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发明专利
現像可能な下層反射防止膜有权
标题翻译：显影的底部抗反射涂层

公开(公告)号：JP6005866B2

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：JP2015532525

申请日：2013-09-26

申请人： アーゼッド・エレクトロニック・マテリアルズ(ルクセンブルグ)ソシエテ・ア・レスポンサビリテ・リミテ

发明人： 中杉茂正 , 宮崎真治 , ムニラスナ、パドマナバン , ディー.アルベルト、ディオーゼズ

IPC分类号： G03F7/11 , G03F7/095 , C08L101/00 , C08F220/00 , C08F212/00 , C08K5/34

CPC分类号： G03F7/038 , C07D251/30 , C07D251/38 , G03F7/091