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1.发明公开
公开(公告)号：EP3956923A1
公开(公告)日：2022-02-23
申请号：EP20717818.7
申请日：2020-04-02
IPC分类号： H01L21/443 , H01L21/285 , H01L21/203 , H01L21/265
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公开(公告)日：2022-02-23
申请号：EP20717818.7
申请日：2020-04-02
IPC分类号： H01L21/443 , H01L21/285 , H01L21/203 , H01L21/265