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公开(公告)号：CN116275632A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310379274.5
申请日：2023-04-11
Applicant: 北京瑞邦精控科技有限公司
IPC: B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种高精度大负载AC轴，包括：A轴组件，其包括：两个A轴力矩电机，其水平同轴且相对设置；固定组件，其与每个A轴力矩电机的定子连接；C轴组件，其包括：C轴力矩电机，其竖直设于两个A轴力矩电机中间，C轴壳体，其套设在C轴力矩电机的外侧，C轴力矩电机的定子与C轴壳体连接，每个A轴力矩电机的动子与C轴壳体的外侧壁连接，本发明的各旋转轴采用直驱力矩电机进行驱动，零齿槽效应且无采用伺服电机驱动时的传动结构，提高了驱动精度的同时极大的减小了结构的尺寸，可充分的满足在有限空间内的安装应用。
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公开(公告)号：CN118818919A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202411152980.7
申请日：2024-08-21
Applicant: 北京瑞邦精控科技有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种用于光刻机的移入移出装置，包括：基座；气垫组件包括：气垫套，其底面上设有圆形凹槽，气垫套固设在基座的底面上；气垫芯，其设置在气垫套的圆形凹槽内，在气垫芯底面上设有多个气嘴口，在气垫芯的内部设有气路通道，多个气嘴口均与气路通道相连通；在气垫套与气垫芯之间的封闭空间中充以高压气体，调节高压气体的气压大小可用来调节气垫芯向下伸出气垫套的长度，在气路通道内充以高压气体并从气嘴口喷出，产生的反向冲击力使基座以及基座上面的工件台悬浮起来；定向脚轮，其设置在基座的底部。该装置能够方便快捷、稳定地对光刻机的重型工件台进行移入和移出，且能保证反复移入和移出时位置的准确性，方便对光刻机的部件更换。
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公开(公告)号：CN118808796A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202411158986.5
申请日：2024-08-22
Applicant: 北京瑞邦精控科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种超精密电火花加工用运动台，包括：支架模块，其包括水平设置的水平基座和龙门型支架；X轴运动模块，其包括X轴基座和沿X轴方向往复运动的X轴滑台组件；Y轴运动模块，其包括Y轴基座和沿Y轴方向运动的Y轴滑台组件，所述Y轴滑台组件上设有工作液槽；Z轴运动模块，其包括Z轴基座和沿Z轴方向往复运动的Z轴滑台组件，所述Z轴滑台组件上设有伸入所述工作液槽内的电火花头；其中，所述X轴基座上设有一对X轴气浮导轨，X轴滑台组件上设有与一对X轴气浮导轨适配的一对X轴气浮块组。本发明提高了电火花加工用运动台的加工精度、系统刚性及稳定性，使得电火花加工工艺可以应用到高性能材料超精密加工中。
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公开(公告)号：CN117359131A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311551866.7
申请日：2023-11-21
Applicant: 北京瑞邦精控科技有限公司
IPC: B23K26/70 , B23K26/0622
Abstract: 本发明公开了一种直驱高精度卧式转台，包括：芯轴，其设置有芯轴中央腔；第一和第二主壳体，各自分别套设于芯轴的前端和后端；直驱电机，设置在第二主壳体内，具有电机轴，一端与芯轴的后端连接，另一端套装有圆光栅；读数头，设置在第二主壳体内，实时读取圆光栅的刻度；控制系统，与直驱电机和圆光栅各自分别通讯连接，控制系统向直驱电机发送运动指令，直驱电机转动，并带动芯轴和圆光栅转动，读数头实时读取圆光栅上的刻线并发送给控制系统，控制系统接收读数头的信息并与运动指令相比较，确认芯轴是否运动到指定角度位置。本发明为柱状结构的飞秒激光加工提供了相匹配的可靠的高精度旋转运动平台，特别是对于20kg级别的大负载的超精细加工提供了有力支撑。
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公开(公告)号：CN116387234B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202310379220.9
申请日：2023-04-11
Applicant: 北京瑞邦精控科技有限公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/683
Abstract: 本发明公开了一种晶圆承载装置，包括由下至上依次设置的第一驱动件、第一负载板、第二驱动件、第二负载板、真空吸盘，还包括至少两根竖直的接片柱；第三驱动件，其设在所述第一负载板上且位于所述第二驱动件下方；其中，所述第二驱动件、所述第二负载板、所述真空吸盘上均设有同轴同径的穿孔以形成与所述接片柱对应的通道，所述第三驱动件驱动所述接片柱的顶部在竖直方向上同步往复进出所述通道的顶部，且所述通道使所述接片柱适应第二负载板做六自由度微动。本发明具有的有益效果是，利用本装置，只需驱动接片柱向上移动，将晶圆从真空吸盘上向上顶升，以便机械手取走，避免了原有的垂直升降运动台和微动台的配合调整，操作简单、快速。
