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公开(公告)号：CN114485419B
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202210077291.9
申请日：2022-01-24
申请人： 重庆大学
IPC分类号： G01B11/02 , G01B9/02003 , G01B9/02055
摘要： 本发明提供一种基于相干接收机延迟自零差探测的激光线宽测量系统及方法，该方法包括：S1、将激光信号分成两路，对其中一路做延时处理，另一路作为本振信号；S2、对经延时处理后的该路激光信号与该本振信号进行自零差探测，获得拍频信号；S3、将拍频信号转换为电信号；S4、对电信号进行解调，获得激光信号的相位；S5、根据激光信号的相位，还原原始拍频信号或高频噪声信号，对于线宽较宽的待测激光信号，根据原始拍频信号或高频噪声信号，确定待测的激光信号的线宽，对于线宽较窄的待测激光信号，根据高频噪声信号确定待测的激光信号的线宽。本发明可以提高测量准确度，降低系统体积且可实现KHz量级以下的激光线宽测量。
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公开(公告)号：CN112204471B
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN201980034620.8
申请日：2019-04-30
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC分类号： G03F7/20 , G01B9/02 , G01B9/02001 , G01B9/02017 , G01B9/02018 , G01B9/02003 , G01B11/14 , G01B11/00
摘要： 本发明涉及一种特别是在微光刻的光学系统中基于频率确定部件的位置的测量组件，其包括至少一个光学谐振器，所述谐振器包括固定的第一谐振器反射镜、与所述部件相关联的可移动测量目标、和固定的第二谐振器反射镜，所述第二谐振器反射镜由逆向反射镜(130、330、430、530)形成，所述逆向反射镜使来自所述测量目标的测量束反射回其本身。
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公开(公告)号：CN116940799A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202280019916.4
申请日：2022-03-08
申请人： 正点技术有限公司
发明人： 伯纳德·P·马斯特森 , 安德鲁·D·萨佩
IPC分类号： G01B9/02003
摘要： 一种气体泄漏检测器包括太阳能检测器和信号滤波器。该太阳能检测器通过使光信号与太阳能信号干涉并且检测所得干涉信号而生成电响应。该信号滤波器通信地耦接到该太阳能检测器并且对该电响应滤波以分离出差频信号。该差频信号具有与形成沿该太阳能信号的路径定位的气态羽流的物质的浓度负相关的幅值。
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公开(公告)号：CN110412606B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN201910757968.1
申请日：2019-08-16
申请人： 中国科学院武汉物理与数学研究所
IPC分类号： G01S17/08 , G01S7/48 , G01B11/02 , G01B9/02003
摘要： 本发明公开了一种基于外差激光干涉仪同时测量距离和位移的装置及其方法，涉及激光干涉精密测量和数字信号处理领域。本装置包括待测物体(40)，设置有信号源(10)、数字解调电路(20)和外差激光干涉仪(30)；信号源(10)与外差激光干涉仪(20)连接，用于调制激光频率和驱动声光移频器；信号源(10)同时与数字解调电路(30)连接，用于提供参考信号；外差激光干涉仪(20)与待测物体(40)连通，用于产生激光干涉拍频信号；外差激光干涉仪(20)与数字解调电路(30)连接，用于提供拍频信号。本发明适用于激光测距的精密测量领域，可用于改善测距精度指标、以及制作高精度测量距离和位移的传感器件。
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公开(公告)号：CN118151496A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202410080506.1
申请日：2019-04-30
申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司
IPC分类号： G03F7/20 , G01B9/02018 , G01B9/02017 , G01B9/02001 , G01B9/02003
摘要： 本发明涉及一种特别是在微光刻的光学系统中基于频率确定部件的位置的测量组件，其包括至少一个光学谐振器，所述谐振器包括固定的第一谐振器反射镜、与所述部件相关联的可移动测量目标、和固定的第二谐振器反射镜，所述第二谐振器反射镜由逆向反射镜(130、330、430、530)形成，所述逆向反射镜使来自所述测量目标的测量束反射回其本身。
