公开(公告)号：EP4420163A1

公开(公告)日：2024-08-28

申请号：EP22801801.6

申请日：2022-10-14

申请人： International Business Machines Corporation

发明人： ANDERSON, Brent ,  CLEVENGER, Lawrence ,  PENNY, Christopher ,  LANZILLO, Nicholas

IPC分类号： H01L23/528 ,  H01L21/768 ,  H01L23/48 ,  H01L23/50 ,  H01L23/535

CPC分类号： H01L23/5286 ,  H01L23/535

公开(公告)号：EP4360130A1

公开(公告)日：2024-05-01

申请号：EP22737773.6

申请日：2022-06-20

申请人： International Business Machines Corporation

发明人： LANZILLO, Nicholas ,  SHOBHA, Hosadurga ,  HUANG, Huai ,  CLEVENGER, Lawrence

IPC分类号： H01L23/528 ,  H01L21/768 ,  H01L23/532 ,  H01L23/535 ,  H01L23/522 ,  H01L23/48

CPC分类号： H01L23/5286 ,  H01L23/5283 ,  H01L21/76883 ,  H01L21/76885 ,  H01L23/481 ,  H01L23/535 ,  H01L21/76834 ,  H01L23/5222