公开(公告)号：JP2019023728A

公开(公告)日：2019-02-14

申请号：JP2018137350

申请日：2018-07-23

Applicant: 東レ株式会社

Inventor： 谷垣 勇剛 ,  亀本 聡 ,  三好 一登

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/075 ,  G03F7/037 ,  G03F7/09 ,  G02B5/20 ,  H01L27/32 ,  H01L51/50 ,  H05B33/02 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22 ,  H05B33/28 ,  H05B33/10 ,  G03F7/20 ,  G09F9/30 ,  G09F9/302 ,  G03F7/038

Abstract: 【課題】高解像度かつ低テーパーのパターン形状で、耐熱性及び遮光性に優れた硬化膜を得られるアルカリ現像可能なネガ型感光性樹脂組成物の提供。 【解決手段】(A1)第1の樹脂、(A2)第2の樹脂、(C)光重合開始剤及び(D)着色剤を含有し、前記(A1)第1の樹脂が、(A1−1)ポリイミド及び/又は(A1−2)ポリベンゾオキサゾールであり、前記(A2)第2の樹脂が、(A2−2)ポリベンゾオキサゾール前駆体、(A2−3)ポリシロキサン、(A2−4)カルド系樹脂、及び(A2−5)アクリル樹脂から選ばれる一種類以上であり、前記(A1)第1の樹脂及び前記(A2)第2の樹脂の合計100質量%に占める、前記(A1)第1の樹脂の含有比率が、25〜90質量%の範囲内であることを特徴とするアルカリ現像可能なネガ型感光性樹脂組成物。 【選択図】なし

公开(公告)号：JP6459191B2

公开(公告)日：2019-01-30

申请号：JP2014055952

申请日：2014-03-19

Applicant: 東レ株式会社

Inventor： 黒本 晋吾 ,  越野 美加 ,  三好 一登

IPC: G03F7/037 ,  G03F7/023 ,  H05B33/10 ,  H01L51/50 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22 ,  G03F7/004

公开(公告)号：JP6212979B2

公开(公告)日：2017-10-18

申请号：JP2013130369

申请日：2013-06-21

Applicant: 東レ株式会社

Inventor： 橋本 啓華 ,  三好 一登 ,  富川 真佐夫

IPC: C08L79/04 ,  C08K5/20 ,  G03F7/004 ,  G03F7/022 ,  G03F7/037 ,  C08F2/50 ,  C08L79/08