公开(公告)号：CN118092547B

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202410487816.5

申请日：2024-04-23

申请人： 北京智芯微电子科技有限公司 ,  国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 ,  国家电网有限公司

发明人： 沈美根 ,  刘芳 ,  邵亚利 ,  李东镁 ,  解尧明 ,  王异凡 ,  曾明全

IPC分类号： G05D23/30 ,  H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01J37/32

摘要： 本发明提供一种静电卡盘加热控制装置及静电卡盘，涉及半导体技术领域。控制装置包括：控制模块、脉冲宽度调制信号输出模块和脉冲宽度调制隔离驱动模块，脉冲宽度调制信号输出模块包括：信号转化模块，用于确定计数中数和计数周期；寄存器组，第1至n个寄存器与n个加热单元对应，用于存储计数中数，第n+1个寄存器用于存储计数周期；根据计数周期循环计数的计数器；n个比较器，在每一计数周期根据当前计数与计数中数的比较结果生成脉冲宽度调制信号。脉冲宽度调制隔离驱动模块用于发出脉冲宽度调制信号。通过本发明提供的装置，能够单独控制加热单元，保证静电卡盘加热均匀性，实现晶圆整体均热性，提高半导体制造工艺良率。

公开(公告)号：CN118092547A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202410487816.5

申请日：2024-04-23

申请人： 北京智芯微电子科技有限公司 ,  国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 ,  国家电网有限公司

发明人： 沈美根 ,  刘芳 ,  邵亚利 ,  李东镁 ,  解尧明 ,  王异凡 ,  曾明全

IPC分类号： G05D23/30 ,  H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01J37/32

摘要： 本发明提供一种静电卡盘加热控制装置及静电卡盘，涉及半导体技术领域。控制装置包括：控制模块、脉冲宽度调制信号输出模块和脉冲宽度调制隔离驱动模块，脉冲宽度调制信号输出模块包括：信号转化模块，用于确定计数中数和计数周期；寄存器组，第1至n个寄存器与n个加热单元对应，用于存储计数中数，第n+1个寄存器用于存储计数周期；根据计数周期循环计数的计数器；n个比较器，在每一计数周期根据当前计数与计数中数的比较结果生成脉冲宽度调制信号。脉冲宽度调制隔离驱动模块用于发出脉冲宽度调制信号。通过本发明提供的装置，能够单独控制加热单元，保证静电卡盘加热均匀性，实现晶圆整体均热性，提高半导体制造工艺良率。

公开(公告)号：CN109557429A

公开(公告)日：2019-04-02

申请号：CN201811320158.1

申请日：2018-11-07

申请人： 国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 ,  国家电网有限公司

发明人： 王异凡 ,  王一帆 ,  龚金龙 ,  刘江明 ,  孙正竹 ,  马涛 ,  夏晓波 ,  杜赟 ,  楼钢 ,  徐翀 ,  朱亮 ,  毛永铭 ,  黄继来 ,  周迅 ,  盛骏 ,  吴胥阳 ,  吴尊东 ,  汪桢毅 ,  饶海伟

IPC分类号： G01R31/12

摘要： 本发明公开了一种基于改进小波阈值去噪的GIS局部放电故障检测方法。本发明的方法包括以下步骤：将特高频传感器检测到的数据进行小波变换，选用dB4母小波对传感器检测数据进行4层分解，得到各尺度下的小波系数；小波分解系数阈值量化，阈值选定后，去除小于阈值的小波系数，将大于阈值的小波系数进行阈值函数处理，进而得到阈值函数处理后的各层系数；通过小波逆变换将处理后的各层系数进行信号重构，从而实现小波去噪。本发明与传统的软、硬阈值降噪算法相比，降噪后不仅进一步提高了信噪比，而且降低了方差，使得处理后的信号波形更为逼近原始局部放电信号，有利于后续进行放电缺陷类型的识别。

