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公开(公告)号:CN103930595A
公开(公告)日:2014-07-16
申请号:CN201280055031.6
申请日:2012-11-09
申请人: SIO2医药产品公司
IPC分类号: C23C16/40
CPC分类号: B65D25/14 , A61J1/05 , A61M5/3129 , A61M2005/3109 , A61M2005/3131 , C23C16/045 , C23C16/30 , C23C16/36 , C23C16/401 , C23C16/507
摘要: 在此提供了一种用于通过PECVD在一个衬底表面上提供一个钝化层或pH保护性涂层的方法,该方法包括由包含聚合气体的一种气态反应物,例如一种有机硅前体和任选地O2产生一种等离子体。该钝化层或pH保护性涂层的润滑性、钝化、pH保护性、疏水性和/或阻隔特性是通过设定该前体进料中的O2与有机硅前体的比率、和/或通过设定用于产生该等离子体的电功率来设定。具体地说,提供了通过所述方法制成的一个润滑性和/或钝化层或pH保护性涂层。