公开(公告)号：JP5806121B2

公开(公告)日：2015-11-10

申请号：JP2011552768

申请日：2011-01-31

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池 章夫 ,  菊川 信也 ,  西原 芳幸

IPC: B29C59/02 ,  G02B1/11 ,  G02B3/00 ,  G02B3/08 ,  H01L21/027

CPC classification number: B29C33/38 ,  B29C33/424 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  B29C2791/005

公开(公告)号：JP5708648B2

公开(公告)日：2015-04-30

申请号：JP2012527739

申请日：2011-08-02

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 古川 一也 ,  西原 芳幸

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01L21/68757 ,  Y10T428/239 ,  Y10T428/24777 ,  Y10T428/25