公开(公告)号：EP1286144A1

公开(公告)日：2003-02-26

申请号：EP02026265.5

申请日：2000-07-20

申请人： Bernitz, Georg ,  Zitzmann, Heinrich

发明人： Bernitz, Georg ,  Zitzmann, Heinrich

IPC分类号： G01K7/18

CPC分类号： H01C3/12 ,  G01K7/183 ,  H01C3/04 ,  Y10T29/49085

摘要： Bei einem Verfahren zur Herstellung einer hybriden Hochtemperaturerfassungseinrichtung wird zunächst ein Hochtemperaturmeßfühlers (100) bereitgestellt, der einen Hochtemperaturmeßfilm, einen ersten Anschluß aus einem hochtemperaturstabilen Material und einen zweiten Anschluß aus einem hochtemperaturstabilen Material, die mit dem Hochtemperaturmeßfilm verbunden sind, umfaßt. Der Hochtemperaturmeßfühler (100) wird in einer durchgehenden Ausnehmung einer ersten Keramikgrünschicht (230) angeordnet, die benachbart zu einem ersten Ende der ersten Keramikgrünschicht (230) angeordnet ist. Anschließend wird die erste Keramikgrünschicht (230) mit einer zweiten Keramikgrünschicht (200) und einer dritten Keramikgrünschicht (260) gesintert, um ein Gehäuse zu bilden, wobei eine auf der zweiten Keramikgrünschicht angeordnete Leiterbahn an einem ersten Ende derselben mit dem ersten Anschluß des Hochtemperaturfühlers (100) verbunden ist, wobei sich die Leiterbahn zu einem zweiten Ende der zweiten Keramikgrünschicht (200) erstreckt, wobei eine auf der dritten Keramikgrünschicht (260) angeordnete Leiterbahn an einem ersten Ende derselben mit dem zweiten Anschluß des Hochtemperaturmeßfühlers (100) verbunden ist, und wobei sich die Leiterbahn zu einem zweiten Ende der dritten Keramikgrünschicht (260) erstreckt. Dann wird eine erste Anschlußfläche (214) und eine zweite Anschlußfläche (302) auf dem Gehäuse angebracht, zum Anschließen elektrischer Leitungen über ein nicht-hochtemperaturstabiles Material zum Abgreifen eines durch den Hochtemperaturmeßfühler (100) erzeugten Signals.

摘要翻译： 检测器具有高温 测量传感器（100）具有高温 测量膜和两个在高温下稳定的材料的连接。 连接到高温 细长壳体（300）中的测量元件 三个细长陶瓷衬底（230,200,260）具有高温 连接到传感器的电阻导电轨道和电信号引线的连接。 独立权利要求也包括在混合高温制造方法中。 探测器。