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公开(公告)号：CN105277579A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510321618.2
申请日：2015-06-12
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
IPC分类号： G01N23/223
摘要： 本发明涉及荧光X射线分析装置。提供一种能够简便地进行与测定通常的样品的情况相同的条件下的校正测定的荧光X射线分析装置。所述荧光X射线分析装置具备：X射线源；用于对将来自该X射线源的X射线作为一次X射线照射到样品的区域进行限制的照射区域限制单元；用于检测从样品产生的二次X射线的检测器；用于对包含X射线源、照射区域限制单元和检测器的装置进行校正的校正用样品；用于在作为保持该校正用样品并且从所述一次X射线的路径偏离的任意的位置的退避位置和照射从照射区域限制单元射出的X射线的一次X射线照射位置这2个位置之间移动的校正样品移动机构；以及载置样品的样品台，校正样品移动机构为与所述样品台独立的机构。
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公开(公告)号：CN105403583A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201510568705.8
申请日：2015-09-09
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
发明人： 八木勇夫
IPC分类号： G01N23/223
CPC分类号： G01N23/223 , G01N23/22 , G01N2223/323
摘要： 本发明涉及荧光X射线分析装置以及其测定位置调整方法。在荧光X射线分析装置以及其测定位置调整方法中，防止引导的光映入到决定样品的测定位置时的观察视野内。具备：样品台（2），能够设置样品S；样品移动机构（3），能够移动样品台；X射线源（4），对样品照射一次X射线X1；检测器（5），检测从被照射一次X射线的样品产生的荧光X射线X2；拍摄部（6），对包括样品台上的样品的一定的视野区域进行拍摄；显示器部，显示由拍摄部拍摄的视野区域；以及指示器照射部（8），向未映入到在显示器部中显示的视觉辨认区域的范围即样品台上的视野区域的附近照射可见光L。
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公开(公告)号：CN105388176B
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201510538448.3
申请日：2015-08-28
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
发明人： 八木勇夫
IPC分类号： G01N23/223
摘要： 本发明涉及荧光X射线分析装置以及其样品显示方法。具备：样品台（2），能够设置样品S；样品移动机构，能够移动样品台（2）；X射线源，对样品照射一次X射线；检测器，检测从样品产生的荧光X射线；摄像部，对样品台上的样品进行摄像；显示器部（7），在画面中显示所摄像的图像；定点设备，能够在画面中指定特定的位置来输入；图像处理部，在输入的画面中的位置显示标记M；以及控制部，控制样品移动机构和图像处理部，控制部在利用样品移动机构使样品台移动时利用图像处理部使画面中的标记沿与样品台相同的移动方向移动相同的移动距离并显示。
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公开(公告)号：CN111650223A
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN201911257396.7
申请日：2019-12-10
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
IPC分类号： G01N23/04
摘要： 提供X射线检查装置以及X射线检查方法，能够一边维持检测能力一边削减从TDI传感器传送的数据量，并且能够实时地传送数据。具有：X射线源；试样移动机构，其使试样沿特定的方向移动；TDI传感器；以及TDI运算部，其对沿着特定的方向的多个像素4g中的电荷的蓄积和传送进行控制，TDI运算部具有将进行了电荷的蓄积和传送的累积电荷的数据传送到外部的数据传送部，并且具有将能够检测试样的多列的线传感器4l预先设定为判断区域4A并在判断区域中检测试样的功能，数据传送部将在判断区域中检测到试样的像素的行及该行的周围的行设为检测行，仅对检测行的像素向外部传送累积电荷的数据。
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公开(公告)号：CN111650223B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN201911257396.7
申请日：2019-12-10
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
IPC分类号： G01N23/04
摘要： 提供X射线检查装置以及X射线检查方法，能够一边维持检测能力一边削减从TDI传感器传送的数据量，并且能够实时地传送数据。具有：X射线源；试样移动机构，其使试样沿特定的方向移动；TDI传感器；以及TDI运算部，其对沿着特定的方向的多个像素4g中的电荷的蓄积和传送进行控制，TDI运算部具有将进行了电荷的蓄积和传送的累积电荷的数据传送到外部的数据传送部，并且具有将能够检测试样的多列的线传感器4l预先设定为判断区域4A并在判断区域中检测试样的功能，数据传送部将在判断区域中检测到试样的像素的行及该行的周围的行设为检测行，仅对检测行的像素向外部传送累积电荷的数据。
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公开(公告)号：CN105277579B
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201510321618.2
申请日：2015-06-12
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
IPC分类号： G01N23/223
摘要： 本发明涉及荧光X射线分析装置。提供一种能够简便地进行与测定通常的样品的情况相同的条件下的校正测定的荧光X射线分析装置。所述荧光X射线分析装置具备：X射线源；用于对将来自该X射线源的X射线作为一次X射线照射到样品的区域进行限制的照射区域限制单元；用于检测从样品产生的二次X射线的检测器；用于对包含X射线源、照射区域限制单元和检测器的装置进行校正的校正用样品；用于在作为保持该校正用样品并且从所述一次X射线的路径偏离的任意的位置的退避位置和照射从照射区域限制单元射出的X射线的一次X射线照射位置这2个位置之间移动的校正样品移动机构；以及载置样品的样品台，校正样品移动机构为与所述样品台独立的机构。
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公开(公告)号：CN105388176A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510538448.3
申请日：2015-08-28
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
发明人： 八木勇夫
IPC分类号： G01N23/223
摘要： 本发明涉及荧光X射线分析装置以及其样品显示方法。具备：样品台（2），能够设置样品S；样品移动机构，能够移动样品台（2）；X射线源，对样品照射一次X射线；检测器，检测从样品产生的荧光X射线；摄像部，对样品台上的样品进行摄像；显示器部（7），在画面中显示所摄像的图像；定点设备，能够在画面中指定特定的位置来输入；图像处理部，在输入的画面中的位置显示标记M；以及控制部，控制样品移动机构和图像处理部，控制部在利用样品移动机构使样品台移动时利用图像处理部使画面中的标记沿与样品台相同的移动方向移动相同的移动距离并显示。
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公开(公告)号：CN303506184S
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201530192884.0
申请日：2015-06-12
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
摘要： 1．本外观设计产品的名称：荧光X射线薄膜厚度测量仪。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于通过使用设置在检测室内的X射线照射器所射出的X射线，可以检测半导体、电子产品以及印刷电路板等使用的电镀或蒸镀的金属薄膜的厚度及组成。3．本外观设计产品的设计要点：本外观设计产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。5．在示出各部名称参考图中，B-电源按钮，C-键式开关，D-开闭盖，E-指示部，F-检测室。在示出透明部分参考图和示出各部名称参考图中，斜线部分为透明。
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公开(公告)号：CN303622154S
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201530189930.1
申请日：2015-06-11
申请人： 日本株式会社日立高新技术科学
摘要： 1．本外观设计产品的名称：荧光X射线薄膜厚度测量仪。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于通过使用设置在检测室内的X射线照射器所射出的X射线，可以检测半导体、电子产品以及印刷电路板等使用的电镀或蒸镀的金属薄膜的厚度及组成。3．本外观设计产品的设计要点：本外观设计产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。5．在示出各部名称参考图中，B-电源按钮，C-键式开关，D-开闭盖，E-指示部，F-检测室。在示出透明部分参考图和示出各部名称参考图中，斜线部分为透明。
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