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公开(公告)号：CN116105154A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202310172819.5
申请日：2023-02-27
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明公开了一种氨气和硅烷混合废气防爆综合处理装置及方法，涉及废气处理领域。一种氨气和硅烷混合废气防爆综合处理装置，包括废气处理罐，还包括：固定连接在所述废气处理罐内壁的隔板一、隔板二，所述废气处理罐内隔板一的下侧设有燃烧腔、上侧设有储水腔，所述废气处理罐内隔板二的上侧设有喷淋腔，所述废气处理罐顶部开设有排气孔；搅拌组件，转动连接在所述废气处理罐底部内壁，所述搅拌组件上设有喷气嘴；本发明，根据硅烷与空气接触而自燃的特点，使硅烷在燃烧腔与空气接触安全的燃烧，并通过促进空气与硅烷的充分接触，从而提高硅烷在燃烧腔内燃烧的效果，以及能够有效地达到对氨气和硅烷燃烧产生的粉尘进行净化过滤处理。
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公开(公告)号：CN116336369A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310162920.2
申请日：2023-02-24
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明公开了一种用于电子工厂的硅烷安全存储装置及其储存方法，属于气体存储领域。一种用于电子工厂的硅烷安全存储装置，包括储气罐，所述储气罐的顶侧连通有带控制阀的进气管，还包括：顶升机构；本发明通过固定筒、顶升块、顶升杆、复位弹簧和顶升板等结构组成的提升机构，是为了用于配合连接管、压力传感器、传输导线、报警器、连接弹簧、弧形连接头和按压杆等结构组成的警示单元，能够对储气罐内用于电子工厂制备一些特大或超大规模集成电路、芯片、平板显示器、非晶硅薄膜太阳能电池等电子产品用于的硅烷气体，在存入储气罐内的预满量进行警示，避免硅烷气体存入储气罐内过多，引起储气罐发生爆炸造成安全隐患的问题。
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公开(公告)号：CN116256116A
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202310162915.1
申请日：2023-02-24
申请人： 大连理工大学
摘要： 本发明公开了一种硅烷气体输送柜漏气检测装置及检测方法，属于气体输送柜安全防护领域。一种硅烷气体输送柜漏气检测装置，包括柜体，所述柜体的内部放置有气瓶，所述气瓶的顶部安装有启闭阀，所述柜体的内壁设置有用于锁紧气瓶的锁紧组件；本发明通过锁紧组件、铜板、往复组件、排气组件的相互配合，在柜体内部发生漏气时，通过锁紧组件对气瓶顶部出气口及时的关闭锁紧，防止更多的气体跑出，同时利用锁紧组件运行产生的动力源带动往复组件同步运行对铜板往复敲击，及时的提醒工作人员及时进行维修检查，减小工作等待的时间，提高工作效率，同时将排气组件处的通风口打开，保持空气流通，对维修人员起到很好的防护效果。
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