Patent search ap:("マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.") AND inv:"ローゼンタール Page アロン"

1.

发明专利
荷電粒子光学装置有权

公开(公告)号：JP6469699B2

公开(公告)日：2019-02-13

申请号：JP2016540837

申请日：2014-09-05

Applicant: マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ.

Inventor： ハトール,ソハイル , ウィッテフェーン,ヨースト , ローゼンタール,アロン , コニング,ヨハンヨースト

IPC: H01J37/28 , H01J37/305 , H01L21/027 , H01J37/147

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