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公开(公告)号：CN107086431A
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：CN201710440512.3
申请日：2017-06-12
申请人： 中国原子能科学研究院
CPC分类号： H01S3/2256 , H01S3/1024 , H01S3/104
摘要： 本发明涉及一种驱动聚变冲击点火的复杂形状非相干激光脉冲的产生方法及装置，该方法利用准分子激光器的增益饱和特性在自由运转的非相干光源上实现形状复杂的主脉冲输出，进而将宽度为皮秒量级的预脉冲、点火脉冲与主脉冲堆积构建出核聚变冲击点火所需的激光脉冲。本发明不需要价格昂贵的任意波形发生器和电光调制装置，直接利用了氟化氪准分子激光介质增益饱和特性进行脉冲整形，避免了光学科尔门带来的不确定性，经过放大的控制脉冲序列完全可以用作束靶物理诊断所需诊断激光脉冲的种子光，提高装置的整体利用效率。本发明对应用激光的波长、相干性和偏振性无特殊要求，对于高功率激光脉冲整形具有更好的普适性。
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公开(公告)号：CN100397732C
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN99803585.8
申请日：1999-02-16
申请人： 西默股份有限公司
发明人： D·S·诺尔斯 , J·H·阿佐拉 , H·A·贝萨奥克里 , P·P·达斯 , A·叶尔绍夫一世 , T·尤哈兹 , R·M·内斯 , R·G·奥扎斯基 , W·N·帕特罗 , D·A·罗斯韦尔 , R·L·桑德斯特伦 , R·C·乌佳导斯基 , T·A·沃森 , I·V·福缅科夫
CPC分类号： G03F7/70358 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/08009 , H01S3/1055 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256
摘要： 一种可靠的、模块化的、制造质量的窄带KrF激子激光器，能够产生1000Hz，带宽约0.6pm或更小的10mJ激光脉冲。本发明特别适合在集成电路的平板印刷中长期昼夜工作。在现有技术激光器上的改进包括：单个上游预电离器管(56)和隔音板。较佳实施例包括降低氟的浓度；阳极支撑条的形状，有利于降低在鼓风机的轴承上的空气动力学反作用力；经修改的脉冲功率系统提供较快的脉冲上升时间；反射率明显地增加的输出耦合器(65)；带CaF棱镜光束扩展器的线变窄模块；更正确的波长计；用新的、改进的脉冲能量算法编程的激光器计算机控制器。
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公开(公告)号：CN105281184A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510378268.3
申请日：2015-07-01
申请人： 发那科株式会社
IPC分类号： H01S3/036
CPC分类号： H01S3/036 , H01S3/10069 , H01S3/104 , H01S3/22 , H01S3/2207 , H01S3/2215 , H01S3/2222 , H01S3/2232 , H01S3/2237 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256
摘要： 本发明涉及一种能够控制气体压力和气体消耗量的气体激光振荡器。该气体激光振荡器具备：第一控制阀，其能够控制提供给气体容器的激光气体的量；第二控制阀，其能够控制从气体容器排出的激光气体的量；控制装置，其分别控制第一控制阀和第二控制阀的开度。控制装置具备：存储部，其存储表示气体容器内的激光气体的压力、第二控制阀的开度以及激光气体的排出量的关系性的数据；气体压力控制部，其分别控制第一控制阀和第二控制阀的开度，使得气体容器内的激光气体的压力接近基准气体压力；气体消耗量控制部，其分别控制第一控制阀和第二控制阀的开度，使得激光气体的排出量接近目标消耗量。
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公开(公告)号：CN101004530A
公开(公告)日：2007-07-25
申请号：CN200710004260.6
申请日：2007-01-19
申请人： 三星电子株式会社
发明人： 金壮鲜
CPC分类号： G03F7/70575 , G03F7/70025 , H01S3/036 , H01S3/041 , H01S3/0812 , H01S3/105 , H01S3/225 , H01S3/2256
