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公开(公告)号：CN113169510A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980079753.7
申请日：2019-01-29
申请人： 极光先进雷射株式会社
IPC分类号： H01S3/137
摘要： 激光装置的波长控制方法包含以下步骤：依次取得脉冲激光的目标波长数据；依次保存目标波长数据；依次计测脉冲激光的波长而取得计测波长；以及使用计测波长和取得了计测波长的时刻之前的时刻的目标波长数据计算波长偏差，使用波长偏差对脉冲激光的波长进行反馈控制。
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公开(公告)号：CN109565145A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201680088181.5
申请日：2016-09-30
申请人： 极光先进雷射株式会社
IPC分类号： H01S3/137
CPC分类号： H01S3/137 , G01J3/0229 , H01S3/08009 , H01S3/0812 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256
摘要： 在放电激励式的激光装置中对波长色散进行校正。激光装置具有在与一对放电电极(11a、11b)之间的放电方向垂直的方向上引起波长色散的第1波长色散元件(14a～14e)、以及在与放电方向平行的方向上引起波长色散的第2波长色散元件(32)。激光装置还具有：光学元件(31)，其对第2波长色散元件(30)引起的波长色散进行校正；第1致动器(16f)，其对第1波长色散元件进行驱动；第2致动器(43)，其对光学元件(31)进行驱动；以及控制部(41)，其对第1致动器(16f)进行控制使得激光束的中心波长接近目标波长，并对第2致动器(43)进行控制以对第2波长色散元件(30)引起的波长色散进行校正。
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公开(公告)号：CN109565144A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201680088177.9
申请日：2016-09-27
申请人： 极光先进雷射株式会社
IPC分类号： H01S3/137
CPC分类号： H01S3/08009 , H01S3/03 , H01S3/137
摘要： 在具有窄带化光学系统的放电激励式的激光装置中，减少对窄带化光学系统施加的热负荷。激光装置具有在内部配置有一对放电电极(11a、11b)的激光腔(10)、以及包含配置在激光腔(10)外的光栅(14e)的窄带化光学系统(14)。激光装置还具有扩束光学系统，该扩束光学系统针对从激光腔(10)输出且朝向光栅(14e)行进的光束(B)，在与放电电极(11a、11b)之间的放电方向平行的第1方向和与放电方向垂直的第2方向上放大波束直径。扩束光学系统保持在与激光腔(10)和光栅(14e)分开形成的保持台(41)上。通过保持台(41)和扩束光学系统构成扩束单元(40)。
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公开(公告)号：CN110471261B
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN201910767894.X
申请日：2016-04-01
申请人： 极光先进雷射株式会社
发明人： 宫本浩孝
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明提供一种激光装置和窄带化光学系统。激光装置具有：腔室，其内部配置有一对放电电极；光栅，其被配置在所述腔室之外；第1扩束光学系统，其被配置在所述腔室与所述光栅之间，以使从所述腔室输出的光束在与所述光束的行进方向垂直的第1方向上扩展；以及第2扩束光学系统，其被配置在所述腔室与所述光栅之间，以使从所述腔室输出的光束在与所述光束的行进方向和所述第1方向双方垂直的第2方向上扩展，使从所述第2扩束光学系统到所述光栅的所述光束的光路轴相对于从所述腔室到所述第2扩束光学系统的所述光束的光路轴在所述第2方向上偏移。
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公开(公告)号：CN108780979A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201680083420.8
申请日：2016-04-22
申请人： 极光先进雷射株式会社
发明人： 宫本浩孝
IPC分类号： H01S3/1055 , H01S3/00
CPC分类号： H01S3/00 , H01S3/1055
摘要： 激光装置具有：腔室，其在内部配置有一对放电电极；第一扩束器，其被配置成使从腔室输出的光束的光束宽度至少在第一方向上扩展，该第一方向与一对放电电极之间的放电方向大致平行；以及窄带化光学系统，其中，该窄带化光学系统具有第二扩束器和光栅，该第二扩束器包含至少一个光学元件，被配置成使从腔室输出的光束的光束宽度至少在第二方向上扩展，该第二方向与第一方向大致垂直，该光栅被配置成使被第一扩束器和第二扩束器扩展了光束宽度后的光束在与第二方向大致平行的面内发生波长色散，至少一个光学元件和光栅中的至少一方被配置成对第一扩束器导致的波长色散进行补偿。
