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公开(公告)号：CN105190372B
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201480024171.6
申请日：2014-04-15
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor： R.W.E.范德克鲁伊斯 , S.尼亚贝罗 , A.E.亚克欣 , F.比柯克
CPC classification number: G02B5/0891 , G02B1/10 , G02B5/085 , G02B5/0875 , G03F7/7015 , G03F7/70316 , G03F7/70891 , G03F7/70958 , G21K1/062
Abstract: 本发明涉及一种光学元件(50)，包含：基板(52)；以及施加于该基板(52)的多层涂层(51)，多层涂层包含：至少一个第一层系统(53)，其由相同构造的堆叠(X1至X4)的布置组成，各堆叠具有至少两个层(53a‑d)；以及至少一个第二层系统(54)，其由相同构造的堆叠(Y1，Y2)的布置组成，各堆叠具有至少两个层(54a，54b)，其中在该多层涂层(51)的热负载时，第一层系统(53)经历各堆叠(X1至X4)的厚度(dX)的不可逆收缩，第二层系统(54)经历各堆叠(Y1，Y2)的厚度(dY)的不可逆膨胀。本发明还涉及一种包含至少一个这种光学元件(50)的光学装置，尤其是光刻设备。
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公开(公告)号：CN104011568B
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201280064971.1
申请日：2012-11-14
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G03F7/7015 , B82Y10/00 , G02B5/0891 , G02B5/09 , G03F7/70075 , G03F7/702 , G03F7/70316 , G21K1/062 , G21K2201/067
Abstract: 一种用于EUV辐射(14)的反射镜(20)，包含总反射表面(24)，该总反射表面具有第一EUV辐射反射区和至少一个第二EUV辐射反射区，其中所述EUV辐射反射区在结构上彼此定界开，所述第一区包含至少一个第一部分反射表面(22)，所述第一部分反射表面(22)在各个情况下由所述至少一个第二区沿着周边(31)围绕，所述至少一个第二EUV辐射反射区包含至少一个第二部分反射表面(23)，该第二部分反射表面以路径连接的方式实现且以连续方式实现。
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公开(公告)号：CN103229248B
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201180056893.6
申请日：2011-09-13
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC: G21K1/06
CPC classification number: G02B5/0891 , B82Y10/00 , G03F7/70316 , G03F7/70958 , G21K1/062 , G21K2201/061
Abstract: 本发明涉及一种包含基底(S)和层布置的反射镜(la;la’;lb;lb’;lc;lc’)，其中将所述层布置设计为使得以至少在0°和30°之间的入射角入射于反射镜(la;la’;lb;lb’;lc;lc’)上的、波长小于250nm的光(32)的强度被反射超过20%，以及所述层布置包含至少一个表面层系(P’’’)，其由单独层的至少两个周期(P3)的周期序列构成，其中所述周期(P3)包含由不同材料构成的两个单独层，该不同材料用于高折射率层(H’’’)和低折射率层(L’’’)，其中所述层布置包含至少一个由石墨烯构成的层(G、SPL、B)。此外，本发明涉及在光学元件上使用石墨烯(G、SPL、B)，用于将表面粗糙度降低至少于0.1nm rms HSFR，和/或用于保护EUV波长范围内的光学元件不遭受辐射导致的不可逆的体积变化大于1%，及/或作为阻挡层，用于在EUV波长范围中防止所谓的多层反射镜的层之间的相互扩散。
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公开(公告)号：CN105874268A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201480070384.2
申请日：2014-10-22
Applicant: 美奥泰科公司
CPC classification number: B05D3/06 , B05C9/14 , B05D3/067 , B05D7/20 , F21V7/0025 , F21V7/04 , F21V7/08 , F21V7/22 , G02B5/0891 , G02B19/0023 , G02B19/0095
Abstract: 所公开的是用于借助于辐射能固化材料的装置和方法。所述装置包括第一反射器和第二反射器，它们是半椭圆。限定出所述第一反射器和第二反射器的椭圆具有长度不同的轴线，并且所述反射器如此对齐以至于所述反射器的交点重叠。位于反射器的近焦点处的辐射能来源可提供能量，从而在所述反射器的远焦点处固化基质上的涂层。所述两个反射器的不同尺寸使所述辐射能的聚焦误差减小并向所述固化系统提供改进的效率。
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公开(公告)号：CN105518532A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201480049179.8
申请日：2014-06-25
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Inventor： M.赫尔曼
CPC classification number: G03F7/702 , G02B5/0816 , G02B5/0891 , G03F7/70316 , G03F7/70958 , G21K1/062
