公开(公告)号：CN107850837B

公开(公告)日：2020-12-29

申请号：CN201680025674.4

申请日：2016-06-28

申请人： 株式会社武藏野化学研究所 ,  奥加诺株式会社

发明人： 槻田正和 ,  高田仁

IPC分类号： G03F7/004 ,  B01J31/08 ,  B01J35/10 ,  G03F7/32 ,  H01L21/027

摘要： 课题为提供一种制作电子零件的方法，该方法精密地、减少不良品且产率良好地制作电子零件，尤其提供一种可在使用液体的制作电子零件的各步骤中，提供更优异的阻剂液及清洗液的方法。该课题的解决方法涉及一种有机酸酯类液体的制造方法，该制造方法是将属于电子零件制作用阻剂溶剂的有机酸酯类液体或属于电子零件制作用清洗液的有机酸酯类液体中含有的有机过氧化物去除的方法，且该制造方法通过使该有机酸酯类液体与铂族金属催化剂接触，而去除该有机酸酯类液体中的有机过氧化物；并且涉及一种电子零件制作用阻剂溶剂或电子零件制作用清洗液，其是使用该制造方法去除有机酸酯类液体中含有的有机过氧化物而成，且过氧化物值(POV)为2mmoL/kg以下。

公开(公告)号：CN107850837A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680025674.4

申请日：2016-06-28

申请人： 株式会社武藏野化学研究所 ,  奥加诺株式会社

发明人： 槻田正和 ,  高田仁

IPC分类号： G03F7/004 ,  B01J31/08 ,  B01J35/10 ,  G03F7/32 ,  H01L21/027

摘要： 课题为提供一种制作电子零件的方法，该方法精密地、减少不良品且产率良好地制作电子零件，尤其提供一种可在使用液体的制作电子零件的各步骤中，提供更优异的阻剂液及清洗液的方法。该课题的解决方法涉及一种有机酸酯类液体的制造方法，该制造方法是将属于电子零件制作用阻剂溶剂的有机酸酯类液体或属于电子零件制作用清洗液的有机酸酯类液体中含有的有机过氧化物去除的方法，且该制造方法通过使该有机酸酯类液体与铂族金属催化剂接触，而去除该有机酸酯类液体中的有机过氧化物；并且涉及一种电子零件制作用阻剂溶剂或电子零件制作用清洗液，其是使用该制造方法去除有机酸酯类液体中含有的有机过氧化物而成，且过氧化物值(POV)为2mmoL/kg以下。