公开(公告)号：CN117981039A

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202280060369.4

申请日：2022-09-05

申请人： 日商光电魂股份有限公司

发明人： 西谷智博

IPC分类号： H01J37/22 ,  H01J37/073 ,  H01J37/244 ,  H01J37/252 ,  H01J37/28

摘要： 提供一种电子射线应用装置，使得即使检测器的检测灵敏度的动态范围较小，也可获得照射区域的检测数据。电子射线应用装置包括光源(2)、光电阴极(3)、检测器(5)以及控制部(6)，控制部(6)进行控制，将由光电阴极(3)射出的电子束(B)向照射对象(S)的照射区域(R)照射，使检测器(5)产生与通过电子束(B)的照射而从照射对象(R)射出的射出量对应的检测信号，调整从光源(2)到达光电阴极(3)的光量，以使所述检测信号的信号强度成为预先设定的值，将所述信号强度成为预先设定的值的光量调整数据作为照射区域(R)的检测数据。

公开(公告)号：CN113518913A

公开(公告)日：2021-10-19

申请号：CN201980093517.0

申请日：2019-08-13

申请人： 株式会社岛津制作所

发明人： 石川丈宽

IPC分类号： G01N23/2252 ,  H01J37/24 ,  H01J37/252

摘要： 带电粒子束照射装置构成为向试样照射带电粒子束并检测从试样释放的信号。第一处理部(10)构成为能够与第一输入设备(11)进行通信，根据来自第一输入设备(11)的信号，并基于带电粒子束照射装置的检测信号对试样进行分析。第二处理部(20)构成为能够与第二输入设备(21)及第一处理部(10)进行通信，根据带电粒子束照射装置的检测信号来生成试样的观察图像，并且根据来自第二输入设备(21)的信号控制带电粒子束照射装置。第二输入设备(21)包括指示设备。第二处理部(20)将针对指示设备的操作输入转换为对带电粒子束照射装置的控制信号。

公开(公告)号：CN106165055B

公开(公告)日：2019-07-19

申请号：CN201480077921.6

申请日：2014-03-10

申请人： 牛津仪器纳米技术工具有限公司

发明人： 弗兰克·维利·鲍尔

IPC分类号： H01J37/20 ,  H01J37/252 ,  H01J37/295 ,  H01J37/305 ,  G01N23/20

CPC分类号： G01N23/20058 ,  G01N23/20025 ,  G01N23/203 ,  G01N23/2055 ,  H01J37/20 ,  H01J37/252 ,  H01J37/2955 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/24578 ,  H01J2237/2544 ,  H01J2237/31749

摘要： 本发明提供一种用于在显微镜的真空腔体中对样品进行电子衍射图案分析的方法。首先，使用聚焦粒子束从试样的一部分中隔离出样品。然后，将操纵器端部执行器附接至样品，以在端部执行器与样品之间实现预定取向。在样品被分离的情况下，操纵器端部执行器相对于电子束和衍射图案成像设备围绕旋转轴线旋转，以使样品形成为预定几何关系，使得能够在样品仍然被固定在操纵器端部执行器上的同时从样品中得到电子衍射图案。使电子束撞击到附接在操纵器端部执行器上的样品，从而得到电子衍射图案。

公开(公告)号：CN105684123B

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201480043606.1

申请日：2014-07-31

申请人： 史密斯探测公司

发明人： V·贝尔库特

IPC分类号： H01J49/26 ,  H01J37/252 ,  H01J49/04 ,  H01J49/06 ,  H01J49/24

CPC分类号： H01J49/067 ,  G01N1/28 ,  G01N30/72 ,  H01J49/0404 ,  H01J49/24 ,  H01J49/26

摘要： 描述了一种间歇性样品入口装置以及用于使用该间歇性样品入口装置的方法，包括具有进入孔的孔板以及具有分离器孔的旋转分离器，其中，旋转分离器设置在孔板和真空腔室壁之间。旋转分离器旋转以便分离器孔间歇地与进入孔对齐并且允许离子样品通过到质量分析器。

公开(公告)号：CN107068525B

公开(公告)日：2018-09-14

申请号：CN201710317544.4

申请日：2017-05-08

申请人： 中国科学院武汉物理与数学研究所

发明人： 黄学人 ,  晁思嘉 ,  舒华林 ,  曹健 ,  商俊娟

IPC分类号： H01J37/16 ,  H01J37/22 ,  H01J37/252

摘要： 本发明公开了一种用于真空环境下产生原子蒸气束的装置，包括样品，还包括炉管，炉管一端为封闭端，炉管另一端为开口端，样品设置在炉管内，炉管外壁螺旋缠绕有钨丝，陶瓷套管罩设在炉管上，遮光外层包覆陶瓷套管的侧部和两端，遮光外层上设置有用于炉管内的原子蒸气束出射的开口，钨丝的两端穿出陶瓷套管和遮光外层。本发明装置可以通过提供较小的加热电流而达到较高的温度从而产生所需样品原子蒸气束，此装置可以准直的固定，使产生的蒸气束较准确集中到达所需位置，另外可以减小光噪声本底。

