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    微机械传感器设备
    1.
    发明授权
    微机械传感器设备 有权

    公开(公告)号：CN104627951B

    公开(公告)日：2019-01-22

    申请号：CN201410613568.0

    申请日：2014-11-04

    申请人： 罗伯特·博世有限公司

    发明人： J·弗莱 ,  A·克尔布尔 ,  J·赖因穆特 ,  J·克拉森

    IPC分类号： B81C1/00

    摘要： 一种微机械传感器设备(100)，其具有：一个未经封装的第一传感器装置(10)；和至少一个未经封装的第二传感器装置(20)，其中，所述传感器装置(10、20)相互在功能上连接，其中，所述传感器装置(10、20)基本上垂直地如此相叠地设置，使得在基面方面较大的传感器装置(10)完全覆盖在基面方面较小的传感器装置(20)。

    微机械器件以及用于制造微机械器件的方法
    4.
    发明公开
    微机械器件以及用于制造微机械器件的方法 有权

    公开(公告)号：CN103091510A

    公开(公告)日：2013-05-08

    申请号：CN201210410337.0

    申请日：2012-10-24

    申请人： 罗伯特·博世有限公司

    发明人： J·克拉森 ,  A·克尔布尔 ,  L·特布耶

    IPC分类号： G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

    CPC分类号： G01P15/125 ,  B81B3/0072 ,  B81B2201/025 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0805 ,  Y10T29/49155

    摘要： 本发明涉及一种微机械器件（101，301，401），包括：衬底（102）；振动质量（103），其在第一悬架（105）上与衬底（102）连接；至少一个第一电极（117），用于检测振动质量（103）在第一方向上的运动，其中第一电极（117）在第二悬架（109）上与衬底（102）连接；至少一个第二电极（127；127a；127b），用于检测振动质量（103）在不同于第一方向的第二方向上的运动，其中第二电极（127；127a；127b）在第三悬架（125）上与衬底（102）连接，本发明规定，第一电极（117）借助支承臂（111）与第二悬架（109）机械连接并且与第二悬架（109）隔开间距地设置。本发明还涉及一种用于制造微机械器件的方法。

    微机械器件以及用于制造微机械器件的方法
    6.
    发明授权
    微机械器件以及用于制造微机械器件的方法 有权

    公开(公告)号：CN103091510B

    公开(公告)日：2017-03-01

    申请号：CN201210410337.0

    申请日：2012-10-24

    申请人： 罗伯特·博世有限公司

    发明人： J·克拉森 ,  A·克尔布尔 ,  L·特布耶

    IPC分类号： G01P15/125 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

    CPC分类号： G01P15/125 ,  B81B3/0072 ,  B81B2201/025 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0805 ,  Y10T29/49155

    摘要： 本发明涉及一种微机械器件（101，301，401），包括：衬底（102）；振动质量（103），其在第一悬架（105）上与衬底（102）连接；至少一个第一电极（117），用于检测振动质量（103）在第一方向上的运动，其中第一电极（117）在第二悬架（109）上与衬底（102）连接；至少一个第二电极（127；127a；127b），用于检测振动质量（103）在不同于第一方向的第二方向上的运动，其中第二电极127；127a；127b）在第三悬架（125）上与衬底102）连接，本发明规定，第一电极（117）借助支承臂（111）与第二悬架（109）机械连接并且与第二悬架（109）隔开间距地设置。本发明还涉及一种用于制造微机械器件的方法。

    微机械压力传感器装置以及相应的制造方法
    7.
    发明公开
    微机械压力传感器装置以及相应的制造方法 有权

    公开(公告)号：CN105940287A

    公开(公告)日：2016-09-14

    申请号：CN201480073182.3

    申请日：2014-11-17

    申请人： 罗伯特·博世有限公司

    发明人： J·克拉森 ,  J·赖因穆特 ,  A·克尔布尔

    IPC分类号： G01L9/00 ,  G01L13/02 ,  G01L19/06

    摘要： 本发明涉及一种微机械压力传感器装置以及一种相应的制造方法。微机械压力传感器装置包括具有正面(VSa)和背面(RSa)的ASIC晶片(1a)以及在ASIC晶片(1a)正面(VSa)上形成的具有多个堆叠的印制导线层(LB0，LB1)和绝缘层(I)的再布线装置(25a)。微机械压力传感器还包括具有正面(VS)和背面(RS)的MEMS晶片(1)、在MEMS晶片(1)的正面(VS)形成的第一微机械功能层(3)和在第一微机械功能层(3)上形成的第二微机械功能层(5)。在第一和第二微机械功能层(3；5)之一中形成可偏移的第一压力探测电极的膜片区域(16；16a；16′)，该膜片区域可通过MEMS晶片(1)中的贯通开口(12；12′；12a′)加载压力。在第一和第二微机械功能层(3；5)之另一个中形成与膜片区域(16；16a；16′)隔开间距对置的固定的第二压力探测电极(11′；11″；11′″；11″″；11a′；111)。第二微机械功能层(5)通过键合连接(7；7，7a；7，7b)与再布线装置(25a)连接，使得固定的第二探测电极(11′；11″；11′″；11″″；11a′；111)被包围在空腔(9；9a)中。