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公开(公告)号：CN105289946A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510829620.0
申请日：2015-11-25
Applicant: 南京理工大学
Abstract: 本发明提供一种采用静电喷射法制备薄膜的方法，采用至少两个喷头向同一个基底或收集装置上喷射至少两种先驱体，所述先驱体在基底或收集过程中相遇后进行化学反应生成薄膜；所述喷头同时向基底或收集装置上喷射先驱体或者所述喷头依次向基底或收集装置上喷射先驱体；喷头之间的间距可调；喷头与基底或收集装置的相对位置可调。本发明低成本、操作简单、可重复性强、制备的薄膜不易开裂。
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