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公开(公告)号：CN106132056B
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201610509779.9
申请日：2016-07-01
申请人： 中国科学院电工研究所
摘要： 本发明涉及一种等离子体射流装置及抑制环氧树脂表面电荷积聚的方法。一种等离子体射流装置，包括：中空金属毛细管，其外部套有石英玻璃管，二者组合为大气压等离子体射流的射流管，所述射流管接高压电源同时接地，且所述中空金属毛细管的顶端设有进气口；加热平台，其位于所述射流管底部，所述加热平台上放置样品，且所述加热平台接地。本发明所述装置结构简单，方法简便易行、效果持久、处理效率高、对环境影响小，因此适合于工业生产应用。
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公开(公告)号：CN108848604A
公开(公告)日：2018-11-20
申请号：CN201810791954.7
申请日：2018-07-18
申请人： 中国科学院电工研究所
IPC分类号： H05H1/34
摘要： 本发明涉及一种便携式微空心阴极放电等离子体射流装置，包括微空心阴极放电电极、激励源模块、供气模块和绝缘外壳，所述绝缘外壳将上述微空心阴极放电电极、激励源模块和供气模块包裹于内部，所述绝缘外壳前端部还设有喷嘴。所述激励源模块包括依次电连接的充电锂电池、低压直流稳压电路、直流升压电路、高压脉冲发生器和阻抗匹配电路，其中阻抗匹配电路连接微空心阴极放电电极，供气模块连通微空心阴极放电电极并由低压直流稳压电路直接供电。本发明所述便携式微空心阴极放电等离子体射流装置以空气为气源，能够摆脱稀有气体供气难题，同时能够解决高气压下辉光放电向电弧放电转换的问题，产生空气辉光等离子体。
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公开(公告)号：CN108282950A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201810190266.5
申请日：2018-03-08
申请人： 中国科学院电工研究所
IPC分类号： H05H1/24
CPC分类号： H05H1/2406 , H05H2001/2425
摘要： 本发明涉及一种基于三电极表面介质阻挡放电的大气压等离子体发生装置。所述等离子体发生装置包括两个相对布置的竖直介质板和若干个均匀固定在两个竖直介质板上的放电单元，所述放电单元左、右对称布置且均分布在两个竖直介质板的外侧；高压平板电极位于两个竖直介质板的之间并紧密贴合；其中，每个放电单元均包括水平介质板，所述水平介质板垂直固定在所述竖直介质板上；在所述水平介质板的上表面紧贴有直流电极，在所述水平介质板的下表面紧贴有地电极，整个地电极上封装有热熔胶；每侧的相邻放电单元之间距离最小为10mm。本发明可产生大面积低温等离子体，有效提高等离子体产生效率。
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公开(公告)号：CN106011786B
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201610515047.0
申请日：2016-07-01
申请人： 中国科学院电工研究所
IPC分类号： C23C16/40 , C23C16/515 , C23C16/448
摘要： 本发明涉及一种大气压弥散放电装置及金属表面沉积类SiO2薄膜方法。一种大气压弥散放电装置，包括：针电极，其竖直放置，所述针电极的顶端连接高压脉冲电源；金属基底，设于所述针电极的下方，所述金属基底接地；混气室，其设于所述金属基底的一端上方，所述混气室一侧设有气体喷口，且所述气体喷口朝向所述沉积区域；所述混气室呈圆筒状或立方体状，由绝缘材料制成；所述混气室通过混合气体输出管连接气体鼓泡装置。本发明装置简单、操作方便，可在室温、大气环境等相对简单的条件下在金属表面获得范围较大且较为均匀的放电等离子体，改善了传统放电形式沉积薄膜范围小、均匀性差的缺点。
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公开(公告)号：CN106879155A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201710183836.3
申请日：2017-03-24
申请人： 中国科学院电工研究所 , 南京工业大学 , 南京苏曼等离子科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种微秒脉冲等离子体射流一体机装置，包括微秒脉冲激励电源、等离子体射流装置和反应气体装置，微秒脉冲激励电源通过连接线内设置的高压线与等离子体射流装置的高压端连接，反应气体装置内的反应气体通过进气管进入微秒脉冲激励电源的进气口，并通过连接线内设置的出气管进入等离子体射流装置中。本发明还提供了一种微秒脉冲等离子体射流一体机装置的使用方法。本发明的有益效果为：一体化设计，具有放电效率高和装置小型化的优势，方便携带与使用；可输出电压幅值0‑20kV连续可调、频率0‑1.5kHz连续可调、上升沿0.5us、半高宽8us的高压脉冲；在实际应用中，可以应用于表面处理、生物医学应用等领域。
