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公开(公告)号：CN118603676A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410801445.3
申请日：2024-06-20
IPC分类号： G01N1/22
摘要： 本申请涉及一种器件内部气氛取样装置、方法、设备、存储介质和程序产品。所述装置包括取样腔和穿刺模块，其中：所述取样腔的腔体上开设有穿刺孔；所述穿刺模块设置于所述取样腔内，所述穿刺模块用于在待测器件的壳面与所述取样腔外表面相贴合且覆盖所述穿刺孔的情况下，经过所述穿刺孔，刺破所述待测器件中的充气空腔；所述取样腔用于收集所述充气空腔中逸出的待测气氛。采用本方法能够提高器件内部气氛检测准确性。
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公开(公告)号：CN113899509B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202111092412.9
申请日：2021-09-17
摘要： 本公开涉及一种检测封装器件抗水汽影响的方法及系统，方法包括：抽取密封腔体内气体，制造真空条件；其中，所述密封腔体内设置有待测封装器件；向所述密封腔体内通入水汽与惰性气体的混合气体，实时监测所述密封腔体内气压数据，使得所述密封腔体内气压稳定在目标气压；实时监测所述密封腔体内水汽浓度，并根据所述水汽浓度调节所述混合气体的流速以及水汽含量，直至所述密封腔体内的气氛环境达到目标气氛的特征参数，停止通入所述混合气体；实时监测所述待测封装器件的电气性能数据，获得所述待测封装器件的抗水汽影响的评估结果。本公开有助于对单一水汽影响失效机理的加速评价，提高了检测封装器件抗水汽影响能力的准确性和可靠性。
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公开(公告)号：CN117420262A
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN202311219329.2
申请日：2023-09-20
IPC分类号： G01N33/00
摘要： 本申请涉及一种圆片级真空封装器件内部材料的放气特性确定方法和装置。所述方法包括：获取试验样品在标准温度下的第一品质因子和第一谐振频率；在试验样品放置于温度试验箱中的情况下，通过对温度试验箱中的温度进行调节，获取试验样品在各试验温度下的第二品质因子和第二谐振频率；根据第一谐振频率和各第二谐振频率，确定试验样品在各试验温度下的频率变化幅度；根据第一品质因子和各第二品质因子，确定试验样品在各试验温度下的因子变化幅度；根据试验样品在各试验温度下的频率变化幅度和因子变化幅度，确定试验样品的内部材料的放气特性。采用本方法能够准确获取圆片级真空封装器件内部材料的放气特性。
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公开(公告)号：CN116659740A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310446718.2
申请日：2023-04-23
摘要： 本申请涉及一种MEMS器件真空度测量方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。方法包括：获取MEMS器件在真空封装条件下的品质因数；获取MEMS器件在不同气压条件下的品质因数；根据不同气压条件下的品质因数进行拟合，得到拟合方程；基于拟合方程以及真空封装条件下的品质因数进行计算，得到MEMS器件的腔内真空度。整个方案通过测量MEMS器件在不同气压条件下的品质因数，根据不同气压条件下的品质因数进行拟合，得到拟合方程，拟合方程可以准确描述气压与品质因数之间的相关关系，进而根据拟合方程以及真空封装条件下的品质因数进行计算，可以准确地得到MEMS器件的腔内真空度。
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公开(公告)号：CN116338544A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202211286803.9
申请日：2022-10-20
IPC分类号： G01R35/00
摘要： 本申请涉及一种三维互连结构传输参数校准方法、装置、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。所述方法包括：获取参数测量装置测量得到的三维互连结构的待校准传输参数以及各校准结构的各测量参数；参数测量装置的各测试点分别通过延伸预设长度的传输线与三维互连结构以及各校准结构的各测试连接点进行连接；各校准结构包括直通校准结构、传输线校准结构以及反射校准结构；根据待校准传输参数与各测量参数，调用参数校准模型对待校准传输参数进行校准操作，得到校准后的目标传输参数，参数校准模型基于TRL去嵌校准算法预先生成。采用本方法能够有效降低了校准后的目标传输参数的误差，提高了目标传输参数的精准性。
