公开(公告)号：CN109264671A

公开(公告)日：2019-01-25

申请号：CN201810960123.8

申请日：2018-08-22

申请人： 中国科学院电工研究所

发明人： 高远 ,  邵涛 ,  王晓玲 ,  张帅 ,  孙昊

IPC分类号： C01B3/38

摘要： 本发明公开了一种等离子体喷涂薄膜协同DBD催化甲烷干重整装置，包括：脉冲发生装置，其由触发盒以及与触发盒连接的脉冲电源组成；DBD反应器，其由电极杆、DBD石英管、铜网和聚四氟乙烯固件组成，电极杆上附有等离子体喷涂源喷涂的TiO2薄膜；气体产生装置，其由两个气瓶、两个质量流量控制计、静置均流器和气路A组成。本发明还提供了一种离子体喷涂薄膜协同DBD催化甲烷干重整方法。本发明的有益效果：利用大气压等离子体喷涂源实现光催化薄膜制备并结合介质阻挡放电(DBD)等离子体进行等离子体-光催化协同重整甲烷，提高气体转化率、合成气产率及能量利用效率。