摘要： 本发明公开了一种能够使半导体制造的生产良率增大并最大化的受激准分子激光器和谱线紧缩模块。谱线紧缩模块利用了扩束器，由受激准分子激光器的发生器产生并入射的激光穿过扩束器，且扩束器将激光准直在一个方向上。衍射光栅接收准直的激光，衍射激光，并根据激光的相关波长将激光的行进方向分开。多波长反射器位于衍射光栅和扩束器之间的一侧的反射位置，以通过扩束器使具有多波长的激光再次进入发生器中。多波长反射器将行进方向被衍射光栅分开的激光中由多个波长组成的激光反射到扩束器上。
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公开(公告)号：CN1295729A
公开(公告)日：2001-05-16
申请号：CN99803585.8
申请日：1999-02-16
申请人： 西默股份有限公司
发明人： D·S·诺尔斯 , J·H·阿佐拉 , H·A·贝萨奥克里 , P·P·达斯 , A·叶尔绍夫一世 , T·尤哈兹 , R·M·内斯 , R·G·奥扎斯基 , W·N·帕特罗 , D·A·罗斯韦尔 , R·L·桑德斯特伦 , R·C·乌佳导斯基 , T·A·沃森 , I·V·福缅科夫
CPC分类号： G03F7/70358 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/08009 , H01S3/1055 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256
摘要： 一种可靠的、模块化的、制造质量的窄带KrF激子激光器,能够产生1000Hz,带宽约0.6pm或更小的10mJ激光脉冲。本发明特别适合在集成电路的平板印刷中长期昼夜工作。在现有技术激光器上的改进包括:单个上游预电离器管(56)和隔音板。较佳实施例包括降低氟的浓度;阳极支撑条的形状,有利于降低在鼓风机的轴承上的空气动力学反作用力;经修改的脉冲功率系统提供较快的脉冲上升时间;反射率明显地增加的输出耦合器(65);带CaF棱镜光束扩展器的线变窄模块;更正确的波长计;用新的、改进的脉冲能量算法编程的激光器计算机控制器。
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公开(公告)号：CN107112712B
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201580053741.9
申请日：2015-11-20
申请人： 极光先进雷射株式会社
IPC分类号： H01S3/13
CPC分类号： H01S3/13 , G01J1/0425 , G01J1/0474 , G01J3/28 , G01J9/0246 , G01J2009/0257 , G02B27/48 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/08036 , H01S3/0811 , H01S3/0823 , H01S3/1305 , H01S3/134 , H01S3/137 , H01S3/2251 , H01S3/2256
摘要： 窄带化激光装置可以具有：激光谐振器，其包含使光谱宽度窄带化的光学元件；一对放电电极，它们隔着激光谐振器的脉冲激光的光路配置；电源，其对一对放电电极施加脉冲状的电压；第1波长计测器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第1计测结果；第2波长计测器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第2计测结果；以及控制部，其根据第2计测结果对第1计测结果进行校正。控制部根据以第1方式控制电源时的第2计测结果与以第2方式控制电源时的第2计测结果之差，对第1计测结果进行校正，其中，该第1方式是电源以第1重复频率对一对放电电极施加脉冲状的电压，该第2方式是电源以比第1重复频率高的第2重复频率对一对放电电极施加脉冲状的电压。
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公开(公告)号：CN1522484A
公开(公告)日：2004-08-18
申请号：CN02813018.9
申请日：2002-06-05
申请人： 西默股份有限公司
CPC分类号： H01S3/036 , G03F7/70025 , G03F7/70575 , H01S3/02 , H01S3/03 , H01S3/034 , H01S3/0401 , H01S3/08009 , H01S3/08059 , H01S3/0812 , H01S3/086 , H01S3/13 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225 , H01S3/2256
摘要： 本发明提供一种用于对产生高能激光束的基于光栅的激光器变窄光线的变窄光线装置。提供了一种挠性光栅固定件，它真正地消除了由于光栅和壳体结构之间的不同热膨胀而导致的光栅上的应力。使用一挠性光栅固定件将在一厚的超低膨胀玻璃基片上包括一十分薄的铝制表面的光栅附接至一铝制壳体结构上。在光栅固定件中至少设置一个挠曲连接部，它允许基片热膨胀和收缩。在一些实施例中，固定件包括一金属板，所述挠曲连接部是机加工到金属板中的带有四个腿部(126)的一H形的挠曲连接部(124)。在另一实施例中，设置了两个H形的挠曲连接部。在其它的实施例中，该挠曲连接部是一鸠尾连接部，它允许固定件的一端相对另一端滑动。
