公开(公告)号：EP4431871A2

公开(公告)日：2024-09-18

申请号：EP24184102.2

申请日：2018-05-17

申请人： Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH

发明人： Mayr, Ana Carolina ,  Rieger, Stephan ,  Mayer, Florian

IPC分类号： G01B21/04

CPC分类号： G01B21/047

摘要： Die Erfindung betrifft Verfahren zum Erzeugen eines resultierenden Prüfplans für die Prüfung eines Messobjekts (24),
wobei ein Datensatz durch Vermessen des Messobjekts (24) erzeugt wird,
wobei datenbasiert das Messobjekt (24) oder ein Teil des Messobjekts (24) wenigstens einer Objektklasse zugeordnet wird,
wobei als objektklassenspezifischer Prüfplan ein der Objektklasse zugeordneter Prüfplan bestimmt wird, und
wobei der resultierende Prüfplan in Abhängigkeit des objektklassenspezifischen Prüfplans bestimmt wird.
Ferner betrifft die Erfindung ein Computerprogrammprodukt und ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Prüfen eines Messobjekts (24).