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公开(公告)号：CN117912919A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202311749374.9
申请日：2023-12-19
Applicant: 杭州大和热磁电子有限公司
IPC: H01J37/075 , C23C14/30 , H01J37/063 , H01J37/065 , H01J37/18
Abstract: 本发明提出一种超高真空电子束发射装置，包括基体组件和磁场组件，所述基体组件中部设有灯丝块组件，所述灯丝组件包括灯丝，所述灯丝通过灯丝夹固定安装在阴极块上端，所述阴极块正面底端连接导电片，所述阴极块正面顶部设有发射口，所述阴极块背面连接有绝缘块，所述绝缘块通过固定块固定在阳极块上，阳极块顶部有阳极板，本发明将灯丝块隐藏安装，并优化阴阳极块及磁场设置，以获得更高能量的蒸发粒子。同时使用特殊的密封形式与材料让装置能在超高真空下使用。
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公开(公告)号：CN117133616A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202311086210.2
申请日：2017-07-31
Applicant: ASML荷兰有限公司
IPC: H01J37/063 , H01J37/26 , H01J9/02
Abstract: 公开了电子发射器和制造电子发射器的方法。根据某些实施例，一种电子发射器包括尖端，其具有直径在约(0.05‑10)微米的范围内的平面区域。电子发射器尖端被配置为释放场发射电子。电子发射器进一步包括涂覆在尖端上的功函数降低材料。
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公开(公告)号：CN115668429A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202080101288.5
申请日：2020-06-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/063
Abstract: 一种电子源，具备在沿着中心轴的方向上的一侧端部具有开口部的抑制电极以及前端从开口部突出的电子发射材料，其中，抑制电极在比开口部靠外周方向的位置还具备后退部，该后退部在沿着中心轴的方向上后退至比开口部远离电子发射材料的前端的位置，后退部的至少一部分具备配置为距开口部的中心为直径2810μm以内等的构造。由此，实现降低了因电子发射材料与抑制电极的轴偏离引起的装置性能的机械差异的电子源、电子枪、以及使用了该电子枪的电子显微镜等带电粒子束装置。
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公开(公告)号：CN106816350B
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201710182049.7
申请日：2017-03-24
Applicant: 中国工程物理研究院流体物理研究所
IPC: H01J37/063 , H01J37/065
Abstract: 本发明公开了一种电子枪，包括中空的支撑组件，在支撑组件内安装有阴极组件，在支撑组件上端通过栅网压片环固定安装有与阴极组件相匹配的栅网，还包括与支撑组件、阴极组件连接的插针组件。本发明的电子枪，通过中空的支撑组件、阴极组件、栅网、插针组件的有机结合，大大缩小了其本身的空间体积，使得其结构经凑，使用寿命延长，在相同功率的情况下，体积的缩小极大地提高了其使用的便利性。
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公开(公告)号：CN102592929A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110020312.5
申请日：2011-01-18
Applicant: 华东师范大学
IPC: H01J37/06 , H01J37/22 , H01J37/14 , H01J37/063 , H01J37/065
Abstract: 本发明提供一种用于产生高亮度飞秒电子脉冲的电子枪装置，包括入射窗片、密封部件、真空腔体、光阴极、栅网、阳极、观察窗片、分子泵、前级干泵、电子聚焦磁透镜、射频电子压缩腔、射频信号发生装置、X方向电子偏转板、Y方向电子偏转板、电子扫描板。本发明既有效抑制空间电荷效应对电子束脉冲纵向脉宽的展宽作用；又减小了由于阳极小孔处电场畸变而造成的电子束发散度增加的问题。本发明产生在横向和纵向都具有超高分辨率的电子脉冲，可实现对分子反应动力学等超快过程的超高时间分辨和空间分辨的实时探测。
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公开(公告)号：CN101496129A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200780028626.1
申请日：2007-07-13
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： 彼得·克勒伊特 , 张艳霞 , 马蒂杰恩·J·范布吕根 , 斯泰恩·威廉·赫尔曼·卡雷尔·斯腾布林克
IPC: H01J37/12 , H01J37/063
CPC classification number: H01J37/12 , H01J2237/0453 , H01J2237/04924 , H01J2237/1205 , H01J2237/121 , H01J2237/153 , H01J2237/26 , H01J2237/3175
Abstract: 本发明涉及一种多光束带电粒子光学系统，包括具有至少一个电极的静电透镜结构，提供有光圈，其中通过所述电极在所述光圈处实现的透镜视场的有效尺寸被制成最终较小。该系统可以包括发散带电粒子光束部分，其中包含该透镜结构。透镜的外形尺寸被制成最终较小，特别是小于1毫米，更特别是小于几十微米。在进一步的设计中，透镜与限流光圈(CLA)组合，相对于所述结构的透镜对准(排列)，使得通过所述限流光圈在所述透镜中实现的虚拟光圈(VA)位于使总象差最小化的最佳位置。
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公开(公告)号：CN113284780B
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202110190507.8
申请日：2021-02-18
Applicant: 株式会社普拉兹玛徳科
IPC: H01J37/065 , H01J37/063 , C23C14/30
Abstract: 灯丝(26)由灯丝主体(46)及灯丝脚(48、50)构成。在各灯丝脚(48、50)中，被鞘(40、42)以非接触的方式包围的部分是被包围部分(64)。被包围部分(64)的长度(U3、V3)相对于剥出部分(63)的长度(U2、V2)的比例为60％以上，优选为80％以上。
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公开(公告)号：CN117612915A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311469509.6
申请日：2023-11-07
Applicant: 清华大学
IPC: H01J37/063 , H01J37/067
Abstract: 本申请涉及一种阳极组件和电子射线发出设备，包括：冷却体；多个阳极靶片，分别设置于冷却体的一侧表面，各阳极靶片相对于电子射线发出设备中的电子束发出组件的相对位置不同，阳极靶片用于对电子束发出组件发出的电子束进行能量转换得到电子射线，并用于沿阳极靶片对应的发射方向发射电子射线；冷却组件，设置于冷却体中，冷却组件用于在阳极靶片对电子束进行能量转换的过程中对阳极靶片进行冷却。本申请所提供的阳极组件和电子射线发出设备性能更高。
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公开(公告)号：CN109196618B
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201780033988.3
申请日：2017-05-30
Applicant: 阿卡姆股份公司
Inventor： C.埃克伯格
IPC: H01J37/305 , B29C64/153 , H01J3/02 , H01J37/063 , H01J37/065
Abstract: 提供了一种用于通过接连地沉积粉末材料的单独层来形成三维物品的方法，所述粉末材料的单独层被熔融在一起以便形成物品，所述方法包括如下步骤：提供至少一个电子射束源，所述电子射束源发射电子射束以用于对粉末材料进行加热或熔融中的至少一个，其中所述电子射束源包括阴极、阳极、以及在阴极和阳极之间的维纳尔杯；在维纳尔杯与阳极之间并且紧密靠近于维纳尔杯地提供护环，其中所述护环具有比维纳尔杯的孔径更大的孔径；通过为护环提供比维纳尔杯和阴极更高的负电位，当形成三维物品时，保护阴极和/或维纳尔杯免受真空弧放电能量电流。