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公开(公告)号：CN113383469B
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN201980091041.7
申请日：2019-03-13
申请人： 极光先进雷射株式会社
IPC分类号： H01S3/10
摘要： 激光装置具有以下部件：A.输出耦合镜；B.光栅，其与输出耦合镜构成光谐振器；C.激光腔，其被配置于光谐振器的光路上；D.至少1个棱镜，其被配置于激光腔与光栅之间的光路上；E.旋转台，其包含使棱镜旋转以使从激光腔输出的激光入射到光栅的角度被变更的致动器；F.波长计测部，其计测从激光腔经由输出耦合镜输出的激光的中心波长；G.角度传感器，其检测棱镜的旋转角度；H.第1控制部，其根据目标波长和计测波长，以第1动作频率对致动器进行控制；以及I.第2控制部，其根据目标波长和检测角度，以第2动作频率对致动器进行控制，该第2动作频率是第1动作频率以上的值。
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公开(公告)号：CN110504614A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201910767918.1
申请日：2016-04-01
申请人： 极光先进雷射株式会社
发明人： 宫本浩孝
摘要： 本发明提供一种激光装置和窄带化光学系统。激光装置具有：腔室，其内部配置有一对放电电极；光栅，其被配置在所述腔室之外；第1扩束光学系统，其被配置在所述腔室与所述光栅之间，以使从所述腔室输出的光束在与所述光束的行进方向垂直的第1方向上扩展；以及第2扩束光学系统，其包含被配置在所述腔室与所述第1扩束光学系统之间的多个光学元件，以使从所述腔室输出的光束在与所述光束的行进方向和所述第1方向双方垂直的第2方向上扩展，所述激光装置构成为，通过一体地支撑所述多个光学元件的支撑部，能够在所述腔室与所述第1扩束光学系统之间安装和卸下所述第2扩束光学系统。
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公开(公告)号：CN110471261A
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201910767894.X
申请日：2016-04-01
申请人： 极光先进雷射株式会社
发明人： 宫本浩孝
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明提供一种激光装置和窄带化光学系统。激光装置具有：腔室，其内部配置有一对放电电极；光栅，其被配置在所述腔室之外；第1扩束光学系统，其被配置在所述腔室与所述光栅之间，以使从所述腔室输出的光束在与所述光束的行进方向垂直的第1方向上扩展；以及第2扩束光学系统，其被配置在所述腔室与所述光栅之间，以使从所述腔室输出的光束在与所述光束的行进方向和所述第1方向双方垂直的第2方向上扩展，使从所述第2扩束光学系统到所述光栅的所述光束的光路轴相对于从所述腔室到所述第2扩束光学系统的所述光束的光路轴在所述第2方向上偏移。
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公开(公告)号：CN107534266A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680022711.6
申请日：2016-04-01
申请人： 极光先进雷射株式会社
发明人： 宫本浩孝
IPC分类号： H01S3/1055
摘要： 激光装置具有：腔室，其内部配置有一对放电电极；光栅，其配置在腔室之外；第1扩束光学系统，其被配置在腔室与光栅之间，以使从腔室输出的光束至少在第1方向上扩展，该第1方向与一对放电电极之间的放电方向垂直；以及第2扩束光学系统，其包含配置在腔室与光栅之间的多个棱镜，以使从腔室输出的光束至少在第2方向上扩展，该第2方向与一对放电电极之间的放电方向平行。
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公开(公告)号：CN114902143A
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202080091363.4
申请日：2020-02-27
申请人： 极光先进雷射株式会社
摘要： 本公开的一个观点的脉冲宽度扩展装置具有偏振分束器和转印光学系统。转印光学系统具有：1/4波长镜对，其包含使脉冲激光的相位偏移1/4波长而进行反射的第一1/4波长镜和使在第一1/4波长镜反射后的脉冲激光的相位偏移1/4波长而进行反射的第二1/4波长镜；以及反射镜对，其被配置于1/4波长镜对的前后的光路或1/4波长镜对之间的光路上。转印光学系统将输入脉冲激光在偏振分束器中的像在1/4波长镜对之间的光路上等倍地转印为第一转印像，将第一转印像在偏振分束器等倍地转印为第二转印像。
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