-
公开(公告)号：CN114153148A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111450094.9
申请日：2021-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B13/04
Abstract: 一种变学习步长的梯度迭代前馈整定方法，涉及一种超精密运动台的前馈整定方法。生成参考轨迹并规定最大迭代次数和预期性能指标；确定参数化前馈基函数，并进行QR分解得到正交投影矩阵；初始化，令j＝0，θj＝0；进行第j次迭代实验，得到第j次迭代实验的位置误差；通过基于投影的数据驱动方法估计更新前馈参数θj；判断是否收敛，若是则停止迭代，若否则令j＝j+1再返回步骤四。引入了数据投影与变增益的方法，降低实验数据量的要求并且适应性更强，满足前馈参数的快收敛、强鲁棒性以及高精度的要求。
-
公开(公告)号：CN117850316B
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202410024802.X
申请日：2024-01-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/042
Abstract: 一种多自由度冗余驱动运动台的柔性模态抑制方法，属于半导体制造装备及运动台振动抑制领域。方法步骤是：步骤一：建立运动台基于模态特性且包含时延的数学模型；步骤二：分解动态输入解耦矩阵，使其包含一个动态参数矩阵，实现刚性模态独立控制，仅针对柔性模态抑制需求对动态参数矩阵设计；步骤三：基于全通滤波的方法，将动态参数矩阵表示为两个全通滤波器的线性组合；步骤四：以满足每个柔性模态谐振频率点的零增益为优化目标，建立优化方程和约束条件，利用启发式智能优化算法对全通滤波器参数进行优化；步骤五：得到满足柔性模态抑制需求的动态输入解耦矩阵。本发明能够实现在有限执行器冗余度条件下对全频段所有可控柔性模态的高性能抑制。
-
公开(公告)号：CN117850316A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202410024802.X
申请日：2024-01-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/042
Abstract: 一种多自由度冗余驱动运动台的柔性模态抑制方法，属于半导体制造装备及运动台振动抑制领域。方法步骤是：步骤一：建立运动台基于模态特性且包含时延的数学模型；步骤二：分解动态输入解耦矩阵，使其包含一个动态参数矩阵，实现刚性模态独立控制，仅针对柔性模态抑制需求对动态参数矩阵设计；步骤三：基于全通滤波的方法，将动态参数矩阵表示为两个全通滤波器的线性组合；步骤四：以满足每个柔性模态谐振频率点的零增益为优化目标，建立优化方程和约束条件，利用启发式智能优化算法对全通滤波器参数进行优化；步骤五：得到满足柔性模态抑制需求的动态输入解耦矩阵。本发明能够实现在有限执行器冗余度条件下对全频段所有可控柔性模态的高性能抑制。
