公开(公告)号：CN109781087A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201811482396.2

申请日：2018-12-05

申请人： 中北大学

发明人： 耿文平 ,  丑修建 ,  陈茜 ,  乔骁骏 ,  穆继亮 ,  何剑 ,  侯晓娟

IPC分类号： G01C19/5698

摘要： 本申请的目的是提供一种基于驻波模式的SAW陀螺仪，本申请通过采用压电耦合系数高、SAW传播速度高且声光耦合系数较大的128°Y-X切LiNbO3压电基片，通过在收发天线触发的双端口谐振器的谐振腔之间放置材料为金的金属点阵和声光读出模式SAW接收端来实现一种新型的驻波模式的陀螺仪。收发天线的设计能够有效减少SAW陀螺仪需要的电子电路模块，即减少外电路的使用；所述SAW接收端采用高精度声光耦合模式读出角速率的变化，从而提高了SAW陀螺仪的准确度与灵敏度。

公开(公告)号：CN109574658A

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201811493945.6

申请日：2018-12-07

申请人： 中北大学

发明人： 丑修建 ,  耿文平 ,  张启程 ,  穆继亮 ,  侯晓娟 ,  何剑 ,  陈茜

IPC分类号： C04B35/48

摘要： 本申请公开了一种铁电薄膜的制备方法及应用，首先，用乙酰丙酮铪和乙酰丙酮锆为原料，乙酸和乙酸酐为溶剂，制备铪锆氧前驱体溶液，然后将此溶液进行涂覆、干化热解和高温退火后得到铁电薄膜。再将此铁电薄膜应用到电容器的结构中。本申请提供的铁电薄膜，具有良好的晶体结构和良好的铁电性能，与硅兼容性好，在氧化硅片上生长光滑致密，此外，避免了采用有毒的铅或者含铅的材料做原料，不会对环境造成污染。

公开(公告)号：CN109781087B

公开(公告)日：2022-09-16

申请号：CN201811482396.2

申请日：2018-12-05

申请人： 中北大学

发明人： 耿文平 ,  丑修建 ,  陈茜 ,  乔骁骏 ,  穆继亮 ,  何剑 ,  侯晓娟

IPC分类号： G01C19/5698

摘要： 本申请的目的是提供一种基于驻波模式的SAW陀螺仪，本申请通过采用压电耦合系数高、SAW传播速度高且声光耦合系数较大的128°Y‑X切LiNbO3压电基片，通过在收发天线触发的双端口谐振器的谐振腔之间放置材料为金的金属点阵和声光读出模式SAW接收端来实现一种新型的驻波模式的陀螺仪。收发天线的设计能够有效减少SAW陀螺仪需要的电子电路模块，即减少外电路的使用；所述SAW接收端采用高精度声光耦合模式读出角速率的变化，从而提高了SAW陀螺仪的准确度与灵敏度。