一种单晶炉水冷热屏的内筒一体式旋压加工工艺

    公开(公告)号:CN117884527A

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202410197362.8

    申请日:2024-02-22

    摘要: 本发明公开了一种单晶炉水冷热屏的内筒一体式旋压加工工艺,先通过将锥台模具和圆柱模具装夹锁紧在主轴上,再将带孔的圆板胚料装夹在左侧的组合模具以及右侧的压顶模具之间,随后启动旋压设备,利用喷枪对圆板胚料均匀加热,同时对圆板胚料逐层挤压翻折,将圆板胚料紧贴在组合模具表面,完成锥度加工,再停机,取下圆柱模具,并将压顶模具替换成折弯模具,主轴旋转,通过车刀去除原先圆柱模具与压顶模具之间的翻折毛边,同时加热圆板胚料,利用折弯模具挤压胚料的右端,使圆板胚料的端面沿着折弯模具折弯成型,加工完成等待产品冷却,本发明通过旋压成型的水冷热屏的内筒,大幅提高生产效率,降低生产成本。

    一种金属掩膜板的焊接设备

    公开(公告)号:CN117444438A

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202311773587.5

    申请日:2023-12-22

    IPC分类号: B23K26/70 B23K26/21 B23K26/08

    摘要: 本发明涉及半导体制造技术领域,尤其提供一种金属掩膜板的焊接设备。该金属掩膜板的焊接设备包括框架、薄片张紧机构、传送对位机构、承接板、框架夹紧机构、激光焊接组件及控制柜。本发明提供了一种具有自动上下料、方便调节薄片张紧力、方便调节框架夹紧力、焊点质量稳定功能的自动焊接装置,解决了工作时间长、上下料不便、作业过程中容易出现划伤、张紧薄片后与框架焊接质量不稳定等不足,极大的提升了生产效率,并实现自动化,有效避免了人力搬运造成的磕碰、划伤的同时节省了人力成本。

    一种薄片金属复合湿法蚀刻方法

    公开(公告)号:CN116555764A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202310847132.7

    申请日:2023-07-12

    发明人: 潘燕萍 熊超

    IPC分类号: C23F1/14

    摘要: 本发明涉及半导体制造技术领域,尤其提供一种薄片金属复合湿法蚀刻方法。该薄片金属复合湿法蚀刻方法包括以下步骤:将共通金属掩膜板的表面进行清洗并烘干清洗液,并在共通金属掩膜板的外表面设计外形切口;使用半导体切割机沿共通金属掩膜板的外形切口进行间歇式切割以产生点断式的外形切口;在外周面贴附光阻膜,随后进行曝光、显影处理;将显影后的共通金属掩膜板放置进入蚀刻机中对外形切口进行溶解及蚀刻,从而在共通金属掩膜板中开设形成光滑地外形切口;将共通金属掩膜板从蚀刻机中取出并烘干化学溶液,且对外周面的光阻膜进行退膜处理。本发明能够减少化学溶液的使用量及附属产物的排污需求。

    旋转阴极水冷系统
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115433913A

    公开(公告)日:2022-12-06

    申请号:CN202211213148.4

    申请日:2022-09-30

    发明人: 潘燕萍

    摘要: 本发明属于磁控溅射设备领域,特别涉及旋转阴极水冷系统;旋转阴极水冷系统,其包括法兰板,所述的法兰板的上表面设有一水冷组件,水冷组件与旋转阴极组件连接并为旋转阴极组件提供冷却水的循环,所述水冷组件包括进水管,进水管上至少设有一个进水流量控制组件,进水流量控制组件与旋转阴极组件的进水口连接,还包括回水管,回水管上至少设有一个回水水流检测组件,回水水流检测组件的进口与旋转阴极组件的出水口连接,所述的进水管和回水管上分别设有进水水温检测组件和回水水温检测组件;本发明通过进水流量控制组件的调节,使得旋转阴极组件在不同功率下都能处于一个适于溅射的温度范围内,从而获得更好的溅射质量和溅射效率。

    一种通用金属掩膜版焊接方法及制作的通用金属掩膜版

    公开(公告)号:CN113618244A

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN202110928583.4

    申请日:2021-08-13

    发明人: 潘燕萍

    IPC分类号: B23K26/22 C23C14/04 C23C14/24

    摘要: 本发明公开了一种通用金属掩膜版焊接方法及制作的通用金属掩膜版,属于显示面板制造装备领域。本发明的通用金属掩膜版焊接方法,其将掩模网的四周张网定位在金属框的上表面上,采用点焊工艺将掩模网的四周焊接固定在金属框上;对矩形掩模网的长边和短边分割焊接,先对矩形掩模网的长边和短边的中心焊接区进行焊接,然后再分别对矩形掩模网的长边和短边的对应端部焊接区进行焊接,改善了掩模网单边连续焊接而产生的累积挤压变形,提高了通用金属掩膜版的焊接位置精度;并且,焊接方法简单易行,实施方便,为提高通用金属掩膜版的制作精度提供了新思路。制作的通用金属掩膜版的位置精度更高,掩模网不易发生扭曲,保证了通用金属掩膜版的高精度。

