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公开(公告)号:EP3888425A1
公开(公告)日:2021-10-06
申请号:EP19889110.3
申请日:2019-11-27
申请人: Oerlikon Metco (US) Inc.
发明人: KITAMURA, Junya , MOLZ, Ronald J. , YAMANE, Toshiyuki
IPC分类号: H05H1/24 , H05H1/28 , H05H1/32 , H05H1/34