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公开(公告)号：CN116387234A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310379220.9
申请日：2023-04-11
Applicant: 北京瑞邦精控科技有限公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/683
Abstract: 本发明公开了一种晶圆承载装置，包括由下至上依次设置的第一驱动件、第一负载板、第二驱动件、第二负载板、真空吸盘，还包括至少两根竖直的接片柱；第三驱动件，其设在所述第一负载板上且位于所述第二驱动件下方；其中，所述第二驱动件、所述第二负载板、所述真空吸盘上均设有同轴同径的穿孔以形成与所述接片柱对应的通道，所述第三驱动件驱动所述接片柱的顶部在竖直方向上同步往复进出所述通道的顶部，且所述通道使所述接片柱适应第二负载板做六自由度微动。本发明具有的有益效果是，利用本装置，只需驱动接片柱向上移动，将晶圆从真空吸盘上向上顶升，以便机械手取走，避免了原有的垂直升降运动台和微动台的配合调整，操作简单、快速。
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公开(公告)号：CN214843321U
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202122244551.0
申请日：2021-09-16
Applicant: 北京瑞邦精控科技有限公司
Abstract: 本实用新型公开了三轴中空精密运动台，包括：基座，其上设置有放待检测物质的区域，基座沿水平方向设置；三轴运动平台，其设置在基座上，三轴运动平台包括可沿水平面内相互垂直的两个方向移动的XY轴运动平台和可沿竖直方向移动的Z轴运动平台，其中，XY轴运动平台和Z轴运动平台上均设置有贯通孔，贯通孔均允许检测设备通过并到达放待检测物质的区域的上方。本实用新型通过XYZ方向的大中孔结构，能够为大尺寸工件的光学检测提供充足的安装和检测空间，并满足大负载和大加速度及高精度的要求。
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公开(公告)号：CN214663316U
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202122011655.7
申请日：2021-08-25
Applicant: 北京瑞邦精控科技有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种超薄开式气浮转台，包括固定件、同轴转动搭设在所述固定件上的转动件；所述固定件上设有朝向所述转动件顶部的轴向气孔、朝向所述转动件侧壁的径向气孔、与所述轴向气孔或所述径向气孔连通的进气孔，所述径向气孔与所述轴向气孔连通；所述转动件底部设有永磁铁，所述固定件上位于所述永磁铁下方处设有与所述永磁铁磁吸引的预载板。本实用新型具有的有益效果是，一方面可降低气浮转台的安装高度，节省空间，另一方面组装方便，安装省时省力。
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公开(公告)号：CN214583337U
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202121924320.8
申请日：2021-08-17
Applicant: 北京瑞邦精控科技有限公司
IPC: G01D11/00
Abstract: 本实用新型公开了一种侧挂垂向运动气浮直线台，包括：基座；滑台，其可移动设置在基座上，基座和滑台间设有间隙，滑台两侧与基座磁性相吸，滑台上设置有进气口，滑台上间隙对应处设置有多个与进气口连通的出气口；一对气缸，其分别设置在滑台的两侧，气缸的活塞杆的活动端与滑台铰接，活塞杆与滑台移动方向相同，气缸的气缸本体外环设有转接内环，转接内环外环设有转接外环，转接外环与转接内环通过第一连接杆转动连接，转接外环外设置有支撑块，支撑块与转接外环通过一对同轴的第二连接杆转动连接，第一连接杆与第二连接杆位于同一平面且垂直，支撑块与基座连接。本实用新型运行平稳可靠且运行精度高。
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公开(公告)号：CN214578348U
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202121885599.3
申请日：2021-08-12
Applicant: 北京瑞邦精控科技有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种高精度龙门气浮平台，包括：两个龙门导轨，其相对且平行设置，任一龙门导轨上设有与其滑动连接的龙门气浮组件；横梁导轨，其固设于两个龙门气浮组件之间，横梁导轨上设有与其滑动连接的横梁气浮组件；其中，龙门气浮组件和横梁气浮组件上均设有多个多孔节流气浮支撑单元和多个小孔节流气浮支撑单元，任一多孔节流气浮支撑单元的出气口位于龙门气浮组件或横梁气浮组件的两侧，任一小孔节流气浮支撑单元的出气口位于龙门气浮组件或横梁气浮组件的顶部和/或底部。本实用新型采用多孔节流和小孔节流配合的方式实现气浮支撑，确保了龙门气浮平台的高刚性和高稳定性，并彻底避免气浮组件抱死的现象发生。
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