    一种金属掩膜板的焊接设备

    公开(公告)号:CN117444438B

    公开(公告)日:2024-06-18

    申请号:CN202311773587.5

    申请日:2023-12-22

    IPC分类号: B23K26/70 B23K26/21 B23K26/08

    摘要: 本发明涉及半导体制造技术领域,尤其提供一种金属掩膜板的焊接设备。该金属掩膜板的焊接设备包括框架、薄片张紧机构、传送对位机构、承接板、框架夹紧机构、激光焊接组件及控制柜。本发明提供了一种具有自动上下料、方便调节薄片张紧力、方便调节框架夹紧力、焊点质量稳定功能的自动焊接装置,解决了工作时间长、上下料不便、作业过程中容易出现划伤、张紧薄片后与框架焊接质量不稳定等不足,极大的提升了生产效率,并实现自动化,有效避免了人力搬运造成的磕碰、划伤的同时节省了人力成本。

    一种金属掩膜板焊接设备的夹紧结构

    公开(公告)号:CN117444515A

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202311787105.1

    申请日:2023-12-25

    IPC分类号: B23K37/04

    摘要: 本发明涉及半导体制造技术领域,尤其提供一种金属掩膜板焊接设备的夹紧结构。该金属掩膜板焊接设备的夹紧结构包括承接板、四个夹紧组件、两个从动组件及四个加固组件,承接板包括固定板及安装板。本发明有效提高金属掩膜板焊接稳定性,并提高焊接效率和制程一致性,提高产线效率,提高了设备空间利用率,即使遇到断电、故障等突发状况也不会导致产品报废,相比传统伺服电机夹紧机构在保证产品质量的前提下经济性、可靠性、易操作性大大提升。

    一种金属超薄片激光开口用夹具
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116532820A

    公开(公告)日:2023-08-04

    申请号:CN202310785676.5

    申请日:2023-06-30

    发明人: 潘燕萍 刘嘉辉

    IPC分类号: B23K26/38 B23K26/40 B23K26/70

    摘要: 本发明涉及激光切割技术领域,尤其提供一种金属超薄片激光开口用夹具。该金属超薄片激光开口用夹具包括激光载台、三个纵向组件、移动组件、两个横向组件以及四个支撑组件。本发明利用纵向组件、移动组件及横向组件配合调整使得本发明可以根据金属薄片的尺寸进行调节,使得金属超薄片激光开口用夹具能够对金属薄片的四个角部处进行绷紧拉伸及固定夹持,同时还设置有控制电磁块对金属薄片进行辅助磁力吸附,使得激光切割机在后续切割过程中可以对金属薄片进行精准的切割及开口,且激光切割过程中进行散热导风使得激光切割时的避免热量集中,同时辅助支撑组件为金属薄片提供更强、更均匀的支撑力。

    共通金属掩膜版手动张网机

    公开(公告)号:CN114101910B

    公开(公告)日:2022-05-17

    申请号:CN202210083829.7

    申请日:2022-01-25

    IPC分类号: B23K26/21 B23K26/70

    摘要: 本发明公开了一种共通金属掩膜版手动张网机,包括机架部分、金属框上料部分、拉力控制部分以及镭射焊接部分;金属框上料部分、拉力控制部分以及镭射焊接部分均安装在机架部分上;拉力控制部分包括基座和固定在基座上的多个气缸夹持头单元,气缸夹持头单元包括气缸、夹头、底板及与底板相连接的手动预设力机构;气缸夹持头单元通过气缸推动带动夹头旋转,致使夹头和底板紧密贴合,从而使夹头和底板夹持住共通金属掩膜版;当基座整体移动时,各个气缸夹持头单元通过对应的手动预设力机构实现不同力的控制。该手动张网机的结构设计合理,实现相同功能和精度的同时,能够大幅降低共同金属掩膜版张网机台的制造成本。

    一种在留有余量的金属掩模框表面加工合格斜孔的方法

    公开(公告)号:CN112296377A

    公开(公告)日:2021-02-02

    申请号:CN202011587379.2

    申请日:2020-12-29

    IPC分类号: B23B35/00 B23B47/00

    摘要: 本发明公开了一种在留有余量的金属掩模框表面加工合格斜孔的方法,具体步骤是:第一步骤、加工标记孔:首先利用CNC机床或钻床在产品表面加工出标记孔,该标记孔为直孔;第二步骤、加工引导孔:然后在标记孔的基础上,利用镗床加工出引导孔,该引导孔为斜孔;第三步骤、加工通孔:再在引导孔的基础上,利用电火花击穿出通孔,该通孔为斜通孔;第四步骤、加工合格斜孔:最后在通孔的基础上,利用扩孔钻扩孔至尺寸要求,得到合格斜孔。该方法可以降低人力物力财力,降低用于购置高精度专用钻孔机或多轴机器的经费开支,有效提高加工效率,经过理论计算评估和实际加工产品验证,切实可行。