公开(公告)号：CN105745796A

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201480056463.8

申请日：2014-05-27

申请人： 三菱电机株式会社

发明人： 船冈幸治 ,  松本康成

IPC分类号： H01S3/0971 ,  H01S3/041

CPC分类号： H01S3/041 ,  H01S3/03 ,  H01S3/0326 ,  H01S3/036 ,  H01S3/038 ,  H01S3/0407 ,  H01S3/073 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/2232

摘要： 目的在于通过提高激光介质气体的冷却能力，获得一种小型且高输出的正交激励型气体激光振荡装置。正交激励型气体激光振荡装置具备：放电部，具有一对放电电极；轴流送风机，具有多个动叶，通过永磁铁式马达而工作；第一热交换器，多个冷却片配置于与光轴正交的平面上；第二热交换器，多个冷却片配置于与光轴正交的平面上；及风道，架设于放电部和第一热交换器之间，在气体通路上配设有轴流送风机。轴流送风机相比第一热交换器配置于上风侧。第二热交换器相比轴流送风机配置于上风侧。

公开(公告)号：CN102318150B

公开(公告)日：2012-10-10

申请号：CN201080008112.1

申请日：2010-02-16

申请人： 松下电器产业株式会社

发明人： 林川洋之 ,  本宫均 ,  新野畅男

IPC分类号： H01S3/036

CPC分类号： H01S3/036 ,  F04D25/0606 ,  F04D25/062 ,  F04D29/056 ,  F04D29/626 ,  H01S3/073

摘要： 本发明提供一种气体激光振荡装置，具备：激励激光气体的放电部；对激光气体进行鼓风的鼓风部；形成放电部与鼓风部之间的激光气体的循环路径的激光气体流路，鼓风部包括：通过轴驱动部进行旋转的旋转部；不进行旋转的非旋转部，旋转部具备：在前端设置有叶轮部的旋转轴；使旋转轴旋转的轴驱动部；与旋转轴结合的上部轴承及下部轴承，旋转部能够从非旋转部拆装。

公开(公告)号：CN102214890A

公开(公告)日：2011-10-12

申请号：CN201110054160.0

申请日：2011-03-04

申请人： 发那科株式会社

发明人： 本田昌洋 ,  早野浩次 ,  森敦

IPC分类号： H01S3/131 ,  H01S3/13

CPC分类号： H01S3/134 ,  H01S3/036 ,  H01S3/073 ,  H01S3/0971

摘要： 本发明提供一种稳定地控制微小的激光输出的激光装置。激光装置(1)具备：互相串联配置的第一以及第二激光激励区域(21、22)；在第一激光激励区域中注入第一能量的第一电源单元(PSU1)；以及在第二激光激励区域中注入第二能量的第二电源单元(PSU2)，第一电源单元把开始激光振荡的临界注入能量以上的预定的激励能量作为第一能量，注入到第一激光激励区域，第二电源单元，把在放电管进行预备放电所需要的预备激励能量和临界注入能量之间，被注入到第二激光激励区域的能量作为第二能量，注入到第二激光激励区域，由此控制激光输出。因此，即使是高输出的激光装置也可以稳定地输出微小的激光。

公开(公告)号：CN100446356C

公开(公告)日：2008-12-24

申请号：CN200610087922.6

申请日：2006-06-07

申请人： 发那科株式会社

发明人： 江川明 ,  安藤稔 ,  小林英二 ,  渡边武

IPC分类号： H01S3/06 ,  H01S3/032 ,  H01S3/10

CPC分类号： H01S3/073 ,  H01S3/036 ,  H01S3/09702 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/10038 ,  H01S3/104

摘要： 提供一种激光振荡器(2)，其具有：第一电极对(7a)；第二电极对(7b)；在第一和第二电极对(7a、7b)中产生脉冲放电的放电电源(4)；以及以下单元中的至少一个：在放电电源(4)的脉冲放电时，为使第一电极对(7a)中的第一放电相位(X1)和第二电极对(7b)中的第二放电相位(X2)互不相同而进行控制的放电相位控制单元(53)；在脉冲放电时，为使第一电极对(7a)中的第一占空比(Y1)和第二电极对(7b)中的第二占空比(Y2)互不相同而进行控制的占空比控制单元(53)；以及在脉冲放电时，为使第一电极对(7a)中的第一脉冲频率(Z1)和第二电极对(7b)中的第二脉冲频率(Z2)互不相同而进行控制的脉冲频率控制单元(53)。由此，可以在使放电电极中的放电稳定的同时，迅速地控制激光输出。

公开(公告)号：CN107146999A

公开(公告)日：2017-09-08

申请号：CN201610862671.8

申请日：2016-09-28

申请人： 发那科株式会社

发明人： 本田昌洋

IPC分类号： H01S3/03

CPC分类号： H01S3/097 ,  H01S3/03 ,  H01S3/036 ,  H01S3/0384 ,  H01S3/041 ,  H01S3/07 ,  H01S3/073 ,  H01S3/09702 ,  H01S3/09713 ,  H01S3/0975 ,  H01S3/104

摘要： 提供一种具备辅助电极的气体激光振荡器。本发明的气体激光振荡器的特征在于，具有：包括第一路径和第二路径的多个激光气体循环路径；设置于第一路径的第一放电管；设置于第二路径的第二放电管；激光电源，其向第一放电管供给第一高频电力，向第二放电管供给相位与第一高频电力的相位不同的第二高频电力；以及匹配单元，其包括用于与第一路径的放电负载取得阻抗匹配的第一线圈和第一电容器、以及用于与第二路径的放电负载取得阻抗匹配的第二线圈和第二电容器，其中，第一线圈和第二线圈以及第一电容器和第二电容器的各值是以使施加于第一放电管和施加于第二放电管的电压的峰值之差处于规定范围的方式决定的。

