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公开(公告)号：CN105215008A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510628671.7
申请日：2015-09-28
Applicant: 中国科学院半导体研究所
CPC classification number: B08B7/0042 , B08B15/04 , B21B45/06
Abstract: 一种抽取清洗残余废气的气嘴结构，包括：一外抽气罩，该外抽气罩为圆管形结构，一端为一喇叭形，该外抽气罩的侧壁上开有多个小孔；一内吹气罩，位于外抽气罩内，该内吹气罩为圆柱形，在圆柱形的侧壁相对两侧斜向形成一平面，使其一端形成一矩形平面，在内吹气罩的另一端开有圆孔，该圆孔按照两侧斜向的角度收缩成一矩形开口；其中该外抽气罩和内吹气罩同轴设置，该内吹气罩的矩形开口向外吹气，该气体与外抽气罩的多个小孔形成气体回路。本发明具有结构简单，使用方便的优点，尤其在狭小的空间进行清洗时，侧边抽气结构能够将粉尘最大效率的抽取干净。
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公开(公告)号：CN105215007A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510628659.6
申请日：2015-09-28
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: B08B7/00
Abstract: 一种物体表面污染物清洗用的光路系统，包括：一激光器，其发出圆形光斑；一方形光斑整形器，该方形光斑整形器将圆形光斑变换成发散的方形光斑；一第一、第二透镜，其依序位于激光器的输出光路上，该第一柱透镜用于将方形光斑的一边长a方向进行准直，该第二透镜用于将方形光斑另一边长b方向进行准直；一第一、第二扫描镜，其依序位于激光器的输出光路上，该第一、第二扫描振镜用于控制清洗用扫描光斑摆动位置，控制清洗；一聚焦场镜，其位于第二扫描镜的光路上，该聚焦场镜用于将平行长方形光斑聚焦形成尺寸为百微米级的清洗用长方形光斑。本发明可实现聚焦方形光斑两边长方向不同尺寸调节，长方形聚焦光斑清洗可在减少重叠率的基础上，消除清洗盲区，提高清洗质量及清洗效率。
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公开(公告)号：CN105215008B
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201510628671.7
申请日：2015-09-28
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种抽取清洗残余废气的气嘴结构，包括：一外抽气罩，该外抽气罩为圆管形结构，一端为一喇叭形，该外抽气罩的侧壁上开有多个小孔；一内吹气罩，位于外抽气罩内，该内吹气罩为圆柱形，在圆柱形的侧壁相对两侧斜向形成一平面，使其一端形成一矩形平面，在内吹气罩的另一端开有圆孔，该圆孔按照两侧斜向的角度收缩成一矩形开口；其中该外抽气罩和内吹气罩同轴设置，该内吹气罩的矩形开口向外吹气，该气体与外抽气罩的多个小孔形成气体回路。本发明具有结构简单，使用方便的优点，尤其在狭小的空间进行清洗时，侧边抽气结构能够将粉尘最大效率的抽取干净。
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公开(公告)号：CN105572653A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201610017913.3
申请日：2016-01-12
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: G01S7/486
CPC classification number: G01S7/4868
Abstract: 本发明公开一种保护半导体激光测距机光敏面的方法，该方法通过在激光测距机接收探测器前放置声光Q开关，使其激光测距过程中被散射介质返回的漫反射信号先被声光Q开关接收，在利用声光Q开关工作原理使漫反射信号在声光Q开关内形成衍射光，这样就有效阻止漫反射信号直接被探测器接收，降低探测器光敏面的损伤，减小探测器的响应度下降，保证测距结果精确。
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公开(公告)号：CN105977774A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610557649.2
申请日：2016-07-15
Applicant: 中国科学院半导体研究所
CPC classification number: H01S3/06708 , G02B6/14 , H01S3/0407 , H01S3/042 , H01S3/094007
Abstract: 一种用于激光模式剥离的光纤及应用其的激光模式剥离器，该光纤至少包括：模式剥离段；该模式剥离段包括：纤芯；以及依次包覆于所述纤芯外侧的内包层和外包层，其中，所述内包层和/或外包层上加工有多个用于激光模式剥离的散射孔，该光纤及激光模式剥离器具有良好的激光模式剥离效果。
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公开(公告)号：CN105301574A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510764787.3
申请日：2015-11-11
Applicant: 中国科学院半导体研究所
CPC classification number: G01S7/4816 , G01S17/06 , G01S17/08 , G01S17/88
Abstract: 一种避免水下激光测探器被杂散光损伤的装置，包括：一调Q器件；一信号光接收窗口，其位于调Q器件的同轴光路上；一信号接收器件，其位于调Q器件和信号光接收窗口的同轴光路上，且在信号光接收窗口之后；一光电分析/控制模块，其位于调Q器件的同轴光路上，位于信号接收器件之后；一探测激光发射窗口，其位于信号光接收窗口同法线方向上，即与信号光接收窗口光轴平行；一脉冲激光源，其位于探测激光发射窗口的同轴光路上；一防水外壳，以上信号接收器件、光电分析/控制模块、和脉冲激光源均容置于防水外壳内。本发明的目的在于，提供了一种避免水下激光测探器被杂散光损伤的装置，通过光电分析/控制模块与脉冲激光源联动工作，具有价格经济、结构简单和应用灵活的优点。