公开(公告)号：CN109581258A

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201811324511.3

申请日：2018-11-08

申请人： 国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 ,  国家电网有限公司

发明人： 王异凡 ,  孟东林 ,  缪京元 ,  杨青 ,  龚金龙 ,  王一帆 ,  宋琦华 ,  骆丽 ,  王尊 ,  刘江明 ,  孙正竹

IPC分类号： G01R35/00

摘要： 本发明公开了一种镜面-单锥标准脉冲场复现系统及方法。本发明的镜面-单锥标准脉冲场复现系统，包括镜面-单锥子系统、位移量监控-自动调整子系统、馈源-射频子系统和软件控制子系统；所述的馈源-射频子系统，包括脉冲信号源、示波器、阻抗变换器以及同轴电缆，通过同轴电缆把脉冲信号源与阻抗变换器连接，阻抗变换器作为馈源使用；所述的软件控制子系统，用于控制脉冲信号源和示波器，并且采集位移监控装置的数据；当锥尖相对于镜面的位移量超过设定范围时，软件控制子系统控制自动调整机构对锥体角度进行微调，减小锥尖与镜面之间的变形量。本发明确保标准脉冲场所依赖的几何外形不变，具有实现方式简单、成本低等优点。

公开(公告)号：CN109581258B

公开(公告)日：2020-12-18

申请号：CN201811324511.3

申请日：2018-11-08

申请人： 国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 ,  国家电网有限公司

发明人： 王异凡 ,  孟东林 ,  缪京元 ,  杨青 ,  龚金龙 ,  王一帆 ,  宋琦华 ,  骆丽 ,  王尊 ,  刘江明 ,  孙正竹

IPC分类号： G01R35/00

摘要： 本发明公开了一种镜面‑单锥标准脉冲场复现系统及方法。本发明的镜面‑单锥标准脉冲场复现系统，包括镜面‑单锥子系统、位移量监控‑自动调整子系统、馈源‑射频子系统和软件控制子系统；所述的馈源‑射频子系统，包括脉冲信号源、示波器、阻抗变换器以及同轴电缆，通过同轴电缆把脉冲信号源与阻抗变换器连接，阻抗变换器作为馈源使用；所述的软件控制子系统，用于控制脉冲信号源和示波器，并且采集位移监控装置的数据；当锥尖相对于镜面的位移量超过设定范围时，软件控制子系统控制自动调整机构对锥体角度进行微调，减小锥尖与镜面之间的变形量。本发明确保标准脉冲场所依赖的几何外形不变，具有实现方式简单、成本低等优点。

公开(公告)号：CN118194777B

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202410601261.2

申请日：2024-05-15

申请人： 北京智芯微电子科技有限公司 ,  国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 ,  国家电网有限公司

发明人： 沈美根 ,  刘芳 ,  邵亚利 ,  李东镁 ,  解尧明 ,  王异凡 ,  曾明全

IPC分类号： G06F30/31 ,  G06F30/39 ,  G06F111/20

摘要： 本发明提供一种版图移植方法、装置、存储介质及终端设备，涉及版图设计领域，移植方法包括：对第一工艺的版图元素的名称与第二工艺的版图元素的名称进行配对，得到元素名称对；从第一版图文件中分别提取器件元素和辅助器件元素的器件描述格式文件，以及器件元素、辅助器件元素和连接件元素的坐标参数；确定第一工艺与第二工艺的尺寸比例，基于尺寸比例和元素名称对，对第一版图文件的器件元素和辅助器件元素的器件描述格式文件进行替换，对器件元素、辅助器件元素和连接件元素的坐标参数进行替换，得到初始版图文件；对初始版图文件进行验证，得到最终版图文件。通过本发明提供的版图移植方法，能够提高版图移植效率，缩短制造周期。

公开(公告)号：CN118194777A

公开(公告)日：2024-06-14

申请号：CN202410601261.2

申请日：2024-05-15

申请人： 北京智芯微电子科技有限公司 ,  国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 ,  国家电网有限公司

发明人： 沈美根 ,  刘芳 ,  邵亚利 ,  李东镁 ,  解尧明 ,  王异凡 ,  曾明全

IPC分类号： G06F30/31 ,  G06F30/39 ,  G06F111/20

摘要： 本发明提供一种版图移植方法、装置、存储介质及终端设备，涉及版图设计领域，移植方法包括：对第一工艺的版图元素的名称与第二工艺的版图元素的名称进行配对，得到元素名称对；从第一版图文件中分别提取器件元素和辅助器件元素的器件描述格式文件，以及器件元素、辅助器件元素和连接件元素的坐标参数；确定第一工艺与第二工艺的尺寸比例，基于尺寸比例和元素名称对，对第一版图文件的器件元素和辅助器件元素的器件描述格式文件进行替换，对器件元素、辅助器件元素和连接件元素的坐标参数进行替换，得到初始版图文件；对初始版图文件进行验证，得到最终版图文件。通过本发明提供的版图移植方法，能够提高版图移植效率，缩短制造周期。