公开(公告)号：CN105359355A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201480037321.7

申请日：2014-08-18

申请人： 松下知识产权经营株式会社

发明人： 持山智浩 ,  小山贤起 ,  江口聪

IPC分类号： H01S3/036

CPC分类号： H01S3/036 ,  B23K26/0643 ,  H01S3/0346 ,  H01S3/073 ,  H01S3/104

摘要： 现有的气体激光振荡装置在导入激光气体的量比通常多时，在全反射镜、部分反射镜附近会产生紊流，放电变得不稳定，激光束的输出变得不稳定。本发明的气体激光振荡装置具有激光振荡部、第一激光气体供给口、激光气体排出口、第一激光气体导入口、激光气体循环路径以及第二激光气体导入口。第一激光气体导入口设置在全反射镜以及部分反射镜中的一方与第一放电管之间，并向激光振荡部导入激光气体。第二激光气体导入口设置于激光气体循环路径，并向激光气体循环路径导入激光气体。激光气体导入机构与第一激光气体导入口以及第二激光气体导入口连接。

公开(公告)号：CN102214890B

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201110054160.0

申请日：2011-03-04

申请人： 发那科株式会社

发明人： 本田昌洋 ,  早野浩次 ,  森敦

IPC分类号： H01S3/131 ,  H01S3/13

CPC分类号： H01S3/134 ,  H01S3/036 ,  H01S3/073 ,  H01S3/0971

摘要： 本发明提供一种稳定地控制微小的激光输出的激光装置。激光装置(1)具备：互相串联配置的第一以及第二激光激励区域(21、22)；在第一激光激励区域中注入第一能量的第一电源单元(PSU1)；以及在第二激光激励区域中注入第二能量的第二电源单元(PSU2)，第一电源单元把开始激光振荡的临界注入能量以上的预定的激励能量作为第一能量，注入到第一激光激励区域，第二电源单元，把在放电管进行预备放电所需要的预备激励能量和临界注入能量之间，被注入到第二激光激励区域的能量作为第二能量，注入到第二激光激励区域，由此控制激光输出。因此，即使是高输出的激光装置也可以稳定地输出微小的激光。

公开(公告)号：CN101093927A

公开(公告)日：2007-12-26

申请号：CN200710112508.0

申请日：2007-06-19

申请人： 发那科株式会社

发明人： 江川明 ,  小林英二 ,  渡边武

IPC分类号： H01S3/00 ,  H01S3/036 ,  H01S3/097 ,  H01S3/104 ,  H01S3/134

CPC分类号： H01S3/036 ,  H01S3/0407 ,  H01S3/041 ,  H01S3/073 ,  H01S3/097 ,  H01S3/10069 ,  H01S3/134 ,  H01S3/2232

摘要： 本发明涉及一种气体激光起振器。激发激光气体产生激光的气体激光起振器包括：激光气体用的循环通道；使激光气体在循环通道中循环的循环单元；检测在循环通道内的激光气体的压力的压力检测单元；检测驱动循环单元的功率的功率检测单元；对激光气体的每一种类存储在循环单元稳定运转时的激光气体的压力和循环单元的功率的关系的存储单元；以及激光气体判定单元。激光气体判定单元基于在循环单元稳定运转时检测出的激光气体的压力及循环单元的功率与存储在存储单元中的激光气体的压力及循环单元的功率之间的关系，判定激光气体的种类。由此，不用产生放电电压，判定激光气体。在不能判定激光气体的场合，也可以判断在激光起振器上产生了异常。

公开(公告)号：CN1848558A

公开(公告)日：2006-10-18

申请号：CN200610073005.2

申请日：2006-04-10

申请人： 发那科株式会社

发明人： 太田一也 ,  前田道德 ,  江川明

IPC分类号： H01S3/036 ,  H01S3/041 ,  F04D17/08

CPC分类号： H01S3/036 ,  F04D29/162 ,  H01S3/073

摘要： 本发明涉及一种激光起振器用鼓风机。在激光起振器(100)中，用于使激光介质在放电管(102)和循环路径(104)之间循环的鼓风机(10、20、120)具备：具有吸气口(12a)和排气口(12b)的壳体(12)和面临吸气口和排气口地转动自如地支撑在壳体内的叶片(18)，叶片的直径尺寸采用因与转动中心线垂直的剖面的位置不同而不同的形状，该叶片直径相对大的部分的该叶片和壳体的间隙(Go)比叶片直径相对小的部分的该叶片和壳体的间隙(Gi)宽。由此，提供一种最大限度抑制鼓风效率的下降、可靠性高的激光起振器用的鼓风机。

公开(公告)号：CN105098571B

公开(公告)日：2017-11-17

申请号：CN201510205850.X

申请日：2015-04-27

申请人： 发那科株式会社

发明人： 吉田宏之

IPC分类号： H01S3/034

CPC分类号： H01S3/036 ,  H01S3/03 ,  H01S3/0346 ,  H01S3/073 ,  H01S3/0835 ,  H01S3/09705 ,  H01S3/0971 ,  H01S3/104 ,  H01S3/223 ,  H01S3/2232

摘要： 本发明提供一种激光振荡装置。其具备：具有在一方向上延伸的放电管，对流经放电管内的激光气体进行放电激发而产生激光的放电激发部；具有安装于放电管的延伸方向的端壁外侧的光学部件，使在放电管内产生的激光振荡的光共振部；连接放电管的吸气口和排气口并形成激光气体循环路径的送风配管。在该激光振荡装置中，在放电管的端壁形成连接放电管内侧和光学部件之间的贯穿孔，在贯穿孔上配置阻碍激光气体通过贯穿孔向光学部件流动的阻碍部件。