多级泵体以及多级气体泵

    公开(公告)号:CN113396272B

    公开(公告)日:2024-07-19

    申请号:CN201980091417.4

    申请日:2019-02-06

    Abstract: 一种多级泵体,包括第一泵送腔室(20)和第二泵送腔室(21)。连接导管(26a)使第一泵送腔室(20)的出口(27)与第二泵送腔室(21)的入口(28)连通。设置有用于循环冷却液的防漏管道(40)。连接导管(26a)是多级泵体的侧向导管。导热壁(33)部分地界定连接导管(26a),并且具有位于外部的外表面(34)。连接导管(26a)的至少一部分在导热壁(33)的该外表面(34)和防漏管道(40)之间通过。

    多级泵体以及多级气体泵

    公开(公告)号:CN113396272A

    公开(公告)日:2021-09-14

    申请号:CN201980091417.4

    申请日:2019-02-06

    Abstract: 一种多级泵体,包括第一泵送腔室(20)和第二泵送腔室(21)。连接导管(26a)使第一泵送腔室(20)的出口(27)与第二泵送腔室(21)的入口(28)连通。设置有用于循环冷却液的防漏管道(40)。连接导管(26a)是多级泵体的侧向导管。导热壁(33)部分地界定连接导管(26a),并且具有位于外部的外表面(34)。连接导管(26a)的至少一部分在导热壁(33)的该外表面(34)和防漏管道(40)之间通过。

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