一种基于光学检测六氟化硫微小含量检测方法及系统

    公开(公告)号:CN109283156A

    公开(公告)日:2019-01-29

    申请号:CN201811404306.8

    申请日:2018-11-23

    IPC分类号: G01N21/39

    摘要: 本申请实施例示出一种基于光学检测六氟化硫微小含量检测方法及系统。本申请实施例示出的技术方案采用高频正弦波与低频三角波叠加进行激光调制,经过调制的激光器发出光射入被检测气室。被检测气室经过吸收之后红外探测器所检测,检测信号经过低通滤波和锁相放大之后经过低通滤波器进行二次谐波信号的提取。提取的信号送入计算机进行计算推演水分的浓度,完成了整个SF6检测过程。可见本申请示出的技术方案采用TDLAS技术对SF6含量进行检测,通过检测SF6气体的二次谐波检测技术等进行气体检测及微弱信号处理,通过浓度反演对气体中的SF6含量进行测量。本申请实施例示出的技术方案所提供的方法具有、响应快速、检测精度高、温度压强可修正、免维护等优点。