公开(公告)号：CN106654856A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201710113863.3

申请日：2017-02-28

Applicant: 武汉光迅科技股份有限公司 ,  武汉电信器件有限公司

Inventor： 姜勋财 ,  王任凡 ,  汤宝 ,  罗飙 ,  余兵 ,  朱拓 ,  吴振华

IPC: H01S5/183

CPC classification number: H01S5/18313

Abstract: 本发明涉及激光器技术领域，提供了一种垂直腔面激光器及其制作方法。该激光器衬底1、N型分布布拉格反射镜组2、有源区3、氧化限制层4、P面电极5、光学膜6、第二光栅层7和BCB钝化层8；其中，所述氧化限制层4上设置有通过氧化形成的第一光栅；所述P型分布布拉格反射镜组6的出光面上刻蚀制作有第二光栅。本发明实施例通过氧化形成的第一光栅的引入，实现有源区电流的各向异性注入，有效的缓解载流子注入各向同性所带来的各种问题，如空间烧孔现象等，同时第二光栅的引入进一步的缓解输出光的多模和散射问题，实现在颈向的自聚偏振光输出。

公开(公告)号：CN106654856B

公开(公告)日：2020-06-30

申请号：CN201710113863.3

申请日：2017-02-28

Applicant: 武汉光迅科技股份有限公司 ,  武汉电信器件有限公司

Inventor： 姜勋财 ,  王任凡 ,  汤宝 ,  罗飙 ,  余兵 ,  朱拓 ,  吴振华

IPC: H01S5/183

Abstract: 本发明涉及激光器技术领域，提供了一种垂直腔面激光器及其制作方法。该激光器衬底1、N型分布布拉格反射镜组2、有源区3、氧化限制层4、P面电极5、光学膜6、第二光栅层7和BCB钝化层8；其中，所述氧化限制层4上设置有通过氧化形成的第一光栅；所述P型分布布拉格反射镜组6的出光面上刻蚀制作有第二光栅。本发明实施例通过氧化形成的第一光栅的引入，实现有源区电流的各向异性注入，有效的缓解载流子注入各向同性所带来的各种问题，如空间烧孔现象等，同时第二光栅的引入进一步的缓解输出光的多模和散射问题，实现在颈向的自聚偏振光输出。