公开(公告)号：CN107004556A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580063795.3

申请日：2015-03-23

申请人： 杰富意钢铁株式会社

发明人： 田中裕二 ,  山下孝子 ,  名越正泰

IPC分类号： H01J37/20 ,  G01N23/207 ,  G01N23/225 ,  H01J37/18 ,  H01J37/252 ,  H01J37/28

CPC分类号： G01N23/2252 ,  G01N23/207 ,  H01J37/18 ,  H01J37/256 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/2067 ,  H01J2237/2807 ,  H01J2237/2813

摘要： 能够没有污染影响地对试样中的微量碳进行分析。在电子束显微分析仪中，并用液氮阱(6)和等离子体或氧自由基发生装置作为污染的抑制机构，并且设置2个以上的检测试样(7)中的碳的特性X射线(8)的碳检测部(9，10)。

公开(公告)号：CN105684123A

公开(公告)日：2016-06-15

申请号：CN201480043606.1

申请日：2014-07-31

申请人： 史密斯探测公司

发明人： V·贝尔库特

IPC分类号： H01J49/26 ,  H01J37/252 ,  G01N27/62 ,  G01N23/225 ,  G01N30/72 ,  G01N1/28

CPC分类号： H01J49/067 ,  G01N1/28 ,  G01N30/72 ,  H01J49/0404 ,  H01J49/24 ,  H01J49/26

摘要： 描述了一种间歇性样品入口装置以及用于使用该间歇性样品入口装置的方法，包括具有进入孔的孔板以及具有分离器孔的旋转分离器，其中，旋转分离器设置在孔板和真空腔室壁之间。旋转分离器旋转以便分离器孔间歇地与进入孔对齐并且允许离子样品通过到质量分析器。

公开(公告)号：CN103718268A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201280038390.0

申请日：2012-07-25

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 扬村寿英

IPC分类号： H01J37/252 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/2445

摘要： 本发明的带电粒子线装置具备放出一次带电粒子线的带电粒子源(1)；使该一次带电粒子线会聚于样品(5)上的会聚透镜(2、4)；对由来自该样品上的照射点所放出的二次电子、反向散射电子构成的二次带电粒子(7)进行检测的检测器(80)；对来自所述检测器的信号进行波形处理来制成所述二次带电粒子的能量分布信息的波形处理部(9)；和选择所述能量分布信息的任意能量范围的信息并在显示部进行图像显示的控制部(10)。由此，能简便辨别二次电子、反向散射电子的角度和能量，实现了可使观察对象样品的必要信息进行图像化的带电粒子线装置。

公开(公告)号：CN101366095B

公开(公告)日：2010-11-10

申请号：CN200680051601.9

申请日：2006-11-15

申请人： 阿利斯公司

发明人： 比利·W·沃德 ,  约翰·A·诺特四世 ,  路易斯·S·法卡斯三世 ,  兰德尔·G·珀西瓦尔 ,  雷蒙德·希尔 ,  亚历山大·格罗霍尔斯基 ,  理查德·科穆纳尔

IPC分类号： H01J9/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/252 ,  H01J37/305 ,  H01J37/317 ,  B81B1/00 ,  G01N23/225 ,  G12B21/02 ,  H01J27/26

摘要： 公开了离子源、系统和方法。

公开(公告)号：CN114551198A

公开(公告)日：2022-05-27

申请号：CN202011345005.X

申请日：2020-11-25

申请人： 太仓毅强机电设备有限公司

发明人： 杨尧斌

IPC分类号： H01J37/252 ,  H01J37/26 ,  H01J37/02

摘要： 本发明公开了一种医用移动式电子显微镜，包括电子显微镜本体，所述电子显微镜本体机架的右侧贯穿设置有壳体，所述壳体的左侧贯穿至电子显微镜本体机架的左侧，所述壳体的左侧贯穿设置有螺纹管，所述螺纹管的右端贯穿至壳体的内腔，所述螺纹管的左侧贯穿设置有螺纹杆，所述螺纹杆的右端贯穿螺纹管的内腔并延伸至壳体的内腔，所述螺纹杆与螺纹管螺纹连接。本发明解决了现有的移动式电子显微镜稳定性差，容易在观察的过程中触碰到进行移动，同时不能对光学显微镜镜头进行清理和除湿除雾，当空气湿度较大时，光学显微镜镜头的镜头会出现水珠和水雾，不便于使用者使用，影响观察清晰度的问题。