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发明公开
EINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM POLIEREN VON HALBLEITERSCHEIBEN 审中-公开

公开(公告)号：EP3983172A1

公开(公告)日：2022-04-20

申请号：EP20726413.6

申请日：2020-05-15

申请人： Siltronic AG

发明人： FRANKE, Jonny , LAMPRECHT, Ludwig

IPC分类号： B24B37/08 , B24B37/34 , B24B51/00