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公开(公告)号：CN102351194A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110188490.9
申请日：2011-07-01
申请人： 王存惠
发明人： 王存惠
IPC分类号： C01B33/03
摘要： 多晶硅还原铸锭联合生产装置主要由含夹套冷却水的生产装置上、下壳体、混合气进、出气管、电极、U型发热体、坩埚、隔热材料、电加热器、热交换台、伺服电机、驱动丝杠、支架及其他附属部件组成，壳体主体采用不锈钢材质制成，以减少设备材质对产品的污染，其特征是该多晶硅还原铸锭联合生产装置可一次完成多晶硅还原和多晶硅铸锭两道工序，混合气进气管分为数个喷口均匀设置在上壳体顶部，每对电极均匀的设置在上壳体顶部，U型发热体连接在电极上，热交换台连接在驱动丝杠上，驱动丝杠由伺服电机驱动，坩埚放置在热交换台上，电加热器环绕坩埚设置，隔热材料环绕电加热器设置，生产装置下壳体由驱动丝杠连接，驱动丝杠由伺服电机驱动。
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公开(公告)号：CN102351194B
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：CN201110188490.9
申请日：2011-07-01
申请人： 王存惠
发明人： 王存惠
IPC分类号： C01B33/03
摘要： 多晶硅还原铸锭联合生产装置主要由含夹套冷却水的生产装置上、下壳体、混合气进、出气管、电极、U型发热体、坩埚、隔热材料、电加热器、热交换台、伺服电机、驱动丝杠、支架及其他附属部件组成，壳体主体采用不锈钢材质制成，以减少设备材质对产品的污染，其特征是该多晶硅还原铸锭联合生产装置可一次完成多晶硅还原和多晶硅铸锭两道工序，混合气进气管分为数个喷口均匀设置在上壳体顶部，每对电极均匀的设置在上壳体顶部，U型发热体连接在电极上，热交换台连接在驱动丝杠上，驱动丝杠由伺服电机驱动，坩埚放置在热交换台上，电加热器环绕坩埚设置，隔热材料环绕电加热器设置，生产装置下壳体由驱动丝杠连接，驱动丝杠由伺服电机驱动。
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公开(公告)号：CN201105995Y
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200720306394.9
申请日：2007-12-19
摘要： 改进型多晶硅还原炉，主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气口、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管、电极冷却水进水管、电极冷却水出水管及其他附属部件组成，炉体主体采用不锈钢材质制成，以减少设备材质对产品的污染，其特征是在底盘上增加一个混和气尾气出气导管，混和气进气管喷口喷出的混合气不会直接经混和气尾气出气口排出，使还原炉内混和气气体流场分布整体上移，还原炉内三氯氢硅和氢气的混和气的气体流场分布更均匀，有利于多晶硅在硅芯上均匀沉积，提高多晶硅产品的质量，解决了混和气气体在还原炉内分布不均匀的现象。
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公开(公告)号：CN201125165Y
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200720306396.8
申请日：2007-12-19
摘要： 有双重冷却系统的多晶硅还原炉，主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管、电极冷却水进水管、电极冷却水出水管及其他附属部件组成，炉体主体采用不锈钢材质制成，以减少设备材质对产品的污染，其特征是在还原炉夹套内上部增加低温冷却盘管和对还原炉夹套进行隔离分为两个冷却系统，通过对还原炉上部和下部用不同温度的冷却水进行冷却，抵消由于热对流的影响导致还原炉内上部温度高于下部温度的现象，使炉内上下部温度均衡，有利于多晶硅均匀的在硅芯上沉积。
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公开(公告)号：CN202144453U
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201120235607.X
申请日：2011-07-01
申请人： 王存惠
发明人： 王存惠
IPC分类号： C01B33/03
摘要： 多晶硅还原铸锭联合生产装置主要由含夹套冷却水的生产装置上、下壳体、混合气进、出气管、电极、U型发热体、坩埚、隔热材料、电加热器、热交换台、伺服电机、驱动丝杠、支架及其他附属部件组成，壳体主体采用不锈钢材质制成，以减少设备材质对产品的污染，其特征是该多晶硅还原铸锭联合生产装置可一次完成多晶硅还原和多晶硅铸锭两道工序，混合气进气管分为数个喷口均匀设置在上壳体顶部，每对电极均匀的设置在上壳体顶部，U型发热体连接在电极上，热交换台连接在驱动丝杠上，驱动丝杠由伺服电机驱动，坩埚放置在热交换台上，电加热器环绕坩埚设置，隔热材料环绕电加热器设置，生产装置下壳体由驱动丝杠连接，驱动丝杠由伺服电机驱动。
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