Abstract: 本发明涉及一种镜子，尤其是用于微光刻投影曝光设备的镜子。根据本发明的镜子(10、20、30、40)具有光学作用面(10a、20a、30a、40a)、镜子衬底(11、21、31、41)和用于反射撞击到所述光学作用面(10a、20a、30a、40a)上的电磁射线的反射层垛(14、24、34、44)；其中在镜子衬底(11、21、31、41)与反射层垛(14、24、34、44)之间布置由III族氮化物构成的层(13、23、33、43)，其中所述III族氮化物从包含氮化镓(GaN)、氮化铝(AlN)和铝镓氮化物(AlGaN)的组中选出。
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公开(公告)号：CN105441892A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201511026931.X
申请日：2015-12-31
Applicant: 同济大学
CPC classification number: C23C14/3464 , C23C14/165 , C23C14/185 , C23C14/35 , G02B5/0875 , G02B5/0891
Abstract: 本发明涉及一种极紫外高反射率的钯/钇多层膜反射镜的制备方法，包括以下步骤：1)在镀膜溅射真空腔内的样品架上设置一基底，该基底的表面粗糙度为0.2纳米以下；2)在所述镀膜溅射真空腔内充入由高纯氩气和高纯氮气混合而成的混合工作气体；3)开启直流磁控溅射电源，执行钯靶材和钇靶材的预溅射；4)将设置有基底的样品架重复交替转到钯靶材和钇靶材上方的溅射区域，控制样品架的停留时间或运动速度，完成钯膜层和钇膜层交替的钯/钇多层膜反射镜的镀制。与现有技术相比，本发明制备的钯/钇多层膜成膜质量和反射率都有明显提高，该方法工艺重复性好，可控性强，在高效率极紫外多层膜元件和相应光学系统领域有重要应用。
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公开(公告)号：CN103026272B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201180035305.0
申请日：2011-07-06
Applicant: 柯尼卡美能达控股株式会社
CPC classification number: B05D5/063 , B32B27/06 , B32B2307/416 , B32B2307/418 , B32B2419/00 , B32B2605/006 , G02B5/08 , G02B5/0891 , G02B5/208 , G02B5/282
Abstract: 本发明提供一种制造近红外反射膜的近红外反射体的制造方法，所述近红外反射膜的制造成本性能优异、可以大面积化、涂布稳定性优异、面内的折射率不均耐性优异的近红外反射膜。该近红外反射膜的制造方法为在支承体上交替叠层了高折射率层和低折射率层的近红外反射膜的制造方法，其特征在于，将相邻的该高折射率层和低折射率层的折射率差设为0.3以上，且该高折射率层和低折射率层使用高折射率层涂布液和低折射率层涂布液而形成且将设15℃下的粘度为η15、设45℃下的粘度为η45时的粘度比(η15/η45)均设为2.0以上。
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公开(公告)号：CN102640254B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201080053908.9
申请日：2010-10-14
Applicant: 阿科玛股份有限公司
CPC classification number: H01L21/0262 , C23C16/407 , C23C16/482 , G02B5/0891 , G02B5/208 , H01L21/02422 , H01L21/02554 , H01L21/02573 , H01L31/0392 , H01L31/1884 , Y02E10/50
Abstract: 本发明提供了在一个聚合物基底上形成一个层的一种方法，该方法包括具有使至少一种前体与一个聚合物基底接触，并且使用紫外光分解该至少一种前体并且在该聚合物基底上沉积一个层。还提供了沉积在一个聚合物基底上的包含氧化锌的一个掺杂层，这是通过将包含锌和一种掺杂剂的至少一种前体引入到一个容器内来接触一种聚合物基底，并且使用紫外光分解该至少一种前体以及在该聚合物基底上沉积包含掺杂氧化锌的一个层。
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公开(公告)号：CN103477253B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201180068676.9
申请日：2011-12-27
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
Inventor： 望月诚
CPC classification number: G02B5/0891 , G02B1/105 , G02B1/14 , G02B5/0808 , H01L31/02327 , H01L31/0547 , Y02E10/52
Abstract: 本发明提供一种膜状反射镜(10a)，其在基体材料(3)上设有反射层(5)，其构成具备：由聚硅氧烷改性树脂构成的抗腐蚀层(6)，其与反射层(5)的光反射侧邻接地层叠且含有硅烷偶联剂；以及层叠在抗腐蚀层(6)的光反射侧的最表面且含有UV吸收剂的硬涂层(9)。
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公开(公告)号：CN104755909A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201380052647.2
申请日：2013-08-28
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 张强 , 刘燕维 , 阿卜杜勒拉赫曼(阿波)·塞兹吉内尔
IPC: G01N21/33 , H01L21/027
CPC classification number: G01J1/00 , G01J1/4257 , G02B5/0833 , G02B5/0891 , G03F1/24 , G03F1/50 , G03F1/52 , G03F1/84 , G21K7/00
Abstract: 本发明揭示一种用于测量极紫外光EUV检验系统的波前像差的测试结构。所述测试结构包含：衬底，其由对EUV光实质上无反射性的材料形成；及多层ML堆叠部分(例如柱)，其形成于所述衬底上且包括具有不同折射率以反射EUV光的多个交替层对。所述对具有等于或小于15的计数。