公开(公告)号：CN109557429B

公开(公告)日：2021-08-27

申请号：CN201811320158.1

申请日：2018-11-07

申请人： 国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 ,  国家电网有限公司

发明人： 王异凡 ,  王一帆 ,  龚金龙 ,  刘江明 ,  孙正竹 ,  马涛 ,  夏晓波 ,  杜赟 ,  楼钢 ,  徐翀 ,  朱亮 ,  毛永铭 ,  黄继来 ,  周迅 ,  盛骏 ,  吴胥阳 ,  吴尊东 ,  汪桢毅 ,  饶海伟

IPC分类号： G01R31/12

摘要： 本发明公开了一种基于改进小波阈值去噪的GIS局部放电故障检测方法。本发明的方法包括以下步骤：将特高频传感器检测到的数据进行小波变换，选用dB4母小波对传感器检测数据进行4层分解，得到各尺度下的小波系数；小波分解系数阈值量化，阈值选定后，去除小于阈值的小波系数，将大于阈值的小波系数进行阈值函数处理，进而得到阈值函数处理后的各层系数；通过小波逆变换将处理后的各层系数进行信号重构，从而实现小波去噪。本发明与传统的软、硬阈值降噪算法相比，降噪后不仅进一步提高了信噪比，而且降低了方差，使得处理后的信号波形更为逼近原始局部放电信号，有利于后续进行放电缺陷类型的识别。

公开(公告)号：CN109799072A

公开(公告)日：2019-05-24

申请号：CN201910068951.5

申请日：2019-01-24

申请人： 国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 ,  国家电网有限公司

发明人： 骆丽 ,  杨青 ,  龚金龙 ,  顾冰 ,  王异凡 ,  陶定峰 ,  王尊 ,  王一帆 ,  郭振梁

IPC分类号： G01M11/02

摘要： 本发明公开了一种多光谱紫外成像光学性能检测系统和检测方法。目前尚未有成熟的关于双光路、多光谱光学系统光学性能检测的设备和方法。本发明的一种多光谱紫外成像光学性能检测系统，包括一个多谱段光源、一个平行光管和一个多维度转台，所述的多谱段光源包含紫外、可见和红外波段的光；所述的平行光管内部采用折返式光学系统，用于实现折返式光路，所述的折返式光学系统包括位于平行光管内部两侧的多面曲率不同反光镜，多谱段光源发出的光线进入平行光管内，经折返式光路后平行射出；所述的多维度转台置于平行光管前端，实现多维度转动。本发明可在同一系统中实现多光谱光学系统的光学性能检测，为多光谱光学系统性能检测提供方案。

公开(公告)号：CN109444781A

公开(公告)日：2019-03-08

申请号：CN201811058539.7

申请日：2018-09-11

申请人： 国网浙江省电力有限公司电力科学研究院 ,  国家电网有限公司 ,  华北电力大学

发明人： 王异凡 ,  王一帆 ,  龚金龙 ,  刘江明 ,  孙正竹 ,  马涛 ,  夏晓波 ,  杜赟 ,  楼钢 ,  徐翀 ,  朱亮 ,  毛永铭 ,  黄继来 ,  周迅 ,  盛骏 ,  吴胥阳 ,  吴尊东 ,  汪桢毅 ,  饶海伟 ,  唐志国

IPC分类号： G01R35/00

摘要： 本发明公开了一种基于信号传播特性的GIS局放特高频灵敏度校验方法。针对不同电压等级、不同结构的GIS、不同的传感器安装方式，局部放电特高频信号具有不同的衰减特性，而现有校验方法未能给出具体有效的注入信号电平确定方法。本发明采用的技术方案包括步骤：1)根据不同UHF传感器安装方式来确定UHF传感器的注入效率，即辐射电场注入脉冲电压的变换曲线；2)建立典型GIS结构UHF信号传播衰减数据库；3)确定现场校核脉冲注入量。本发明针对典型结构和电压等级GIS信号传播衰减特性建库，有效解决了现场局放检测系统灵敏度校核中信号注入的问题。