公开(公告)号：JP2016201316A

公开(公告)日：2016-12-01

申请号：JP2015082044

申请日：2015-04-13

Applicant: 株式会社PARAM

Inventor： 安田 洋 ,  大饗 義久

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/18 ,  H01J37/16

Abstract: 【課題】オゾンを効率的に発生すると共に微小の流量とする。 【解決手段】オゾン生成器34は、絶縁体で周囲を囲まれた断面積Aを有するオゾン生成空間に前記気圧制御手段からの酸素ガスを流すとともに、オゾン生成空間に高電圧高周波を印加することで酸素ガスからオゾン含有ガスを生成する。高抵抗流路36は、オゾン生成器34から真空装置37に至るガス流路に設けられ、断面積Bを有する。断面積Bが断面積Aに比較して小さいことによって、オゾン生成器にて生成されるオゾン含有ガスの流量に制限を加えることによって、オゾン生成空間を流れるオゾン含有酸素ガス流速を十分に低速とし、微小量で一定量のオゾン含有ガスが真空装置内に流入する。 【選択図】図1

Abstract translation: 本发明公开了有效地的微小流量以及产生臭氧。 甲臭氧发生器34，与氧气气体从压力控制流程一起装置到臭氧发生空间具有由绝缘体包围的横截面面积A，施加高电压高频率臭氧发生空间 在从氧气产生含臭氧气体。 高阻力流道36在气体流动路径，从臭氧发生器34的真空装置37提供具有横截面面积B. 通过截面积B小于截面积A时，通过将限制由臭氧发生器产生的含臭氧的气体的流量，彻底减慢流过臭氧产生空间中的含臭氧的氧气流量 用少量一定量含臭氧的气体的流入真空系统。 点域1

公开(公告)号：JP2018147871A

公开(公告)日：2018-09-20

申请号：JP2017101230

申请日：2017-05-22

Applicant: 株式会社PARAM

Inventor： 安田 洋 ,  大饗 義久 ,  村田 英一

IPC: H01J37/06 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01J1/148

Abstract: 【課題】低仕事関数で高輝度の電子銃陰極を提供する。 【解決手段】ランタンまたはセリウム原子と、炭素原子と硼素原子が所定の隣接距離で結合した陰極材料からなる電子銃。本電子銃陰極の仕事関数はLaB6またはCeB6の仕事関数が、2.7eVであるのに対して、炭素原子を拡散または混入または結合させることにより、1.7eV以下に低減させることができ、1200℃以下の低温動作にて50kVで10 7 A/cm 2 steradianの輝度の達成が可能となる。仕事関数の低減により、高輝度低温動作が可能となる。真空度は10 −7 pascal以上の高真空で酸素濃度が硼素原子と炭素原子を燃焼させないようにして長寿命化を図る。また、炭素原子の供給物を陰極材料ないしヒータに付着せしめて供給源とすることで、さらなる長寿命化が可能となる。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP6548179B1

公开(公告)日：2019-07-24

申请号：JP2018051579

申请日：2018-03-19

Applicant: 株式会社PARAM

Inventor： 安田 洋 ,  大饗 義久 ,  柴岡 達哉 ,  村田 英一

IPC: H01J37/06 ,  H01L21/027 ,  H01J1/148 ,  H01J37/065

Abstract: 【課題】電子銃の高輝度化と長寿命化を達成する。 【解決手段】主としてLaB 6 またはCeB 6 を元にした電子銃陰極材料105を用いた電子銃に関する。電子銃陰極材料105を保持する真空室内部に、メタンガスまたはエタンガスを1×10 −4 pascal以下の真空分圧となるように流入せしめて、1000℃から1500℃の温度範囲で加熱する。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2018133150A

公开(公告)日：2018-08-23

申请号：JP2017024492

申请日：2017-02-13

Applicant: 株式会社PARAM

Inventor： 安田 洋 ,  大饗 義久

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/28 ,  H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01J37/305

Abstract: 【課題】低真空度で高輝度長寿命の電子銃陰極を提供する。 【解決手段】電子銃の陰極が、レニウム単結晶103の六方晶系のC軸方向をビーム軸と一致させた角柱または円柱の支持部を有し陰極の先端部は円錐型、または円錐台形、または角錐台形の形状をしている。この電子銃陰極の先端に強電界を印加し、陰極をPG(パイロリティック・グラファイト)ヒータ104a,104bで加熱し、熱電子またはショットキー放出電子を放出する。レニウム単結晶の総面積を小さくして消費電力を抑制し、かつ1×10 -4 pascalの低真空度で高輝度長寿命が可能となる。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2019164920A

公开(公告)日：2019-09-26

申请号：JP2018051579

申请日：2018-03-19

Applicant: 株式会社PARAM

Inventor： 安田 洋 ,  大饗 義久 ,  柴岡 達哉 ,  村田 英一

IPC: H01J37/065 ,  H01J37/06 ,  H01L21/027 ,  H01J37/075

Abstract: 【課題】電子銃の高輝度化と長寿命化を達成する。 【解決手段】主としてLaB 6 またはCeB 6 を元にした電子銃陰極材料105を用いた電子銃に関する。電子銃陰極材料105を保持する真空室内部に、メタンガスまたはエタンガスを1×10 −4 pascal以下の真空分圧となるように流入せしめて、1000℃から1500℃の温度範囲で加熱する。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP2019153563A

公开(公告)日：2019-09-12

申请号：JP2018040251

申请日：2018-03-06

Applicant: 株式会社PARAM

Inventor： 安田 洋 ,  大饗 義久 ,  柴岡 達哉

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01J37/065

Abstract: 【課題】電子銃の寿命を長くする。 【解決手段】主としてLaB6またはCeB6を元にした電子銃陰極材料101を用いた電子銃に関する。電子銃陰極材料は円柱軸として電子銃の中心軸に存在する。電子銃陰極材料101の円柱軸をカバーするごとく金属レニウムの円筒ないし、円錐台形からなるカバー部(レニウムカバー102)を付加してもって電子銃陰極全体を構成する。電子銃先端円形表面から出る電子を熱電子として使用する。電子銃の使用温度において、電子銃先端面から真空内へ蒸発し、消耗する電子銃陰極材料を補償するように、消耗した電子銃陰極材料101を電子銃先端方向に向かって、直線的に一方向へ機械的に駆動せしめて、電子銃先端面の高さを維持することにより、電子銃全体としての寿命を長くする。電子銃陰極材料はLaB6またはCeB6以外の電子銃陰極材料を用いても良い。 【選択図】図1