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公开(公告)号:CN111072061A
公开(公告)日:2020-04-28
申请号:CN201911302010.X
申请日:2019-12-17
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种多孔SnO2氢敏薄膜及其制备与应用,将SnCl4·2H2O溶于无水乙醇中,于60~70℃下搅拌均匀得到锡的前驱液;然后加入聚苯乙烯(PS)微球单分散液,在室温下搅拌均匀得到聚苯乙烯(PS)微球悬浮液的锡前驱液;将具有叉指铂电极的硅基片先后置于丙酮、无水乙醇和去离子水中分别用超声波清洗,然后置于烘箱烘干备用;将所得聚苯乙烯(PS)微球悬浮液的锡前驱液均匀旋涂在上述烘干的硅基片上,随后进行表面烘干;最后以1~3℃/min的升温速率加热至500℃煅烧2~3h,冷却后即得。本发明制备的多孔SnO2氢敏薄膜气敏性能优于SnO2薄膜,显著提高了传感器的灵敏度,灵敏度由原来的8提升至30.4,提升倍数约为4倍。
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公开(公告)号:CN111072061B
公开(公告)日:2021-02-05
申请号:CN201911302010.X
申请日:2019-12-17
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种多孔SnO2氢敏薄膜及其制备与应用,将SnCl4·2H2O溶于无水乙醇中,于60~70℃下搅拌均匀得到锡的前驱液;然后加入聚苯乙烯(PS)微球单分散液,在室温下搅拌均匀得到聚苯乙烯(PS)微球悬浮液的锡前驱液;将具有叉指铂电极的硅基片先后置于丙酮、无水乙醇和去离子水中分别用超声波清洗,然后置于烘箱烘干备用;将所得聚苯乙烯(PS)微球悬浮液的锡前驱液均匀旋涂在上述烘干的硅基片上,随后进行表面烘干;最后以1~3℃/min的升温速率加热至500℃煅烧2~3h,冷却后即得。本发明制备的多孔SnO2氢敏薄膜气敏性能优于SnO2薄膜,显著提高了传感器的灵敏度,灵敏度由原来的8提升至30.4,提升倍数约为4倍。
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公开(公告)号:CN110487855A
公开(公告)日:2019-11-22
申请号:CN201910749311.0
申请日:2019-08-14
Applicant: 南京工业大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种多层介孔掺杂钯的二氧化锡薄膜氢气传感器及其制备方法,将F127模板剂溶于无水乙醇和去离子水的混合溶液中,加入SnCl4·5H2O和PdCl2,室温下搅拌2~4小时后静置老化,得到掺杂钯的二氧化锡溶液;将覆有铂电极的硅基片先后置入丙酮、乙醇、去离子水中超声清洗,烘干待用;所得硅基片放置于匀胶机吸盘上,吸取0.5~1.5ml掺杂钯的二氧化锡溶液缓慢滴在硅基片上,开启匀胶机完成旋涂,然后取下烘干;重复本步骤3~7次,最后一次完成旋涂后在室温下干燥;得到的硅基片以1~2℃/min的升温速率升温至120℃热处理10~15小时,再以1~2℃/min升温至200℃煅烧1~3小时,然后以2~3℃/min升温至400℃热处理2~4小时,在热处理过程的最后一小时,以600~800ml/min的流量通入氧气,热处理结束后随炉冷却即得。