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公开(公告)号：CN114720833A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202210162470.2
申请日：2022-02-22
IPC分类号： G01R31/26
摘要： 本发明涉及一种微流体散热模块测试装置，其特征在于，微流体散热模块测试装置包括：底座，底座用于放置待测样品，底座包括通液装置，通液装置用于向待测样品引导循环冷却液；盖板，盖板盖设在底座上，盖板设有测温区，测温区用于检测待测样品温度；加电装置，加电装置设置在盖板上，加电装置用于与待测样品电连接。通过通液装置向待测样品引导循环冷却液，加电装置设置在盖板上，通过加电装置向待测样品通电，使其达到工作状态，通过盖板的测温区测试样品的温度，该微流体散热模块测试装置结构简单、操作性强，提高了测试效率，同一个测试装置可重复使用，对多个待测样品进行散热能力测试，不损伤待测样品，降低了测试成本。
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公开(公告)号：CN114639647A
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN202210070196.6
申请日：2022-01-21
IPC分类号： H01L23/473
摘要： 本发明涉及一种微流道散热结构和微电子芯片结构。本发明的微流道散热结构包括：衬底；多个相互独立的散热通道，各散热通道均位于衬底内。通过设置在衬底内的多个相互独立的散热通道，多个散热通道的设置可以将热源温度控制在较低的水平，能够有效提升器件的散热能力，减少热量的堆积，且本发明中的微流道散热结构在帮助器件提高散热能力的同时，还可以降低微流道散热结构自身的进出口之间的压降，使散热时压降较大的问题得到改善，从而避免温度过高而使器件损毁的问题发生。
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公开(公告)号：CN114034524A
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202111226491.8
申请日：2021-10-21
摘要： 本发明公开一种样气采样装置及气密封元器件内部气氛分析设备。样气采样装置包括上压块和下压块，上压块设有进气通道，下压块设有用于储存样气的样气腔，下压块与上压块连接，进气通道与样气腔连通，样气腔的体积大小可调；或上压块设有用于与下压块可拆卸连接的连接部，当上压块通过连接部与下压块连接时，进气通道与样气腔连通。气密封元器件内部气氛分析设备包括该样气采样装置。使用样气采样装置进行气体采样时，将下压块与上压块连接以使进气通道与样气腔连通，标准样气通过进气通道进入样气腔内部以使样气腔中储存一定体积的标准样气，气密封元器件内部气氛分析设备的取样装置伸入样气腔，即可获取一定体积的标准样气进行下一步的校准。
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公开(公告)号：CN113624565A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202110919009.2
申请日：2021-08-11
摘要： 本发明涉及微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法，微量气氛取样检测装置，包括中空的检测腔体以及真空系统，检测腔体与真空系统连通，检测腔体内设置有测试装置、样品固定装置以及质谱仪，测试装置与样品固定装置对应设置，样品固定装置用于固定设置样品，测试装置能够破坏样品的气密封，质谱仪对样品逸出的气氛进行分析。通过将内部气氛取样和检测分析结构设置在同一个腔体中，相比现有技术不再需要设置具有空间死角的结构，避免了其对样品内部气氛扩散的不利影响，即使样品内的气氛气体很少，其也能够在检测腔体中充分扩散，使质谱仪能够获取并加以测试分析，本发明的微量气氛取样检测装置具有检测灵敏度高、分析检测限低的特点。
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公开(公告)号：CN113514492A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110616270.5
申请日：2021-06-02
摘要： 本公开涉及一种测量界面热阻的方法和装置。包括：获取第一材料和第二材料的本征热阻、测量端和所述第一材料的接触热阻、所述测量端和所述第二材料的接触热阻，所述测量端包括热端和冷端；获取第一热阻和第二热阻；根据所述本征热阻、所述接触热阻、所述第一热阻和所述第二热阻，确定第一材料和第二材料之间的界面热阻。本公开测量结果准确可靠，并且，可以不需要在材料的内部开孔，不影响材料本身的性能；热电偶和热流计的均可安装于统一位置，如测量端，不会因测量材料的不同而改变位置。
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