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公开(公告)号：CN104952677A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510080168.2
申请日：2015-02-13
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 宫冈明宽
CPC classification number: H01J35/16 , A61B6/40 , A61B6/44 , A61B2560/0406 , H01J1/40 , H01J1/88 , H01J5/02 , H01J5/04 , H01J19/56 , H01J35/02 , H01J35/04 , H01J35/116 , H01J35/14 , H01J35/186 , H01J35/28 , H01J37/16 , H01J2235/083 , H01J2235/16 , H01J2235/163 , H05G1/02 , H05G1/04
Abstract: 提供一种使用在保持真空容器内的真空状态的情况下，能够改变靶面上的X射线产生点，而且防止了变更时的焦点移动的长寿命的透过型靶的X射线产生装置。将真空容器(1)的包括靶(2)的设置部分的一部分利用连结部件(5)而以相对于容器主体部(1a)能够移动的方式连结，以作为容器可动部(1b)，利用该容器可动部(1b)的移动，使X射线产生点变化，并且，在使来自电子源(7)的电子静电地加速和集束的电极组(8)、(9)、(10)中的最终级的电极(10)与靶(2)之间配置固定于容器主体部(1a)而形成的固定阳极(12)，以抑制由容器可动部(1b)的移动导致的电场形状的变化。
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公开(公告)号：CN107210079A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201580075523.5
申请日：2015-02-05
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 宫冈明宽
Abstract: 本发明提供了能够不根据针对靶材的电子束的焦点直径而可靠地减小X射线焦点直径的X射线发生装置。在由靶材(2)和X射线照射窗(1)构成的靶材层叠结构体(3)的电子束(B)的照射区域内，设置有朝向电子束(B)的照射方向的X射线吸收率局部地低的X射线低吸收率部位(3a)，由此抑制通过将电子束(B)照射到靶材(2)上而产生的X射线中的、来自X射线低吸收率部位(3a)以外的部位的X射线向外部辐射，并与电子束(B)的照射区域的大小无关地获得与X射线低吸收率部位(3a)的大小相应的大小的X射线焦点。
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公开(公告)号：CN104952677B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201510080168.2
申请日：2015-02-13
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 宫冈明宽
CPC classification number: H01J35/16 , A61B6/40 , A61B6/44 , A61B2560/0406 , H01J1/40 , H01J1/88 , H01J5/02 , H01J5/04 , H01J19/56 , H01J35/02 , H01J35/04 , H01J35/116 , H01J35/14 , H01J35/186 , H01J35/28 , H01J37/16 , H01J2235/083 , H01J2235/16 , H01J2235/163 , H05G1/02 , H05G1/04
Abstract: 提供一种使用在保持真空容器内的真空状态的情况下，能够改变靶面上的X射线产生点，而且防止了变更时的焦点移动的长寿命的透过型靶的X射线产生装置。将真空容器(1)的包括靶(2)的设置部分的一部分利用连结部件(5)而以相对于容器主体部(1a)能够移动的方式连结，以作为容器可动部(1b)，利用该容器可动部(1b)的移动，使X射线产生点变化，并且，在使来自电子源(7)的电子静电地加速和集束的电极组(8)、(9)、(10)中的最终级的电极(10)与靶(2)之间配置固定于容器主体部(1a)而形成的固定阳极(12)，以抑制由容器可动部(1b)的移动导致的电场形状的变化。
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公开(公告)号：CN106128925A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201610188205.6
申请日：2016-03-29
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 宫冈明宽
IPC: H01J35/10
Abstract: 本发明是有关于一种X射线产生装置。经由真空波纹管(2)将保持积层了靶材(4)的X射线照射窗(5)的移动部(3)连结于真空容器的本体部(1)，将限制移动部(3)的移动方向及倾斜的引导机构设置于真空容器外。所述引导机构包含：引导用平坦面(10a)，在本体部(1)侧沿着与电子束(B)的中心轴正交的平面形成；被引导用平坦面(13a)，在移动部(3)侧以与所述引导用平坦面(10a)相向的方式形成；以及在它们之间转动的多个转动体(12)。据此，引导机构中的摩擦力得以减轻。
