一种多晶硅还原生产工艺及装置

    公开(公告)号:CN102874814A

    公开(公告)日:2013-01-16

    申请号:CN201210348552.2

    申请日:2012-09-19

    IPC分类号: C01B33/03

    摘要: 本发明公开了一种多晶硅还原生产工艺,包括步骤:a1、将液态三氯氢硅通过三氯氢硅汽化器汽化得到气态三氯氢硅;a2、与步骤a1同时,将氢气预热得到热氢气;a3、将气态三氯氢硅和热氢气按照氢过量的配比通过静态混合器混合均匀,形成原料混合气;a4、将原料混合气体通过恒温换热器升温并达到恒温状态;a5、将恒温后的混合气送入还原炉。本发明工艺流程能耗低、多晶硅沉积速度高、三氯氢硅一次转化率高。本发明同时公开了一种多晶硅还原生产装置。

    纳米铂催化氢化四氯化硅的方法

    公开(公告)号:CN102838120A

    公开(公告)日:2012-12-26

    申请号:CN201210346131.6

    申请日:2012-09-18

    发明人: 刘桂林 李西良

    IPC分类号: C01B33/107 B01J23/42

    摘要: 本发明公开一种纳米铂催化氢化四氯化硅的方法,四氯化硅与氢气混合后在包括以下条件下进行反应:(1)催化剂为纳米铂;(2)光照;(3)反应温度为20-400℃。本发明采用纳米铂催化四氯化硅的氢化反应,在有光照的条件下,四氯化硅与氢气的反应温度可降至400℃以下,反应压力在0.6MPa以下,而四氯化硅转化率达到20~35%,该方法对设备要求低,具有能耗低、转化率高的优点。

    基于DCS系统智能机柜温度控制系统

    公开(公告)号:CN102637030A

    公开(公告)日:2012-08-15

    申请号:CN201210141563.3

    申请日:2012-05-08

    发明人: 宋永刚

    IPC分类号: G05B19/418

    CPC分类号: Y02P90/02

    摘要: 本发明公开了一种基于DCS系统智能机柜温度控制系统,包括机柜温度检测单元,机柜温度转换单元,机柜温度程序控制单元,风机电源控制单元,机柜冷却风机单元;所述机柜温度检测单元检测的机柜温度信号,经机柜温度转换单元传递给机柜温度程序控制单元,该机柜温度程序控制单元对该温度信号进行判断,并根据判断结果控制风机电源控制单元动作,所述风机电源控制单元驱动机柜冷却风机单元动作。通过在机柜中增加温度检测模块,通过DCS系统本身存在的通道进行数据的传输,完成相应的程序编写,便可以对机柜温度进行监控,因而该系统具有通用性,适合所有的DCS系统。并且降低了用户的使用成本。

    一种回收利用洗涤塔排放液中氯硅烷的方法及其专用装置

    公开(公告)号:CN102633264A

    公开(公告)日:2012-08-15

    申请号:CN201210139971.5

    申请日:2012-05-08

    IPC分类号: C01B33/107

    摘要: 本发明公开了一种回收利用洗涤塔排放液中氯硅烷化合物的方法,是将从洗涤塔底部排放的废液间歇式的通入汽化器中,并加热将氯硅烷化合物汽化后冷凝分离,回收,同时提供了上述方法中所用的专用设备。本发明的有益效果为:本方法工艺简单,工艺条件易于实现,且操作方便;在生产过程中改善了洗涤塔因液多而出现的淹塔问题,也改善了之前因积液量的波动而造成的洗涤塔失衡问题,进而改善了洗涤塔及其塔顶冷凝器的堵塞问题,延长了洗涤塔的使用周期;最主要的是减少了残液的排放量,减少了氯硅烷的浪费,减少了碱液池的处理负荷和缓解了环境的污染问题,减少了人力劳动量,降低了生产成本。

    一种多晶硅生产中还原尾气热能回收利用的方法和装置

    公开(公告)号:CN102070145B

    公开(公告)日:2011-10-05

    申请号:CN201010574832.6

    申请日:2010-12-06

    IPC分类号: C01B33/03 F27D17/00

    CPC分类号: Y02P10/283

    摘要: 本发明公开了一种多晶硅生产中还原尾气热能回收利用的方法和装置,包括还原尾气与氯硅烷在塔底再沸器中的一次换热,换热后氯硅烷部分汽化,并输送到氯硅烷提纯塔中,作为氯硅烷提纯塔的热源,换热后的还原尾气输送到冷凝器中,将还原尾气中的氯硅烷冷凝为液体,并输送到氯硅烷提纯塔中。多晶硅生产中还原尾气热能回收利用的装置,包括依次相连接的以下设备:塔顶冷凝器、提纯塔、塔底再沸器、尾气冷凝器、氯硅烷缓冲罐和氯硅烷输送泵,氯硅烷输送泵出口与提纯塔相连。通过本发明的技术改造可使还原精馏系统降低40%的蒸汽消耗量,同时可使CDI系统冷冻机负荷降低7%,循环水用量减低约52.44%,起到了很好的节能降耗的目的。