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公开(公告)号：CN1365529A
公开(公告)日：2002-08-21
申请号：CN00810951.6
申请日：2000-06-29
申请人： 西默股份有限公司
IPC分类号： H01S3/22
CPC分类号： G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70483 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , H01S3/02 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/08009 , H01S3/0971 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256
摘要： 本发明提供一种非常窄带宽脉冲准分子激光器,它能以大约500－2000Hz的速率产生脉冲,并具有增强的能量剂量控制以及重复性。混合气体中加入了很少量的稳定添加物,其中包括氧或一较重的稀有气体(对于KrF激光器来说为氙或氡,对于ArF激光器来说为氪、氙或氡)。所进行的试验表明,通过在KrF激光器中加入大约30ppm氙,使能量稳定性得到实际的提高。试验还表明,通过加入约6－10ppm氙或40ppm氪使ArF激光器性能提高。一较佳实施例中,通过将氟分气压降至0.10%以下并提高输出耦合器反射率达到25%以上,在一KrF激光器上实现非常窄的带宽。另一较佳实施例中,现有技术线宽收窄模块所用的现有熔融石英光束扩展棱镜由氟化钙棱镜替代。
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公开(公告)号：CN109565145A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201680088181.5
申请日：2016-09-30
申请人： 极光先进雷射株式会社
IPC分类号： H01S3/137
CPC分类号： H01S3/137 , G01J3/0229 , H01S3/08009 , H01S3/0812 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256
摘要： 在放电激励式的激光装置中对波长色散进行校正。激光装置具有在与一对放电电极(11a、11b)之间的放电方向垂直的方向上引起波长色散的第1波长色散元件(14a～14e)、以及在与放电方向平行的方向上引起波长色散的第2波长色散元件(32)。激光装置还具有：光学元件(31)，其对第2波长色散元件(30)引起的波长色散进行校正；第1致动器(16f)，其对第1波长色散元件进行驱动；第2致动器(43)，其对光学元件(31)进行驱动；以及控制部(41)，其对第1致动器(16f)进行控制使得激光束的中心波长接近目标波长，并对第2致动器(43)进行控制以对第2波长色散元件(30)引起的波长色散进行校正。
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公开(公告)号：CN107112712A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580053741.9
申请日：2015-11-20
申请人： 极光先进雷射株式会社
IPC分类号： H01S3/13
CPC分类号： H01S3/13 , G01J1/0425 , G01J1/0474 , G01J3/28 , G01J9/0246 , G01J2009/0257 , G02B27/48 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/08036 , H01S3/0811 , H01S3/0823 , H01S3/1305 , H01S3/134 , H01S3/137 , H01S3/2251 , H01S3/2256
摘要： 窄带化激光装置可以具有：激光谐振器，其包含使光谱宽度窄带化的光学元件；一对放电电极，它们隔着激光谐振器的脉冲激光的光路配置；电源，其对一对放电电极施加脉冲状的电压；第1波长计测器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第1计测结果；第2波长计测器，其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测，输出第2计测结果；以及控制部，其根据第2计测结果对第1计测结果进行校正。控制部根据以第1方式控制电源时的第2计测结果与以第2方式控制电源时的第2计测结果之差，对第1计测结果进行校正，其中，该第1方式是电源以第1重复频率对一对放电电极施加脉冲状的电压，该第2方式是电源以比第1重复频率高的第2重复频率对一对放电电极施加脉冲状的电压。
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