作为高频光电振荡器的要求。
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公开(公告)号：CN114660017A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210251220.6
申请日：2022-03-15
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G01N21/3581 , G01N21/01 , G01N25/02 , G02B27/09 , G02B27/30
摘要： 本发明涉及一种材料相变过程的成像装置和方法，其中，成像装置包括：量子级联激光器，用于在低温环境下发出成像光；耦合输出结构，用于收集所述成像光并进行准直；扩束装置，用于将准直后的所述成像光扩束成共焦的多束激光；透镜，用于将所述共焦的多束激光转变为平行光并照射到样品板上的测试样品；镜头，用于接收穿过所述测试样品的平行光，并成像于热探测阵列的敏感面上；计算机，用于获取所述热探测阵列上产生的电信号。本发明能够有效避免被测样品因加热带来的热辐射干扰。
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公开(公告)号：CN112730315B
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202011560857.0
申请日：2020-12-25
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G01N21/3581 , G01N21/01 , G01Q60/18 , G01Q60/06 , G01Q60/38
摘要： 本发明涉及一种高分辨率太赫兹近场光谱测试系统，其中，第一量子级联激光器发出的太赫兹波经过所述准直聚焦系统中的第一光路后照射到所述原子力显微镜的探针尖端与样品的交界处；原子力显微镜的探针以固定振动频率与所述样品接触，第二量子级联激光器通过所述准直聚焦系统中的第二光路收集原子力显微镜的探针尖端处产生的散射近场信号；散射近场信号与第二量子级联激光器发出的太赫兹波在谐振腔中相互作用，产生下变频的双光梳多外差光谱；频谱分析仪用于观测所述双光梳多外差光谱。本发明突破传统光学衍射极限，将空间分辨率提高到纳米量级，从而使单分子在THz辐射下的电磁、光谱观测成为可能。
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公开(公告)号：CN114361940A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202111536964.4
申请日：2021-12-13
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要： 本发明涉及一种超表面结构调控太赫兹量子级联激光器色散的方法，在所述太赫兹量子级联激光器的谐振腔的一端形成超表面，所述超表面作为所述太赫兹量子级联激光器的谐振腔体的有效端面；所述超表面为多个亚波长单元在二维平面上排列而成；通过对所述亚波长单元的结构参数进行调整实现所述超表面在亚波长尺度下对电磁波参数进行自由调制，从而实现调节所述太赫兹量子级联激光器的腔内损耗，进而实现对色散曲线的修正。
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公开(公告)号：CN113092072A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110223250.1
申请日：2021-03-01
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明涉及一种单模太赫兹量子级联激光器调谐特性表征装置，包括：太赫兹量子级联激光器光频梳，与待测可调谐单模太赫兹量子级联激光器通过光学回路实现拍频，且发出的太赫兹光束经过所述光学回路耦合进所述待测可调谐单模太赫兹量子级联激光器的谐振腔内；T型偏置器，与所述待测可调谐单模太赫兹量子级联激光器相连，用于提取所述拍频信号；频谱分析仪，与所述T型偏置器相连，用于分析所述拍频信号。本发明能够精确表征单模太赫兹量子级联激光器的调谐特性。
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公开(公告)号：CN112326028A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011089593.5
申请日：2020-10-13
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要： 本发明涉及一种提高双光梳光谱系统频率稳定性的装置，包括光学部分和电学部分，所述光学部分包括目标光频梳、参考光频梳、光学回路和混频器，所述目标光频梳与参考光频梳经过光学回路耦合在所述混频器上实现混频，产生微波双光梳；所述电学部分用于提取所述微波双光梳中的一根梳齿，并将所述梳齿进行相位锁定。本发明能够提高目标光频梳的频率稳定性，进而实现稳定的双光梳光谱系统。
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公开(公告)号：CN109273983B
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN201811257281.3
申请日：2018-10-26
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要： 本发明提供一种太赫兹量子级联激光器，包括耦合腔、直流源、T型偏置器以及RF源，该耦合腔具有短腔和长腔，其中长腔连接直流源，所述短腔通过T型偏置器和直流源相连，所述T型偏置器还与RF源相连。本发明还提供了该太赫兹量子级联激光器的光谱调制方法。本发明的太赫兹量子级联激光器采用耦合腔结构作为激光器的谐振腔，并用于太赫兹波的光谱调制中，相比于传统的Fabry‑Pérot谐振腔难以进一步提高RF注入调制效率的情况，耦合腔结构由于短腔的面积小，能够降低器件电容，从而在太赫兹量子级联激光器锁模操作时提高注入调制效率。
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公开(公告)号：CN110854666A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911146185.6
申请日：2019-11-21
申请人： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要： 本发明公开了一种太赫兹量子级联激光器及其制作方法，所述激光器后端面垂直于激光器脊条结构长度方向，前端面和脊条结构垂直方向有一倾斜角，两个端面其中一个为解理面，另一个为研磨抛光面，这种不平行的端面导致前后端面反射率和透射率不同，从而改变激光器前后端面的出光比率，端面倾斜角小于激光器有源区全反射临界角时，激光器前端面出光功率比率更大，这种倾斜前端面结构还有利于抑制横向高阶模，适用于宽脊条、单端输出、大功率激光器。
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