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公开(公告)号：CN105221319A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510546548.0
申请日：2015-08-31
申请人： 中国科学院电工研究所
CPC分类号： Y02T10/126
摘要： 本发明公开了一种用于点火和辅助燃烧的滑动放电反应器，包括：由两个管状交叉形成的十字交叉四通管状绝缘装置；通过粘合胶安装在一对电极安装口处的一对滑动放电电极；位于十字交叉处与出气口之间的燃烧区域；位于一对滑动放电电极之间的起弧端；通过导线连接到一个滑动放电电极一端的等离子体激励电源；连接气体流量计的气源。本发明的有益效果为：采用针-针放电装置产生的滑动弧放电，以及在各个针电极上加装合适的耐热玻璃管形成较强的介质阻挡放电，装置简单，可以将其应用于气体燃料进气口与发动机连接处，缩短点火时间，增加接触面积，加速燃料燃烧，由于滑动放电产生的等离子体具有较高的电子密度，可有提高燃料燃烧效率。
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公开(公告)号：CN105153441A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201510580492.0
申请日：2015-09-11
申请人： 中国科学院电工研究所
摘要： 本发明涉及一种加快环氧树脂材料表面电荷消散的方法，属于电气材料绝缘技术领域。本发明所述方法包括以下步骤：步骤1，组装介质阻挡放电等离子体处理装置；步骤2，将环氧树脂材料清洗、干燥；步骤3，将清洗干燥后的环氧树脂材料放置于下阻挡介质上；通过进气口通入气体，高压电源放电电压幅值在10kV～30kV之间，频率在500Hz～3000Hz之间，产生均匀稳定的放电，对所述环氧树脂材料进行放电等离子体处理，处理时间为10s～10min。本发明所述方法加快环氧树脂材料表面电荷消散，处理时间短，所用装置结构简单，成本低廉，无需使用化学试剂，对环境污染小。
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公开(公告)号：CN108130522B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201711405441.X
申请日：2017-12-22
申请人： 中国科学院电工研究所
IPC分类号： C23C16/40 , C23C16/02 , C23C16/513 , C23C16/52
摘要： 本发明公开了一种大气压下金属表面沉积TiO2薄膜抑制微放电的方法，该方法包括：步骤1、搭建大气压等离子体射流装置；步骤2、对沉积基底进行预清洗处理；步骤3、进行TiO2薄膜沉积：接通电源，调整电源参数，使射流管内产生均匀地等离子体且没有细丝；调整射流管和沉积基底的相对位置，使射流管对准沉积基底的中心位置；调整射流管口与沉积基底间的距离，使沉积过程中不会产生火花灼烧基底。本发明的有益效果为：射流装置结构简单，可将设备集成为便携式处理器，满足施工现场沉积要求；不需要退火等操作，有效缩短了制备时间；有效地降低了生产成本；可实现对不规则表面基底的TiO2薄膜沉积，满足不同的工业需求。
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公开(公告)号：CN106952728B
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201710370080.3
申请日：2017-05-23
申请人： 中国科学院电工研究所
摘要： 本发明涉及一种利用大气压低温等离子体提高电容器储能密度的方法，包括：将待处理的电容器薄膜清洗、干燥；选定大气压低温等离子体产生设备，将所述电容器薄膜放置于大气压低温等离子体产生设备的等离子体产生区域；选定高压电源、前驱物和工作气体的种类，并调整放电参数和工作气体流速；进行等离子体沉积处理。本发明利用大气压低温等离子体处理电容器薄膜，电容器薄膜表面击穿场强可提高17％及以上,储能密度提高23％及以上。
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公开(公告)号：CN108130522A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201711405441.X
申请日：2017-12-22
申请人： 中国科学院电工研究所
IPC分类号： C23C16/40 , C23C16/02 , C23C16/513 , C23C16/52
摘要： 本发明公开了一种大气压下金属表面沉积TiO2薄膜抑制微放电的方法，该方法包括：步骤1、搭建大气压等离子体射流装置；步骤2、对沉积基底进行预清洗处理；步骤3、进行TiO2薄膜沉积：接通电源，调整电源参数，使射流管内产生均匀地等离子体且没有细丝；调整射流管和沉积基底的相对位置，使射流管对准沉积基底的中心位置；调整射流管口与沉积基底间的距离，使沉积过程中不会产生火花灼烧基底。本发明的有益效果为：射流装置结构简单，可将设备集成为便携式处理器，满足施工现场沉积要求；不需要退火等操作，有效缩短了制备时间；有效地降低了生产成本；可实现对不规则表面基底的TiO2薄膜沉积，满足不同的工业需求。
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