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公开(公告)号：CN115305473B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202210841936.1
申请日：2022-07-18
Applicant: 中国科学院空天信息创新研究院
IPC: C23F4/00 , H01J37/305
Abstract: 本公开提供了一种适用于真空器件的金属零件处理装置和处理方法，处理装置包括：密封腔室，设置有抽气口；旋转托盘，转动设置在密封腔室内，旋转托盘用于承载待处理的金属零件；电子枪，设置在密封腔室内，电子枪设置在旋转托盘的斜上方，电子枪朝向旋转托盘，电子枪用于发出电子束以对金属零件进行轰击处理；真空泵，与抽气口连接；以及磁场线圈，套设在密封腔室外侧，磁场线圈用于提供磁场以改变电子束的直径。通过旋转托盘能够使得金属零件的各个侧面均匀的被电子束轰击，提高了金属零件的去气效果，降低了金属零件的出气量，配合磁场线圈
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公开(公告)号：CN113005404A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202110202475.9
申请日：2021-02-23
Applicant: 中国科学院空天信息创新研究院
Abstract: 一种碱金属源的制备装置及制备方法，该碱金属源的制备装置包括：第一金属筒，具有沿轴向贯穿的内腔；隔离结构，将所述第一金属筒的内腔分隔成第一容纳空间和第二容纳空间；金属海绵体，位于所述第一容纳空间中，在所述金属海绵体和隔离结构之间形成用于放置碱金属原材料的子容纳空间；热子，位于所述第二容纳空间中。本发明还提供了利用该制备装置制备碱金属源的方法和该制备装置的制备方法。本发明实现了碱金属源的蒸发速率及蒸发方向可控。
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公开(公告)号：CN112798650A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN202011643244.3
申请日：2020-12-30
Applicant: 中国科学院空天信息创新研究院
IPC: G01N27/00
Abstract: 本公开提供一种测试阴极耐电子轰击能力的装置，包括：待测阴极；电子束阴极，用于提供持续轰击待测阴极的电子束，并在测试过程中接收待测阴极发射的电子所形成的发射电流；阳极，接收电子束阴极发射的电子所形成的阳极电流；测试电源单元，为所述的测试阴极耐电子轰击能力的装置供电；以及电流监测部件，用于监测所述发射电流的强度，根据所述发射电流的强度随时间的变化，从而能够得到所述待测阴极的耐电子轰击能力。
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公开(公告)号：CN112420467A
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN202011316694.1
申请日：2020-11-20
Applicant: 中国科学院空天信息创新研究院
Abstract: 本发明提供了一种光电阴极及其制备方法，该光电阴极包括：光电阴极基体，锑碱金属化合物，光电阴极基体的表面为经过离子束轰击表面改性处理后的；锑碱金属化合物，制备在光电阴极基体的表面上。该制备方法包括：在光电阴极基体表面实施离子束轰击表面改性处理，得到离子束轰击表面改性处理后的光电阴极基体；利用第一加热体将离子束轰击表面改性处理后的光电阴极基体加热至预设温度；利用第二加热体加热锑源使锑蒸汽蒸发至离子束轰击表面改性处理后的光电阴极基体的表面，形成锑膜；利用第二加热体加热碱金属源，使碱金属蒸汽蒸发至离子束轰击表面改性处理后的光电阴极基体的表面，与锑膜发生反应，生成锑碱金属化合物，完成光电阴极的制备。
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公开(公告)号：CN115305473A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202210841936.1
申请日：2022-07-18
Applicant: 中国科学院空天信息创新研究院
IPC: C23F4/00 , H01J37/305
Abstract: 本公开提供了一种适用于真空器件的金属零件处理装置和处理方法，处理装置包括：密封腔室，设置有抽气口；旋转托盘，转动设置在密封腔室内，旋转托盘用于承载待处理的金属零件；电子枪，设置在密封腔室内，电子枪设置在旋转托盘的斜上方，电子枪朝向旋转托盘，电子枪用于发出电子束以对金属零件进行轰击处理；真空泵，与抽气口连接；以及磁场线圈，套设在密封腔室外侧，磁场线圈用于提供磁场以改变电子束的直径。通过旋转托盘能够使得金属零件的各个侧面均匀的被电子束轰击，提高了金属零件的去气效果，降低了金属零件的出气量，配合磁场线圈能够提高电子束的利用率，缩短了去气的时间。
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公开(公告)号：CN113808892A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202111110116.7
申请日：2021-09-22
Applicant: 中国科学院空天信息创新研究院
Abstract: 本公开提供一种复合热子组件及其制备方法，方法包括：将绝缘粉末和金属粉末混合得到混合粉末，绝缘粉末与金属粉末同步膨胀与收缩；压实混合粉末得到棒材；烧结棒材得到坯体；车制坯体得到复合热子(5)；使用焊料(6)分别将阴极筒(2)和电极(7)粘接在复合热子(5)的两端，得到复合热子组件。本公开的制备方法工艺简单，可以制备出高可靠、小体积、高效率、加热均匀、无磁场的阴极复合热子组件。
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公开(公告)号：CN112420467B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202011316694.1
申请日：2020-11-20
Applicant: 中国科学院空天信息创新研究院
Abstract: 本发明提供了一种光电阴极及其制备方法，该光电阴极包括：光电阴极基体，锑碱金属化合物，光电阴极基体的表面为经过离子束轰击表面改性处理后的；锑碱金属化合物，制备在光电阴极基体的表面上。该制备方法包括：在光电阴极基体表面实施离子束轰击表面改性处理，得到离子束轰击表面改性处理后的光电阴极基体；利用第一加热体将离子束轰击表面改性处理后的光电阴极基体加热至预设温度；利用第二加热体加热锑源使锑蒸汽蒸发至离子束轰击表面改性处理后的光电阴极基体的表面，形成锑膜；利用第二加热体加热碱金属源，使碱金属蒸汽蒸发至离子束轰击表面改性处理后的光电阴极基体的表面，与锑膜发生反应，生成锑碱金属化合物，完成光电阴极的制备。
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公开(公告)号：CN117810047A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311753503.1
申请日：2023-12-19
Applicant: 中国科学院空天信息创新研究院
Abstract: 本公开提供了一种热阴极及其制备方法，可以应用于微波真空电子技术领域。该热阴极包括：海绵基体，海绵基体内浸有发射物质；织构层，形成于海绵基体的表面，织构层呈毛刺状，织构层是通过对覆于海绵基体的表面的第一金属膜进行离子束轰击处理得到的；第二金属膜，形成于织构层上。
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公开(公告)号：CN113053704B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202110293335.7
申请日：2021-03-18
Applicant: 中国科学院空天信息创新研究院
Abstract: 一种光电阴极及其制备方法，该光电阴极包括：光电阴极基体，为金属纳米颗粒与锑粉混合压制而成；以及碱金属锑化物膜，形成于所述光电阴极基体的一表面。本发明还提供了该光电阴极的制备方法。本发明的光电阴极基体中的金属纳米颗粒具有很强的吸附作用，因此可以减少碱金属光电阴极中碱金属的蒸发，同时本发明的光电阴极制备方法工艺简单，制备方便。