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公开(公告)号：CN116007516A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202310209934.5
申请日：2023-03-07
申请人： 天津大学
IPC分类号： G01B11/14 , G01B9/02003 , G01B9/02004
摘要： 一种基于双平行Mach‑Zehnder调制器的多路并行扫频相干测距方法及系统，属于激光扫频相干测量技术领域，解决了传统相干测距测量速度低下的问题，实现了一种能够进行多点同时测量的高速测距方法。本发明方法只需要单个扫频激光器，通过双平行Mach‑Zehnder调制器生成多根光谱梳齿，扫频激光器进行扫描的同时，所有梳齿同步进行扫描，便可以得到多路扫频信号，同时对多目标进行测量，在不增加系统的复杂度的前提下，提高了测量速度，为紧凑、大规模并行和超高帧率相干激光雷达提供了技术基础，有广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN118463808A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410428008.1
申请日：2024-04-10
申请人： 北京大学
IPC分类号： G01B11/02 , G01B9/02003 , G01B9/02001 , G01B9/02015 , G01B9/02 , H01S3/0941 , H01S3/00
摘要： 本发明公开了一种法拉第‑迈克尔逊激光器及位移测量方法。本发明包括半导体激光二极管、分光单元、第一选频单元、第二选频单元、第一激光腔镜、第二激光腔镜；半导体激光二极管的后端面镀有高反射率膜作为前腔镜，半导体激光二极管作为增益介质通过前端输出宽谱荧光并入射到分光单元，将光束分为两路不同偏振方向的线偏振光，一路经第一选频单元入射到第一激光腔镜，另一路经第二选频单元入射到第二激光腔镜；前腔镜分别与第一激光腔镜、第二激光腔镜之间形成第一激光子腔、第二激光子腔；第一选频单元的透射峰与第二选频单元的透射峰对应的原子跃迁频率不同，从而输出双频激光。本发明可实现分辨率在pm甚至超过pm量级的位移测量。
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公开(公告)号：CN116429314A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310361896.5
申请日：2023-04-06
申请人： 中国计量科学研究院
IPC分类号： G01L11/02 , G01B9/02003
摘要： 本公开提供的一种基于法布里珀罗谐振腔的光学压力标准的压力测量装置，涉及光学压力标准技术，包括：第一法布里珀罗谐振腔、第二法布里珀罗谐振腔、处理模块；其中，第一法布里珀罗谐振腔和第二法布里珀罗谐振腔具有相同的反射相移色散系数、且腔长不同。可以通过两个不同腔长的法布里珀罗谐振腔同处于真空和预设气体压力中时对应的谐振频率，以及两个法布里珀罗谐振腔的腔长，确定出反射相移色散系数的值。不需要依赖生产厂家提供的FP谐振腔中的高反射率镜片的相关参数数据，可以在一定程度上保证得到的反射相移色散系数的准确性，且可以简化计算过程，进而可以在一定程度上提高光学压力标准的测量准确性。
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公开(公告)号：CN113607047B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202110888957.4
申请日：2021-08-04
申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
IPC分类号： G01B9/02003
摘要： 本发明提供一种外差干涉信号模拟系统，包括控制单元、时钟管理单元、数模转换单元；控制单元用于控制并产生外差干涉信号模拟系统的工作信号，时钟管理单元用于提供控制单元的时钟数据和数模转换单元的采样时钟；数模转换单元用于信号采样并将数字信号转化为模拟信号。本发明提供一种外差干涉信号模拟系统能够模拟多种类、高复杂度星间激光外差干涉信号，实现多种类噪声与干涉信号的任意复杂耦合，解决目前光机物理测试环境以及商用信号模拟器不能满足复杂星间激光外差干涉信号处理系统性能检测的问题。
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公开(公告)号：CN117677817A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202280048446.4
申请日：2022-07-08
申请人： 牛津大学科技创新有限公司
IPC分类号： G01B9/02003 , G01S17/36 , G01S17/34 , G01B9/02 , G01B9/02055 , G01B9/02056 , G01B9/02001
摘要： 一种干涉式位移测量装置(100)，包括至少一个测量干涉仪(103)，用于测量测量光束(150)与参考光束之间的光程差的变化。光源模块(118)被设置为生成具有特定光谱的调制光束，测量光束和参考光束是从该调制光束导出的。数据采集和分析模块(105)可以使用从检测测量光束与参考光束的干涉的光电探测器(111)接收的干涉强度数据来确定表示位移的度量。
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