公开(公告)号：EP4127254A1

公开(公告)日：2023-02-08

申请号：EP21712876.8

申请日：2021-03-23

申请人： BASF SE

发明人： ROHDE, Wolfgang ,  ADERMANN, Torben ,  SCHIERLE-ARNDT, Kerstin ,  HUGUET SUBIELA, Nuria ,  KEMPTER, Andreas ,  GERKE, Birgit

IPC分类号： C22B1/00 ,  C22B23/02 ,  C22B23/06 ,  C01G53/02

公开(公告)号：EP3384063A1

公开(公告)日：2018-10-10

申请号：EP16808948.0

申请日：2016-11-30

申请人： BASF SE ,  Georg-August-Universität Göttingen

发明人： ADERMANN, Torben ,  LOEFFLER,Daniel ,  WILMER, Hagen ,  SCHIERLE-ARNDT, Kerstin ,  GERKENS, Jan ,  VOLKMANN, Christian ,  SCHNEIDER, Sven

IPC分类号： C23C16/18 ,  C23C16/455 ,  C07F13/00 ,  C07F15/04 ,  C07F15/06

CPC分类号： C07F15/065 ,  C01B33/06 ,  C09D1/00 ,  C09D5/021 ,  C23C16/18 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45553 ,  H01L21/28518 ,  H01L21/28556 ,  H01L21/76841

摘要： The present invention is in the field of processes for the generation of thin inorganic films on substrates, in particular atomic layer deposition processes. The present invention relates to a process comprising bringing a compound of general formula (I) into the gaseous or aerosol state and depositing the compound of general formula (I) from the gaseous or aerosol state onto a solid substrate, wherein M is Mn, Ni or Co, X is a ligand which coordinates M, n is 0, 1, or 2, R1, R2 are an alkyl group, an alkenyl group, an aryl group or a silyl group, m is 1, 2, or 3, R3, R4, and R5 are an alkyl group, an alkenyl group, an aryl group, an alkoxy group, or an aryloxy group, and p is 1, 2 or 3.

公开(公告)号：EP3821043A1

公开(公告)日：2021-05-19

申请号：EP19737735.1

申请日：2019-07-09

申请人： BASF SE

发明人： ROHDE, Wolfgang ,  ADERMANN, Torben ,  SCHIERLE-ARNDT, Kerstin ,  GERKE, Birgit

IPC分类号： C22B1/00 ,  C22B7/00 ,  C22B3/00 ,  C22B26/12 ,  C22B47/00

公开(公告)号：EP4004246A1

公开(公告)日：2022-06-01

申请号：EP20743707.0

申请日：2020-07-24

申请人： BASF SE

发明人： ROHDE, Wolfgang ,  GERKE, Birgit ,  SCHIERLE-ARNDT, Kerstin ,  ADERMANN, Torben ,  VOGES, Matthias ,  VOGELSANG, Regina

IPC分类号： C22B7/00 ,  C22B26/12 ,  C22B3/12

公开(公告)号：EP4004245A1

公开(公告)日：2022-06-01

申请号：EP20742783.2

申请日：2020-07-24

申请人： BASF SE

发明人： ROHDE, Wolfgang ,  GERKE, Birgit ,  VOGELSANG, Regina ,  VOGES, Matthias ,  SCHIERLE-ARNDT, Kerstin ,  SEELER, Fabian ,  ADERMANN, Torben

IPC分类号： C22B7/00 ,  C22B26/12 ,  C22B3/12 ,  C22B23/00 ,  C22B3/00

公开(公告)号：EP3887557A1

公开(公告)日：2021-10-06

申请号：EP19801592.7

申请日：2019-11-18

申请人： BASF SE

发明人： ROHDE, Wolfgang ,  ADERMANN, Torben ,  GERKE, Birgit

IPC分类号： C22B7/00 ,  B22F9/26 ,  C22B3/00

公开(公告)号：EP4110890A1

公开(公告)日：2023-01-04

申请号：EP21706613.3

申请日：2021-02-24

申请人： BASF SE

发明人： HUEFFER, Stephan ,  ADERMANN, Torben ,  SCHMIDT, Kati ,  ETTL, Roland ,  URBAN, Tobias

IPC分类号： C11D1/722 ,  C11D1/94 ,  C11D3/00 ,  C11D3/12 ,  C11D3/20 ,  C11D3/37 ,  C11D3/395 ,  C11D11/00 ,  C11D3/28

公开(公告)号：EP4004244A1

公开(公告)日：2022-06-01

申请号：EP20742778.2

申请日：2020-07-24

申请人： BASF SE

发明人： ROHDE, Wolfgang ,  GERKE, Birgit ,  SCHIERLE-ARNDT, Kerstin ,  VOGES, Matthias ,  VOGELSANG, Regina ,  SEELER, Fabian ,  SMITH, Gareth ,  ADERMANN, Torben

IPC分类号： C22B7/00 ,  C22B26/12 ,  C22B3/12 ,  C22B23/00

公开(公告)号：EP3729554A1

公开(公告)日：2020-10-28

申请号：EP18812182.6

申请日：2018-12-10

申请人： BASF SE

发明人： ROHDE, Wolfgang ,  ZEILINGER, Michael ,  ADERMANN, Torben ,  WEIGUNY, Sabine ,  SEELER, Fabian ,  SCHIERLE-ARNDT, Kerstin ,  RYLL, Thomas Michael

IPC分类号： H01M10/54 ,  C22B1/00 ,  C22B7/00 ,  C22B15/00 ,  C22B26/12

公开(公告)号：EP3380644B1

公开(公告)日：2019-08-21

申请号：EP16798703.1

申请日：2016-11-18

申请人： BASF SE

发明人： ADERMANN, Torben ,  LOEFFLER, Daniel ,  LIMBURG, Carolin ,  ABELS, Falko ,  WILMER, Hagen ,  GILL, Monica ,  GRIFFITHS, Matthew ,  BARRY, Séan

IPC分类号： C23C16/18 ,  C07F13/00 ,  C07F15/04 ,  C07F15/06 ,  C23C16/455