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公开(公告)号：JP4381393B2
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：JP2006124971
申请日：2006-04-28
Applicant: 信越化学工業株式会社
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/6833 , B32B9/005 , B32B15/08 , B32B15/20 , B32B25/02 , B32B25/08 , B32B25/20 , B32B27/06 , B32B27/281 , B32B27/36 , B32B2264/102 , B32B2264/108 , B32B2307/206 , B32B2307/306 , B32B2307/3065 , B32B2307/54 , B32B2457/08 , B32B2457/14
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公开(公告)号：JP4386360B2
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：JP2004352515
申请日：2004-12-06
Applicant: 信越化学工業株式会社
IPC: H01L21/683 , H02N13/00
CPC classification number: H01L21/6831 , H01L21/67109 , H02N13/00
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公开(公告)号：JP5053696B2
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：JP2007117411
申请日：2007-04-26
Applicant: 信越化学工業株式会社
IPC: H01L21/683 , H02N13/00
CPC classification number: H01L21/6831 , H02N13/00
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公开(公告)号：JP3599634B2
公开(公告)日：2004-12-08
申请号：JP2000108415
申请日：2000-04-10
Applicant: 信越化学工業株式会社
IPC: B23Q3/15 , C08J5/18 , H01J37/317 , H01L21/265 , H01L21/683 , H01L21/68
CPC classification number: H01L21/6833
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公开(公告)号：JP3763710B2
公开(公告)日：2006-04-05
申请号：JP27621699
申请日：1999-09-29
Applicant: 信越化学工業株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/00 , H01L21/68 , H01L21/687
CPC classification number: H01L21/68757 , H01L21/67132 , H01L21/6835 , H01L21/6836 , H01L2221/68327 , H01L2221/68359 , Y10T428/1481 , Y10T428/2826 , Y10T428/2848 , Y10T428/31681 , Y10T428/31692
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公开(公告)号：JP3687877B2
公开(公告)日：2005-08-24
申请号：JP35411896
申请日：1996-12-18
Applicant: 信越化学工業株式会社
IPC: C23C14/50 , H01L21/265
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7.发明专利
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公开(公告)号：JP4121216B2
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：JP13983599
申请日：1999-05-20
Applicant: 信越化学工業株式会社
IPC: B23Q3/15 , H01L21/68 , H01L21/683
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公开(公告)号：JP3789586B2
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：JP6382697
申请日：1997-03-03
Applicant: 信越化学工業株式会社
IPC: H01L21/302 , H01L21/683 , H01L21/3065 , H01L21/68 , H02N13/00