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公开(公告)号：CN104576268A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410509911.7
申请日：2014-09-28
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: H01J35/18
CPC classification number: H01J35/18 , H01J2235/122 , H01J2235/1291 , H01J2235/183 , H01J2235/186 , H05G1/025
Abstract: 本发明提供能够以简单的结构为基础根据X射线管的使用目的、使用方法、或者其构造等而使照射窗的发热不会传递到不希望传递的部分的X射线发生装置。在X射线发生装置中，使通过对配置于X射线管内的真空气氛中的靶(2)照射电子束B而产生的X射线经由气密密封设于X射线管的开口的照射窗(3)放射到X射线管外，在这样的X射线发生装置中，通过使照射窗(3)具有在该照射窗(3)的展宽方向和厚度方向上热传导系数不同的热各向异性，能相对地减小使照射窗(3)的热量向不希望传递的方向的热传导系数，在不伴随着追加部件等的情况下就能解决现有技术中的问题。
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公开(公告)号：CN107210079B
公开(公告)日：2020-03-20
申请号：CN201580075523.5
申请日：2015-02-05
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 宫冈明宽
Abstract: 本发明提供了能够不根据针对靶材的电子束的焦点直径而可靠地减小X射线焦点直径的X射线发生装置。在由靶材(2)和X射线照射窗(1)构成的靶材层叠结构体(3)的电子束(B)的照射区域内，设置有朝向电子束(B)的照射方向的X射线吸收率局部地低的X射线低吸收率部位(3a)，由此抑制通过将电子束(B)照射到靶材(2)上而产生的X射线中的、来自X射线低吸收率部位(3a)以外的部位的X射线向外部辐射，并与电子束(B)的照射区域的大小无关地获得与X射线低吸收率部位(3a)的大小相应的大小的X射线焦点。
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公开(公告)号：CN109148245A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201711044479.9
申请日：2017-10-31
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 宫冈明宽
IPC: H01J37/12 , H01J37/063 , H01J37/28
Abstract: 本发明的课题在于提供高分辨率且能够小型化的电子束装置、以及具备该电子束装置的X射线产生装置和扫描电子显微镜。电子束装置(1)具备：阴极(21)，所述阴极放射电子；阳极(23)，所述阳极是形成电场以便借助从阴极(21)放射出的电子来形成电子束的电极，且形成有供电子束穿过的第1孔(23a)；形成有开口(31)的光阑部件(30)，所述光阑部件遮挡穿过阳极(23)后的电子束的外周部；以及聚焦电极(40)，所述聚焦电极是形成电场以便使穿过开口(31)后的电子束聚焦的电极，由形成有供电子束穿过的第2孔(41)的一个单孔电极构成。
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公开(公告)号：CN104576268B
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201410509911.7
申请日：2014-09-28
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: H01J35/18
CPC classification number: H01J35/18 , H01J2235/122 , H01J2235/1291 , H01J2235/183 , H01J2235/186
Abstract: 本发明提供能够以简单的结构为基础根据X射线管的使用目的、使用方法、或者其构造等而使照射窗的发热不会传递到不希望传递的部分的X射线发生装置。在X射线发生装置中，使通过对配置于X射线管内的真空气氛中的靶(2)照射电子束B而产生的X射线经由气密密封设于X射线管的开口的照射窗(3)放射到X射线管外，在这样的X射线发生装置中，通过使照射窗(3)具有在该照射窗(3)的展宽方向和厚度方向上热传导系数不同的热各向异性，能相对地减小使照射窗(3)的热量向不希望传递的方向的热传导系数，在不伴随着追加部件等的情况下就能解决现有技术中的问题。
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公开(公告)号：CN106128925B
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201610188205.6
申请日：2016-03-29
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 宫冈明宽
IPC: H01J35/10
Abstract: 本发明是有关于一种X射线产生装置。经由真空波纹管(2)将保持积层了靶材(4)的X射线照射窗(5)的移动部(3)连结于真空容器的本体部(1)，将限制移动部(3)的移动方向及倾斜的引导机构设置于真空容器外。所述引导机构包含：引导用平坦面(10a)，在本体部(1)侧沿着与电子束(B)的中心轴正交的平面形成；被引导用平坦面(13a)，在移动部(3)侧以与所述引导用平坦面(10a)相向的方式形成；以及在它们之间转动的多个转动体(12)。据此，引导机构中的摩擦力得以减轻。
