掺杂钛的石英玻璃及其制备方法、制备装置

    公开(公告)号:CN104326646A

    公开(公告)日:2015-02-04

    申请号:CN201410571933.6

    申请日:2014-10-23

    IPC分类号: C03B20/00 C03C3/06

    摘要: 本发明公开了一种掺杂钛的石英玻璃及其制备方法、制备装置,该制备方法包括:将含硅原料和含钛原料放入以氢氧火焰为反应能源的燃烧器中,采用立式化学气相沉积法制备低膨胀石英玻璃砣,将石英玻璃砣装入高温均化炉中均化处理,再经过冷加工制备得到掺杂钛的石英玻璃。该制备装置包括,四氯化硅控制系统和四氯化钛控制系统分别连接混料瓶,混料瓶氢气控制系统和氧气控制系统分别连接燃烧器,燃烧器位于燃烧炉的炉膛内,基础杆一端设有托盘,托盘位于炉膛内,所述基础杆另一端连接旋转机构,旋转机构连接升降系统,炉膛连接烟囱。本发明能够精确的控制掺杂数量,因此能够准确控制石英玻璃的膨胀系数。