    一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置

    公开(公告)号:CN102039082B

    公开(公告)日:2011-08-31

    申请号:CN201010195798.1

    申请日:2010-06-09

    IPC分类号: B01D53/18

    摘要: 本发明公开了一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置,特点是从氯化氢分离塔塔顶分离出的低温氯化氢液体,通过换热设备,与从氯化氢分离塔塔底输出的高温氯硅烷液体进行热交换,从而使低温氯化氢液体吸收热量被完全汽化,高温氯硅烷温度降低,作为低温吸收液体进入吸收塔继续吸收尾气中的氯化氢。所述的装置包括依次连接的氯化氢冷凝储槽、换热器和除沫器,换热器下方设置有与其相连的氯硅烷贮槽。用尾气回收系统中的热量和冷量进行相互转化,充分利用能量,节省了能源。

    一种多晶硅尾气干法回收中热能回收工艺及系统

    公开(公告)号:CN102838118A

    公开(公告)日:2012-12-26

    申请号:CN201210348632.8

    申请日:2012-09-19

    IPC分类号: C01B33/03

    CPC分类号: Y02P20/124

    摘要: 本发明公开了一种多晶硅尾气干法回收系统中热能回收工艺,包括步骤:a1、120~150℃的氢化或还原贫液氯硅烷进入合成解析塔再沸器,对合成解析塔塔釜进行加热;a2、通过旁路阀调节120~150℃的氢化或还原贫液氯硅烷进入合成解析塔再沸器的流量,控制合成解析塔的釜温;a3、经过合成解析塔再沸器换热后的氢化或还原贫液氯硅烷进入冷却器中进行水冷,将氢化或还原贫液氯硅烷降温至30~40℃。本发明实现多晶硅尾气干法回收系统合成解析塔塔釜采用120~150℃氢化或还原贫液氯硅烷作为热源进行塔釜加热,减少了合成尾气热能回收系统蒸汽的消耗,有效的利用了多晶硅尾气干法回收系统中解析后的120~150℃氢化或还原贫液氯硅烷所携带的热量。本发明同时公开了一种多晶硅尾气干法回收中热能回收系统。

    一种破碎多晶硅的方法及其装置

    公开(公告)号:CN102836765A

    公开(公告)日:2012-12-26

    申请号:CN201210346137.3

    申请日:2012-09-18

    IPC分类号: B02C19/00

    CPC分类号: B02C19/18 B02C2019/183

    摘要: 本发明公开了一种破碎多晶硅的方法,包括如下步骤:步骤一、将多晶硅置于水池中,以水没过多晶硅为准;步骤二、给水池施加瞬间高压电,所述高压电产生的电场强度大于或等于水池临界电场强度。本发明所提供的破碎多晶硅的方法突破了传统的多晶硅破碎思路,利用水电效应破碎多晶硅,可实现大规模破碎生产,并且工艺简单;本发明所提供的多晶硅破碎装置,结构简单、安全,易于操作;本发明不仅避免了现有技术中出现的金属污染问题,而且破碎均匀,有效的减少了多晶硅粉末的形成,对提高企业效益方面具有非常重要的意义。

    一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法及装置

    公开(公告)号:CN102745691A

    公开(公告)日:2012-10-24

    申请号:CN201210245222.0

    申请日:2012-07-16

    IPC分类号: C01B33/02 C01B33/107

    摘要: 一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法,包括合成炉和硅粉收集罐,具体操作步骤包括,A、在合成炉正常停车后,对合成炉进行置换;B、在置换合格后,将合成炉底部硅粉泄放阀与硅粉收集罐通过金属软管进行相连,通过氮气进口管线向合成炉通入氮气;C、打开硅粉泄放阀,氮气连同硅粉被带入硅粉收集罐,氮气通过硅粉收集罐顶部布袋过滤器被放空,使硅粉被收集到硅粉收集罐内,实现了硅粉的全部回收使用。本发明的有益效果如下:本方法工艺简单,工艺条件易于实现,且操作方便;再生产中可以将合成炉内废旧硅粉全部回收再使用,同时回收时不会对人员身体产生粉尘危害。本发明同时公开了三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置。

    一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置

    公开(公告)号:CN102039082A

    公开(公告)日:2011-05-04

    申请号:CN201010195798.1

    申请日:2010-06-09

    IPC分类号: B01D53/18

    摘要: 本发明公开了一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置,特点是从氯化氢分离塔塔顶分离出的低温氯化氢液体,通过换热设备,与从氯化氢分离塔塔底输出的高温氯硅烷液体进行热交换,从而使低温氯化氢液体吸收热量被完全汽化,高温氯硅烷温度降低,作为低温吸收液体进入吸收塔继续吸收尾气中的氯化氢。所述的装置包括依次连接的氯化氢冷凝储槽、换热器和除沫器,换热器下方设置有与其相连的氯硅烷贮槽。用尾气回收系统中的热量和冷量进行相互转化,充分利用能量,节省了能源。