使用自组装的聚合物纳米掩模的表面纳米制造方法

    公开(公告)号:CN105229530A

    公开(公告)日:2016-01-06

    申请号:CN201480005862.1

    申请日:2014-01-21

    CPC classification number: B05D5/00 B82Y10/00 B82Y40/00 G03F7/0002 Y10S977/888

    Abstract: 用于制造纳米柱化基材表面的方法包括把包含两性嵌段共聚物和亲水均聚物的聚合物溶液施涂到基材表面。聚合物溶液中的两性嵌段共聚物和亲水均聚物在基材表面上进行自组装以形成自组装的聚合物层,该自组装的聚合物层包括与基材表面相邻的疏水结构域和延伸进入自组装的聚合物层的亲水结构域。可去除至少一部分的亲水结构域,从而在自组装的聚合物层的暴露的表面中形成多个孔。可将保护层沉积在暴露的表面作为掩模,用于通过多个孔蚀刻来形成通孔。可通过通孔把形成纳米柱的材料沉积到基材表面上。然后,可去除自组装的聚合物层的其余部分,来暴露纳米柱化基材表面。

Patent Agency Ranking