-
公开(公告)号：CN113466494A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110221010.8
申请日：2021-02-26
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor： 山崎贤治
Abstract: 本发明提供一种扫描探针显微镜以及扫描探针显微镜的光轴调整方法，防止激光的漫反射对扫描探针显微镜的激光的光轴调整的处理造成不好的影响。在基于摄像部拍摄到的图像确定出的激光的光斑的位置在使激光进行了移动的情况下预测出的方向上进行了移动的情况下，扫描探针显微镜的控制装置将确定出的光斑的位置作为初始位置。控制装置基于摄像部拍摄到的图像来确定发生漫反射的位置，以避开发生漫反射的位置的方式使光斑从初始位置移动到悬臂的顶端。
-
公开(公告)号：CN110308310B
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN201910213897.9
申请日：2019-03-20
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明提供数据校正方法、记录介质、图像处理装置、扫描型探针显微镜，用于不依据观测者而良好地对所获得的图像进行高度校正。公开一种使用了通过扫描型探针显微镜(1)获取到的图像数据的多个测定数据的高度数据校正方法。在该数据校正方法中，计算机(132)从图像数据中提取基准平面区域，选择多个测定数据中的、提取出的基准平面区域内的三个点的测定数据作为第一基准点数据～第三基准点数据，设第一基准点数据～第三基准点数据的高度相同，来进行剩余的测定数据的高度校正。
-
公开(公告)号：CN114324981A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111090378.1
申请日：2021-09-17
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q30/00
Abstract: 本发明提供一种扫描探针显微镜，能够在极性溶剂中获取试样表面的形状和电位分布的三维信息。扫描探针显微镜具备：试样工作台；悬臂；移动机构，其使试样工作台与悬臂的基端之间的距离发生变化；激振部，其使悬臂进行振动；位移检测器，其检测探针的位移；测定控制部，其针对多个测定点中的各个测定点执行如下的测定动作：在多个位置处执行在对悬臂进行激振的状态下检测探针的位移的处理；表面形状信息获取部，其通过基于探针的位移求出悬臂的挠曲量，来获取所述试样的表面形状的信息；以及电位信息获取部，其通过基于探针的位移求出该位移的振幅的大小或相位的变化量，来获取在与试样表面垂直的方向上的电位分布的信息。
-
公开(公告)号：CN110398613A
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201910328923.2
申请日：2019-04-23
Applicant: 株式会社岛津制作所
Abstract: 本发明提供一种能够提高用户的操作性的扫描型探针显微镜及光强度调整方法。扫描型探针显微镜(1)具备光源、检测器(7)、壳体、开闭门、开闭传感器(14)以及控制部(16)等。开闭门被设置于壳体。控制部(16)也作为光强度变更处理部(164)起作用。在扫描型探针显微镜(1)中，当开闭传感器(14)检测到开闭门的开闭时，光强度变更处理部(164)基于开闭传感器(14)的检测结果，自动变更从光源(4)照射的光的强度。因此，能够省去用户手动的光的强度调整作业。其结果，能够提高使用扫描型探针显微镜(1)时的用户的操作性。
-
公开(公告)号：CN109313215B
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN201680086985.1
申请日：2016-06-24
Applicant: 株式会社岛津制作所
IPC: G01Q30/04
Abstract: 本发明为一种扫描型探针显微镜用数据处理装置，其对通过使用扫描型探针显微镜利用探针扫描试样表面而针对该试样表面的多个测定点中的各方获取到的、表示相对于第1物理量的变化的第2物理量的变化的两轴数据进行处理，其具备：特征量算出部(41)，其根据各测定点上的两轴数据来求1种至多种特征量；特征量选择部(42)，其让使用者选择特征量中的1种；二维映射图像显示部(43)，其根据使用者对特征量的选择而画面显示为以各测定点为1像素的二维映射图像；以及两轴数据显示部(44)，当二维映射图像中的像素中的1个被使用者选择时，其对与该被选择的像素以及邻接于该像素的1个至多个像素相对应的测定点的两轴数据进行画面显示。
