公开(公告)号：EP0066409B1

公开(公告)日：1988-03-02

申请号：EP82302533.3

申请日：1982-05-18

申请人： Hitachi, Ltd.

发明人： Hosoki, Shigeyuki ,  Futamoto, Masaaki ,  Kawabe, Ushio ,  Ishitani, Tohru ,  Tamura, Hifumi

IPC分类号： H01J37/073 ,  H01J37/24

CPC分类号： H01J37/073 ,  H01J2237/0807

公开(公告)号：EP0066409A1

公开(公告)日：1982-12-08

申请号：EP82302533.3

申请日：1982-05-18

申请人： Hitachi, Ltd.

发明人： Hosoki, Shigeyuki ,  Futamoto, Masaaki ,  Kawabe, Ushio ,  Ishitani, Tohru ,  Tamura, Hifumi

IPC分类号： H01J37/073 ,  H01J37/24

CPC分类号： H01J37/073 ,  H01J2237/0807

摘要： A charged particle beam source which can be used both as an electron source and as an ion source has a tip 1 formed of a carbide, nitride or di-boride of at least one of Ti, Zr, Hf, V, Nb and Ta or of a hexa-boride of at least one of the rare earth elements of atomic number 57 to 70. Switching means (8, 9, 10) enable simultaneous change of the polarity of the tip (1) relative to a first electrode (11) and of the first electrode (11) relative to a second electrode (12).

摘要翻译： 可用作电子源和离子源的带电粒子束源具有由Ti，Zr，Hf，V，Nb和Ta中的至少一种的碳化物，氮化物或二硼化物形成的尖端1，或者 的至少一种原子序数为57至70的稀土元素的六硼化物。切换装置（8,9,10）能够同时改变尖端（1）相对于第一电极（11）的极性， 和第一电极（11）相对于第二电极（12）。